可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，主要包括一原子层沉积作业区、一可拆式粉末原子层沉积装置、一真空腔体放置区及一输送装置，其中可拆式粉末原子层沉积装置的真空腔体可相对于轴封装置拆卸或连接。输送装置可将真空腔体由真空腔体放置区输送至原子层沉积作业区，并将真空腔体固定在轴封装置上，以对真空腔体内的粉末进行原子层沉积。完成沉积的真空腔体可由轴封装置卸下，并通过输送装置将真空腔体输送至真空腔体放置区，以进行自动化粉末的原子层沉积制程。以进行自动化粉末的原子层沉积制程。以进行自动化粉末的原子层沉积制程。

【技术实现步骤摘要】
可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台


[0001]本专利技术有关于一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，主要通过输送装置在原子层沉积作业区及真空腔体放置区之间移动真空腔体，并可以自动化的方式进行粉末的原子层沉积制程。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
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VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，而2到3奈米的量子点则会发出蓝光或绿光，当然光色取决于量子点的材料组成。
[0005]应用量子点的发光二极管(LED)产生的光可接近连续光谱，同时具有高演色性，并有利于提高发光二极管的发光品质。此外亦可通过改变量子点的尺寸调整发射光的波长，使得量子点成为新一代发光装置及显示器的发展重点。
[0006]量子点虽然具有上述的优点及特性，但在应用或制造的过程中容易产生团聚现象。此外量子点具有较高的表面活性，并容易与空气及水气发生反应，进而缩短量子点的寿命。
[0007]具体来说，将量子点制作成为发光二极管的密封胶时，可能会产生团聚效应，而降低了量子点的光学性能。此外，量子点在制作成发光二极管的密封胶后，外界的氧或水气仍可能会穿过密封胶而接触量子点的表面，导致量子点氧化，并影响量子点及发光二极管的效能或使用寿命。量子点的表面缺陷及悬空键(dangling bonds)亦可能造成非辐射复合(nonradiative recombination)，同样会影响量子点的发光效率。
[0008]目前业界主要通过原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)在量子点的表面形成一层奈米厚度的薄膜，或者是在量子点的表面形成多层薄膜，以形成量子井结构。
[0009]原子层沉积可以在基板上形成厚度均匀的薄膜，并可有效控制薄膜的厚度，理论上亦适用于三维的量子点。量子点静置在承载盘时，相邻的量子点之间会存在接触点，使得原子层沉积的前驱物气体无法接触这些接触点，并导致无法在所有的奈米颗粒的表面皆形成厚度均匀的薄膜。

