本发明专利技术提供一种震动式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置、一驱动单元及一震动装置。驱动单元通过轴封装置连接真空腔体的后壁，并带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及至少一进气管线位于内管体内，其中抽气管线用以抽出真空腔体的反应空间内的气体，而进气管线则用以将一前驱物输送至反应空间。震动装置与真空腔体的后壁或侧壁相邻，并用以敲击真空腔体的后壁或侧壁，以避免反应空间内的粉末沾黏在真空腔体的内表面。腔体的内表面。腔体的内表面。
【技术实现步骤摘要】
震动式粉末原子层沉积装置
[0001]本专利技术有关于一种震动式粉末原子层沉积装置，包括一震动装置与真空腔体的后壁或侧壁相邻，并用以敲击真空腔体的后壁或侧壁，以避免真空腔体内的粉末沾黏。
技术介绍
[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
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VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，而2到3奈米的量子点则会发出蓝光或绿光，当然光色取决于量子点的材料组成。
[0005]应用量子点的发光二极管(LED)产生的光可接近连续光谱，同时具有高演色性，并有利于提高发光二极管的发光品质。此外亦可通过改变量子点的尺寸调整发射光的波长，使得量子点成为新一代发光装置及显示器的发展重点。
[0006]量子点虽然具有上述的优点及特性，但在应用或制造的过程中容易产生团聚现象。此外量子点具有较高的表面活性，并容易与空气及水气发生反应，进而缩短量子点的寿命。
[0007]具体来说，将量子点制作成为发光二极管的密封胶时，可能会产生团聚效应，而降低了量子点的光学性能。此外，量子点在制作成发光二极管的密封胶后，外界的氧或水气仍可能会穿过密封胶而接触量子点的表面，导致量子点氧化，并影响量子点及发光二极管的效能或使用寿命。量子点的表面缺陷及悬空键(dangling bonds)亦可能造成非辐射复合(nonradiative recombination)，同样会影响量子点的发光效率。
[0008]目前业界主要通过原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)在量子点的表面形成一层奈米厚度的薄膜，或者是在量子点的表面形成多层薄膜，以形成量子井结构。
[0009]原子层沉积可以在基板上形成厚度均匀的薄膜，并可有效控制薄膜的厚度，理论上亦适用于三维的量子点。量子点静置在承载盘时，相邻的量子点之间会存在接触点，使得原子层沉积的前驱物无法接触这些接触点，并导致无法在所有的奈米颗粒的表面皆形成厚度均匀的薄膜。
技术实现思路
[0010]为了解决上述先前技术面临的问题，本专利技术提出一种震动式粉末原子层沉积装置，主要在真空腔体的后壁或侧壁设置一震动装置，并通过震动装置敲击真空腔体的后壁或侧壁，使得真空腔体的内表面产生震动，以将沉积过程中沾黏在真空腔体的内表上粉末震落。
[0011]本专利技术的一目的，在于提供一种震动式粉末原子层沉积装置，主要包括一驱动单元、一轴封装置、一真空腔体及一震动装置，其中驱动单元通过轴封装置连接真空腔体的一后壁。震动装置与真空腔体的后壁相邻，其中震动装置用以敲击真空腔体的后壁或侧壁，使得真空腔体产生震动，以去除沾黏在真空腔体的内表面上的粉末。
[0012]一般而言，在对粉末进行原子层沉积的过程中，很可能无法在沾黏在真空腔体的粉末的表面形成均匀的薄膜，进而影响粉末的良率、寿命及效能。为此本专利技术提出通过震动装置敲击真空腔体的后壁或侧壁，以避免粉末沾黏在真空腔体的内表面。
[0013]为了达到上述的目的，本专利技术提出一种震动式粉末原子层沉积装置，包括：一真空腔体，包括一前壁、一后壁及一侧壁，前壁面对后壁，且前壁经由侧壁连接后壁，其中前壁、后壁及侧壁之间形成一反应空间，反应空间用以容置复数颗粉末；一轴封装置，连接真空腔体的后壁，并包括一外管体及一内管体，其中外管体具有一容置空间用以容置内管体；一驱动单元，连接轴封装置，并经由轴封装置带动真空腔体转动；至少一抽气管线，位于内管体内，流体连接真空腔体的反应空间，并用以抽出反应空间内的一气体；至少一进气管线，位于内管体内，流体连接真空腔体的反应空间，并用以将一前驱物气体输送至反应空间；及一震动装置，与真空腔体的后壁或侧壁相邻，并用以敲击真空腔体的后壁或侧壁。
[0014]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中震动装置包括一马达及一敲击部，马达连接敲击部，并驱动敲击部敲击真空腔体的后壁或侧壁。
[0015]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中震动装置包括一缓冲部连接敲击部，敲击部经由缓冲部敲击真空腔体的后壁或侧壁。
[0016]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中进气管线包括至少一非反应气体输送管线及至少一反应气体输送管线，非反应气体输送管线用以将一非反应气体输送至反应空间，以吹动反应空间内的粉末，而反应气体输送管线则用以将前驱物气体输送至反应空间。
[0017]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中非反应气体输送管线包括一延伸管线，延伸管线位于反应空间内，并朝真空腔体的前壁的方向延伸。
[0018]所述的震动式粉末原子层沉积装置，包括一过滤单元位于内管体连接反应空间的一端，抽气管线经由过滤单元流体连接反应空间，而延伸管线穿过过滤单元。
[0019]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中延伸管线包括至少一出风口朝向真空腔体的前壁或侧壁的方向。
[0020]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中内管体由外管体的容置空间延伸至真空腔体的反应空间，并在反应空间内形成一凸出管部。
[0021]所述的震动式粉末原子层沉积装置，包括一加热单元与真空腔体的侧壁相邻，并用以加热真空腔体内的粉末。
[0022]所述的震动式粉末原子层沉积装置，其中进气管线用以将一非反应气体输送至反应空间，并以非反应气体吹动反应空间内的粉末。
[0023]本专利技术的有益效果是：提供一种新颖的敲击式粉末原子层沉积装置，主要在真空腔体的后壁或侧壁设置一震动装置，并通过敲击装置敲击真空腔体的后壁或侧壁，以将沉积过程中沾黏在真空腔体的内表面上粉末震落。
附图说明
[0024]图1为本专利技术震动式粉末原子层沉积装置一实施例的立体示意图。
[0025]图2为本专利技术震动式粉末原子层沉积装置一实施例的剖面示意图。
[0026]图3为本专利技术震动式粉末原子层沉积装置的轴封装置一实施例的剖面示意图。
[0027]图4为本专利技术震动式粉末原子层沉积装置又一实施例的剖面示意图。
[0028]图5为本专利技术震动式粉末原子层沉积装置又一实施例的剖面示意图。
[0029]附图标记说明：10
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震动式粉末原子层沉积装置；11
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真空腔体；111
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一前壁、一后壁及一侧壁，该前壁面对该后壁，且该前壁经由该侧壁连接该后壁，其中该前壁、后壁及侧壁之间形成一反应空间，该反应空间用以容置复数颗粉末；一轴封装置，连接该真空腔体的该后壁，并包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间用以容置该内管体；一驱动单元，连接该轴封装置，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；至少一进气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体输送至该反应空间；及一震动装置，与该真空腔体的该后壁或该侧壁相邻，并用以敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。2.根据权利要求1所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该震动装置包括一马达及一敲击部，该马达连接该敲击部，并驱动该敲击部敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。3.根据权利要求2所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该震动装置包括一缓冲部连接该敲击部，该敲击部经由该缓冲部敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。4.根据权利要求1所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线及至少一...
【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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