震动式粉末原子层沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种震动式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置、一驱动单元及一震动装置。驱动单元通过轴封装置连接真空腔体的后壁，并带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及至少一进气管线位于内管体内，其中抽气管线用以抽出真空腔体的反应空间内的气体，而进气管线则用以将一前驱物输送至反应空间。震动装置与真空腔体的后壁或侧壁相邻，并用以敲击真空腔体的后壁或侧壁，以避免反应空间内的粉末沾黏在真空腔体的内表面。腔体的内表面。腔体的内表面。

【技术实现步骤摘要】
震动式粉末原子层沉积装置


[0001]本专利技术有关于一种震动式粉末原子层沉积装置，包括一震动装置与真空腔体的后壁或侧壁相邻，并用以敲击真空腔体的后壁或侧壁，以避免真空腔体内的粉末沾黏。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
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VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一前壁、一后壁及一侧壁，该前壁面对该后壁，且该前壁经由该侧壁连接该后壁，其中该前壁、后壁及侧壁之间形成一反应空间，该反应空间用以容置复数颗粉末；一轴封装置，连接该真空腔体的该后壁，并包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间用以容置该内管体；一驱动单元，连接该轴封装置，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；至少一进气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体输送至该反应空间；及一震动装置，与该真空腔体的该后壁或该侧壁相邻，并用以敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。2.根据权利要求1所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该震动装置包括一马达及一敲击部，该马达连接该敲击部，并驱动该敲击部敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。3.根据权利要求2所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该震动装置包括一缓冲部连接该敲击部，该敲击部经由该缓冲部敲击该真空腔体的该后壁或该侧壁。4.根据权利要求1所述的震动式粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线及至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：