翻转装置、翻转方法、检测设备及检测方法制造方法及图纸

一种翻转装置，包括夹持机构及旋转机构。夹持机构包括两个压抵总成，沿纵向反向设置，各压抵总成包括用以承载或压抵待测物的两个压抵板。两个压抵板沿垂直于纵向的第一横向排列，并能在开启状态及闭合状态之间变换。两个压抵总成能在张开状态以及夹持待测物的夹持状态之间变换。旋转机构用以驱动夹持机构转动，以使夹持机构带动所夹持的待测物旋转。本发明专利技术还提供一种翻转方法、检测设备及检测方法。因此，能大幅提升检测速度及效率、降低检测设备的制造成本、有效地增加夹持待测物和带动待测物旋转时的稳定性。待测物旋转时的稳定性。待测物旋转时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
翻转装置、翻转方法、检测设备及检测方法


[0001]本专利技术涉及一种翻转装置、翻转方法、检测设备及检测方法，特别是涉及一种用以翻转板状待测物的翻转装置、翻转方法、检测设备及检测方法。

技术介绍

[0002]现有检测设备欲检测一板状待测物的表面瑕疵时，通常是通过一输送带输送待测物至一图像捕获装置处，使图像捕获装置先捕获待测物的一上表面的图像，以供后续进行瑕疵检测。接着，输送带会将待测物输送至一翻转装置处，翻转装置会对待测物进行翻转，使待测物的一下表面朝上。之后，输送装置再将待测物输送回图像捕获装置处，使图像捕获装置撷取待测物的一下表面的图像，以供后续进行瑕疵检测。
[0003]由于图像捕获装置及翻转装置分别处于两个不同的工作站，且各自为独立的装置，因此，必需通过输送带输送待测物在图像捕获装置及翻转装置之间移动，才能分别进行图像捕获及翻转的作业。如此一来，整个检测流程所需耗费的工时很长，导致检测速度及效率皆差。此外，翻转装置是通过两个夹持机构夹持于待测物相反侧以对其进行翻转，由于各夹持机构夹持待测物时只接触其一小部分的区域，因此，两个夹持机构带动待测物翻转的过程中，待测物易产生晃动而导致翻转时的稳定性不佳。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术的其中一目的，在于提供一种能够克服
技术介绍
的至少一个缺点的翻转装置。
[0005]本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的翻转装置包括一夹持机构及一旋转机构。夹持机构包括两个压抵总成，沿一纵向反向设置。各压抵总成包括用以承载或压抵一待测物的两个压抵板，压抵板沿一垂直于纵向的第一横向排列，并能在一开启状态及一闭合状态之间变换。两个压抵总成能在一张开状态以及一夹持状态的夹持状态之间变换。旋转机构用以驱动夹持机构转动，以使夹持机构带动所夹持的待测物旋转。
[0006]本专利技术的另一目的，在于提供一种能够克服
技术介绍
的至少一个缺点的检测设备。
[0007]本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的检测设备包括一如上所述的翻转装置、一图像捕获装置，及一取放装置。图像捕获装置沿纵向位于夹持机构上方，当压抵总成在张开状态且位于上方的相应的所述压抵总成的所述压抵板在开启状态时，两个压抵板之间界定出一开口，图像捕获装置与开口位置对应并能捕获位于下方的相应的所述压抵总成的所述压抵板所承载的待测物图像。取放装置能通过开口取放待测物。
[0008]本专利技术的又一目的，在于提供一种能够克服
技术介绍
的至少一个缺点的翻转方法。
[0009]本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的翻转方法包括以下步骤:
[0010]放置一待测物于两个上下排列的压抵总成中位于下方的压抵总成上，位于下方的压抵总成的两个压抵板在一闭合状态，位于上方的压抵总成的两个压抵板在一开启状态；
[0011]驱动位于上方的压抵总成的压抵板变换至一闭合状态；
[0012]驱动压抵总成由一张开状态变换至一夹持待测物的夹持状态；
[0013]驱动压抵总成带动所夹持的待测物旋转；
[0014]驱动压抵总成由夹持状态变换至张开状态；及
[0015]驱动位于上方的压抵总成的压抵板由闭合状态变换至开启状态。
[0016]本专利技术的再一目的，在于提供一种能够克服
技术介绍
的至少一个缺点的检测方法。
[0017]本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用以下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的检测方法包括以下步骤:
[0018]放置一待测物于两个上下排列的压抵总成中位于下方的压抵总成上，位于下方的压抵总成的两个压抵板在一闭合状态，位于上方的压抵总成的两个压抵板在一开启状态；
[0019]通过一图像捕获装置对待测物捕获第一面图像；
[0020]驱动位于上方的压抵总成的压抵板变换至一闭合状态；
[0021]驱动压抵总成由一张开状态变换至一夹持待测物的夹持状态；
[0022]驱动压抵总成带动所夹持的待测物旋转；
[0023]驱动压抵总成由夹持状态变换至张开状态；
[0024]驱动位于上方的压抵总成的压抵板由闭合状态变换至开启状态；及
