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本发明提供一种震动式粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置、一驱动单元及一震动装置。驱动单元通过轴封装置连接真空腔体的后壁，并带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及...
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