技术实现思路

[0010]为了解决上述先前技术面临的问题，本专利技术提出一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，可通过输送装置在原子层沉积作业区及真空腔体放置区之间移动真空腔体，并可以自动化的方式进行粉末的原子层沉积制程。
[0011]本专利技术的一目的，在于提供一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，主要包括至少一原子层沉积作业区、至少一真空腔体放置区、一可拆式粉末原子层沉积装置及至少一输送装置。可拆式粉末原子层沉积装置包括一驱动单元、一轴封装置及一真空腔体，其中驱动单元连接轴封装置，并位于原子层沉积作业区。
[0012]真空腔体可固定在轴封装置上或由轴封装置上卸下，并通过输送装置在原子层沉积作业区及真空腔体放置区之间输送卸下的真空腔体。输送装置可将真空腔体输送到原子层沉积作业区，并将真空腔体固定在轴封装置。而后驱动单元可经由轴封装置带动真空腔体转动，并对真空腔体内的粉末进行原子层沉积。此外完成原子层沉积制程的真空腔体可由轴封装置上卸下，并通过输送装置将卸下的真空腔体输送至真空腔体放置区。
[0013]本专利技术的一目的，在于提供一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，主要通过机械手臂在至少一原子层沉积作业区及至少一真空腔体放置区之间输送真空腔体，以提高粉末原子层沉积制程的效率及便利性。
[0014]本专利技术的一目的，在于提供一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，主要将复数个作业区环绕设置一输送区的周围，其中作业区包括至少一原子层沉积作业区及至少一真空腔体放置区，而机械手臂则设置在输送区内。位于输送区的机械手臂可相对于各个作业区转动，以对准其中一个作业区，并用以在各个作业区的原子层沉积作业区及真空腔体放置区之间输送真空腔体，有利于减小可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台的体积及提高工作效率。
[0015]为了达到上述的目的，本专利技术提出一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，包括：至少一原子层沉积作业区；至少一可拆式粉末原子层沉积装置，包括：一轴封装置；一驱动单元，连接轴封装置，其中轴封装置及驱动单元位于原子层沉积作业区；一真空腔体，通过至少一连接单元固定在轴封装置上，并包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动，连接单元解除锁固后，真空腔体由轴封装置卸下；至少一抽气管线，流体连接真空腔体的反应空间，并用以抽出反应空间内的一气体；至少一进气管线，流体连接真空腔体的反应空间，并用以将一前驱物气体或一非反应气体输送至反应空间；及至少一真空腔体放置区，用以放置真空腔体；及至少一输送装置，用以在真空腔体放置区及原子层沉积作业区之间输送真空腔体。
[0016]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其中真空腔体放置区包括一真空腔体进料放置区及一真空腔体出料放置区，而传输装置用以在真空腔体进料放置区、真空腔体出料放置区及原子层沉积作业区之间输送真空腔体。
[0017]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，包括一拆卸装置用以解除连接单元的锁固，使得真空腔体与轴封装置分离，或是用以紧固连接单元，使得真空腔体固定在轴封装置上。
[0018]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其中拆卸装置设置在输送装置上。
[0019]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其中轴封装置包括一外管体及一内管体，外管体包括一容置空间用以容置内管体，而内管体则包括至少一连接空间用以容置抽气管线及进气管线，驱动单元通过外管体连接真空腔体，并带动真空腔体转动。
[0020]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其中真空腔体的一底部包括一凹部，凹部由真空腔体的底部延伸至反应空间，用以容置凸出轴封装置的内管体，并在反应空间内形成一凸出管部。
[0021]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，包括一过滤单元位于真空腔体的凹部内，而抽气管线及进气管线经由过滤单元流体连接真空腔体的反应空间。
[0022]所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，包括一输送区及复数个作业区，复数个作业区设置在输送区的周围，其中作业区包括原子层沉积作业区及真空腔体放置区，而输送装置则本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其特征在于，包括：至少一原子层沉积作业区；至少一可拆式粉末原子层沉积装置，包括：一轴封装置；一驱动单元，连接该轴封装置，其中该轴封装置及该驱动单元位于该原子层沉积作业区；一真空腔体，通过至少一连接单元固定在该轴封装置上，并包括一反应空间用以容置复数个粉末，其中该驱动单元通过该轴封装置带动该真空腔体转动，该连接单元解除锁固后，该真空腔体由该轴封装置卸下；至少一抽气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；至少一进气管线，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体或一非反应气体输送至该反应空间；及至少一真空腔体放置区，用以放置该真空腔体；及至少一输送装置，用以在该真空腔体放置区及该原子层沉积作业区之间输送该真空腔体。2.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其特征在于，其中该真空腔体放置区包括一真空腔体进料放置区及一真空腔体出料放置区，而该传输装置用以在该真空腔体进料放置区、该真空腔体出料放置区及该原子层沉积作业区之间输送该真空腔体。3.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其特征在于，包括一拆卸装置用以解除该连接单元的锁固，使得该真空腔体与该轴封装置分离，或是用以紧固该连接单元，使得该真空腔体固定在该轴封装置上。4.根据权利要求3所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其特征在于，其中该拆卸装置设置在该输送装置上。5.根据权利要求1所述的可拆式粉末原子层沉积装置的自动化机台，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：