[0025]通过图像捕获装置对待测物捕获第二面图像。本专利技术的有益效果在于：通过图像捕获装置沿纵向设置于翻转装置的夹持机构上方，使得待测物的图像捕获及翻转作业在单一个工作站即可完成，能节省在两个不同的工作站之间转移所需的输送设备及输送工时。因此，能大幅提升检测速度及效率，并能降低检测设备的制造成本。此外，由于两个压抵总成的压抵板的板面是通过面接触方式接触并压抵待测物的第一面及第二面，因此，能有效地增加夹持待测物时的稳定性，并且能提升压抵总成带动待测物旋转时的稳定性。
附图说明
[0026]图1是本专利技术检测设备的一实施例的立体图；
[0027]图2是本实施例中翻转装置的立体分解图；
[0028]图3是本实施例中位于下方的压抵总成的立体图；
[0029]图4是本实施例中位于下方的压抵总成的仰视图；
[0030]图5是本实施例中位于上方的压抵总成的立体图；
[0031]图6是本实施例中位于上方的压抵总成的俯视图；
[0032]图7是本实施例的检测方法的检测步骤流程图；
[0033]图8至图15分别是本实施例的检测步骤的阶段示意图。
具体实施方式
[0034]下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明。
[0035]参阅图1，本专利技术检测设备200的一实施例是以一光学检测设备为例，适于检测一待测物1的表面瑕疵。在一实施例中，待测物1为一板件，例如可为不透光的一电路基板、一面板，或一晶圆基板，但不以此为限。待测物1具有一第一面11，及一相反于第一面11的第二面12。检测设备200包括一翻转装置20、一取放装置30及一图像捕获装置40。为了便于后续说明，定义出检测设备200的一纵向Z、一垂直于纵向Z的第一横向X，及一垂直于第一横向X与纵向Z的第二横向Y。纵向Z为上下方向，第一横向X以左右方向为例，第二横向Y以前后方向为例。
[0036]参阅图1及图2，翻转装置20包括一支撑座2、一夹持机构3及一旋转机构4。支撑座2呈开口朝上的U型状，并包括两个沿第二横向Y相间隔的支撑板21。夹持机构3包括两个压抵总成31、31
’
，及一驱动总成35。两个压抵总成31、31
’
沿纵向Z反向设置且上下排列，压抵总成31位于下方而压抵总成31
’
位于上方，两个压抵总成31、31
’
的构造相同。
[0037]参阅图3、图4、图5及图6，压抵总成31包括两个压抵板32a，及一驱动单元33。压抵总成31
’
包括两个压抵板32b，及一驱动单元33。两个压抵板32a沿第一横向X排列，两个压抵板32b沿第一横向X排列。每一个压抵板32a、32b包括一主板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种翻转装置，其特征在于，包括：一夹持机构，包括两个压抵总成，沿一纵向反向设置，各所述压抵总成包括用以承载或压抵一待测物的两个压抵板，所述压抵板沿一垂直于所述纵向的第一横向排列，并能在一开启状态及一闭合状态之间变换，且所述压抵总成能在一张开状态以及一夹持状态之间变换；及一旋转机构，用以驱动所述夹持机构转动，以使所述夹持机构带动所夹持的所述待测物旋转。2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于：所述夹持机构还包括一驱动总成，用以驱动所述压抵总成在所述张开状态以及所述夹持状态之间变换，当所述压抵总成在所述张开状态时相互远离、在所述夹持状态时相互靠近以夹持所述待测物，当其中一个压抵总成的所述压抵板在所述开启状态时，所述压抵板之间界定出一用以供所述待测物通过的开口。3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于：各所述压抵总成还包括一驱动单元，所述驱动单元用以驱动所述压抵板沿所述第一横向反向移动，以使所述压抵板在所述开启状态及所述闭合状态之间变换，所述压抵板在所述开启状态时相互远离、在所述闭合状态时相互抵靠以承载或压抵所述待测物。4.根据权利要求3所述的翻转装置，其特征在于：所述驱动单元包括沿一垂直于所述第一横向与所述纵向的第二横向反向设置的两个侧板，及沿所述第二横向反向设置于所述侧板的两个驱动模块，各所述驱动模块用以驱动对应的所述压抵板沿所述第一横向移动，所述驱动总成连接于所述压抵总成的所述侧板，用以驱动所述侧板沿所述纵向反向移动。5.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于：各所述驱动模块包括分别设置于所述侧板内侧的两个第一滑轨组、一连接于所述第一滑轨组之间的连接架，及一设置于对应的所述侧板且连接于所述连接架的第一气缸。6.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于：所述驱动总成包括两个第二气缸及至少两个第二滑轨组，所述第二气缸分别连接于所述侧板的外侧，所述第二滑轨组分别连接于所述侧板的外侧。7.一种检测设备，其特征在于，包括：一如权利要求1
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6中任一权利要求所述的翻转装置；一图像捕获装置，沿所述纵向位于所述夹持机构上方，当所述压抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳民，陈纪钢，
申请(专利权)人：由田新技股份有限公司，
类型：发明
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