具快拆功能的粉末原子层沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元连接轴封装置。真空腔体连接轴封装置，并于真空腔体与轴封装置之间形成一密闭空间。至少一抽气管线位于轴封装置内，流体连接密闭空间，其中抽气管线用以抽出密闭空间内的气体，以将真空腔体固定在轴封装置上，使得驱动单元可透过轴封装置带动真空腔体转动，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。抽气管线停止抽气后，可快速将完成原子层沉积的真空腔体由轴封装置上卸下，以提高制程效率及使用时的便利性。程效率及使用时的便利性。程效率及使用时的便利性。

【技术实现步骤摘要】
具快拆功能的粉末原子层沉积设备


[0001]本专利技术有关于一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，可快速将真空腔体由轴封装置上卸下，或者是将真空腔体固定在轴封装置上。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体材料的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为II
‑
VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘光或红光，而2到3奈米的量子点则会发出蓝光或绿光，当然光色还需取决于量子点的材料组成。
[0005]应用量子点的发光二极体(LED)产生的光接近连续光谱，同时具有高演色性，并有利于提高发光二极体的发光品质。此外亦可透过改变量子点的尺寸调整发射光的波长，使得量子点成为新一代发光装置及显示器的发展重点。
[0006]量子点虽然具有上述的优点及特性，但在应用或制造的过程中容易产生团聚现象。此外量子点具有较高的表面活性，并容易与空气及水气发生反应，进而缩短量子点的寿命。
[0007]具体来说，将量子点制作成为发光二极体的密封胶时，可能会产生团聚效应，而降低量子点的光学性能。此外，量子点在制作成发光二极体的密封胶后，外界的氧或水气仍可能会穿过密封胶而接触量子点的表面，导致量子点氧化，并影响量子点及发光二极体的效能或使用寿命。量子点表面的缺陷及悬空键(dangling bonds)亦可能造成非辐射复合(non
‑
radiative recombination)，同样会影响量子点的发光效率。
[0008]目前业界主要透过原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)在量子点的表面形成一层奈米厚度的薄膜，或者是在量子点的表面形成多层薄膜，以形成量子井结构。
[0009]原子层沉积可以在基板上形成厚度均匀的薄膜，并可有效控制薄膜的厚度，理论上亦适用于三维的量子点。量子点静置在承载盘时，相邻的量子点之间会存在接触点，使得原子层沉积的前驱物气体无法接触这些接触点，并导致无法在所有的奈米颗粒的表面皆形成厚度均匀的薄膜。

技术实现思路

[0010]一般而言，原子层沉积通常需要在真空环境下进行，因此原子层沉积装置的构造往往较为厚实，并具有一定的重量，不利于使用者搬运及操作。为此本专利技术提出一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，在完成粉末的原子层沉积制程后，可快速将真空腔体由轴封装置及/或驱动单元上卸下，方便使用者取出真空腔体内的粉末，并清洁真空腔体。
[0011]本专利技术的一目的，在于提供一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，主要包括一驱动单元、一轴封装置及一真空腔体，其中驱动单元可连接轴封装置，或者是由轴封装置上卸下。在完成原子层沉积制程后，可将真空腔体由轴封装置上卸下，方便使用者将真空腔体内的粉末取出，并清洁真空腔体，以提高使用时的便利性。
[0012]本专利技术的一目的，在于提供一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，主要通过一抽气管线抽气或泄气控制轴封装置与真空腔体之间的连接状态，可省去通过螺丝锁固真空腔体及轴封装置的麻烦，并可大幅提高于轴封装置上拆卸或装设真空腔体的便利性。
[0013]本专利技术的一目的，在于提供一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，可将完成原子层沉积制程的真空腔体及粉末由轴封装置上卸下，并将另一个装载粉末的真空腔体锁固在轴封装置上，进行粉末的原子层沉积，有利于提高制程的效率。
[0014]为了达到上述的目的，本专利技术提出一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，包括：一驱动单元；一轴封装置，连接驱动单元；一真空腔体，连接轴封装置，并于轴封装置及真空腔体之间形成一密闭空间，其中真空腔体包括一反应空间用以容置复数个粉末，而驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动；至少一第一密封环及至少一第二密封环，位于轴封装置与真空腔体之间，密闭空间则位于第一密封环及第二密封环之间；至少一第一抽气管线，位于轴封装置内，并流体连接密闭空间，其中抽气管线用以抽出密闭空间内的一气体，并将真空腔体固定在轴封装置上；及至少一进气管线，位于轴封装置内，流体连接真空腔体的反应空间，并用以将一前驱物气体输送至反应空间。
[0015]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，包括一第二抽气管线位于轴封装置内，并流体连接真空腔体的反应空间。
[0016]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中轴封装置包括一外管体及一内管体，外管体包括一容置空间用以容置内管体，而内管体则包括至少一连接空间用以容置第一抽气管线及进气管线。
[0017]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中第一密封环位于内管体及真空腔体之间，第二密封环位于外管体及真空腔体之间，第一密封环为一动态密封环，而第二密封环为一静态密封环。
[0018]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中驱动单元通过外管体连接真空腔体，并带动真空腔体转动。
[0019]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中真空腔体的一底部包括一凹部，用以容置凸出轴封装置的内管体，并在凸出轴封装置的内管体与真空腔体的凹部之间形成密闭空间。
[0020]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中凹部由真空腔体的底部延伸至反应空间，并形成一凸出管部。
[0021]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，还包括一过滤单元位于真空腔体的凹
部内，而进气管线经由过滤单元流体连接真空腔体的反应空间。
[0022]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中进气管线用以将一非反应气体输送至反应空间，并通过非反应气体吹动反应空间内的粉末。
[0023]所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其中进气管线包括至少一非反应气体输送管线位于轴封装置内，流体连接真空腔体的反应空间，并用以将非反应气体输送至真空腔体的反应空间，以吹动反应空间内的粉末。
[0024]本专利技术的有益效果是：在完成粉末的原子层沉积制程后，可快速将真空腔体由轴封装置及/或驱动单元上卸下，方便使用者取出真空腔体内的粉末，并清洁真空腔体。
附图说明
[0025]图1为本专利技术具快拆功能的粉末原子层沉积设备一实施例的立体示意体。
[0026]图2为本专利技术具快拆功能的粉末原子层沉积设备一实施例的剖面示意图。
[0027]图3为本专利技术具快拆功能的粉末原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其特征在于，包括：一驱动单元；一轴封装置，连接该驱动单元；一真空腔体，连接该轴封装置，并于该轴封装置及该真空腔体之间形成一密闭空间，其中该真空腔体包括一反应空间用以容置复数个粉末，而该驱动单元通过该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一第一密封环及至少一第二密封环，位于该轴封装置与该真空腔体之间，其中该密闭空间位于该第一密封环及该第二密封环之间；至少一第一抽气管线，位于该轴封装置内，并流体连接该密闭空间，其中该第一抽气管线用以抽出该密闭空间内的一气体，以将该真空腔体固定在该轴封装置上；及至少一进气管线，位于该轴封装置内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体输送至该反应空间。2.根据权利要求1所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其特征在于，包括一第二抽气管线位于该轴封装置内，并流体连接该真空腔体的该反应空间。3.根据权利要求1所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体包括一容置空间用以容置该内管体，而该内管体则包括至少一连接空间用以容置该第一抽气管线及该进气管线。4.根据权利要求3所述的具快拆功能的粉末原子层沉积设备，其特征在于，其中该第一密封环位于该内管体及该真空腔体之间，该第二密封环位于该外管体及...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：发明
国别省市：