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本申请提供了一种保温管道组件及制冷装置，其用于半导体工艺设备，包括：内管、外管和至少两个连接部件。内管用于输送循环液，其中，循环液用于冷却或加热。外管套设于内管外。外管通过至少两个连接部件与内管可分离地密封连接，外管、内管以及至少两个连接部...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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