一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统，该在线监测分析系统设置在镀膜生产线的最后端，包括至少两个图像采集处理装置，至少两个图像采集处理装置设于超导带材的行走路径的一侧，其中一个用于采集并分析所述超导带材的缺陷，另一个用于采集并分析镀膜的颜色以判断膜厚。通过对镀膜生产线进行改进，在镀膜生产线的最后端设置两个图像采集处理装置，一个用于分析镀膜颜色，一个分析带材缺陷，并对监测分析结果进行显示，方便生产人员根据分析显示结果及时准确地对生产工艺进行调整，提高高温超导带材镀膜生产后的良率。提高高温超导带材镀膜生产后的良率。提高高温超导带材镀膜生产后的良率。

【技术实现步骤摘要】
一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统


[0001]本技术属于超导生产
，具体涉及一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统。

技术介绍

[0002]高温超导带材镀膜生产本公司生产的主要方向，超导带材未来应用前景广阔，主要应用于核磁共振、军工产品、电力电缆等超导产品，高温超导带材镀膜生产的主要方式有MOD、RCE、RABITS、PLD、IBAD、MOCVD、磁控溅射等。可以进行多种组合，使镀膜效果更好，镀膜效果好坏决定产品好坏。
[0003]高温超导带材生产的一个关键点是提高良率，影响带材良率有几方面，存在于带材上的缺陷，带材的膜层厚度，镀膜时分子成分。这些都会使超导带材的超导特性被破坏，超导电流无法通过。
[0004]高温超导带材原带通常为厚度为70um左右，宽度为12mm、4mm等，高温超导带材的制作工艺及其复杂，需要经过抛光处理、隔离陶瓷层制备、超导电流层制备、Ag保护层制备等复杂工艺制成。在带材处理和镀膜过程中可能会产生各种因素导致带材不良，带材不良会对超导电流形成阻碍，影响最终的产品良率。
[0005]目前各个超导带材生产公司都做不到带材镀膜生产时可以实时监测镀膜状态，反馈不及时。只能生产和检测分开，生产完再将带材拿去测试，在线检测分析做不到。生产结束后去检测时间比较长，反馈不及时，费时费力，浪费资源。
[0006]高温超导带材过程中生产人员无法准确掌握镀膜时的状态、镀膜膜厚、镀膜分子成分等，眼睛观测有限，长时间观测易疲劳，对生产人员造成伤害。通过在线监测系统可以改善这种情况，使生产人员及时掌握镀膜状态，随时调整工艺参数数据，提升生产效率，节约生产成本。
[0007]高温超导带材镀膜时的在线监测分析系统是对镀膜生产时提高产品良率极为重要的。高温超导带材生产需要经过很多工序处理，在处理过程之前、处理过程中、处理之后，不希望不符合要求的带材进入后序工艺处理，高温超导带材的良率是一个重要的指标。
[0008]高温超导带材的检测方法通常为动态织构检测、XRD检测、静态膜厚等手段，这些方法有些许缺点，并且这些方法都是分开单独测量，需要将带材在真空镀膜设备中取出，相对于在线检测分析这些方法效率较低，反馈时间较长，不利于生产良率控制。现阶段的检测手段的优点是分开检测测量准确性高、测量数据处理能力强、测量设备专一。但缺点是分开测量的测量速度慢、测量效率低、生产部门不能及时得到测量反馈，检测结果对于生产起决定性作用，根据检测生产人员可以随时调整工艺，保证生产良率。
[0009]申请人公司目前使用的高温超导带材镀膜生产过程中无法进行在线监测，在真空环境中进行镀膜生产，真空镀膜工艺结束后去掉真空取下带材去检测，生产时如果出现问题无法监测。镀膜生产时真空设备的镀膜状态很重要，目前只能靠生产人员经验或观察工艺参数，并且人工观察不一定准确，容易产生漏检，产生的误差会很大，会造成很多人为因
素的误判。工艺参数的反馈不能保证生产时没问题，而且有一定的延时现象，生产人员获取信息不及时就会觉得没有问题，发现不了生产中产生的问题，进而继续生产。

技术实现思路

[0010]针对上述存在的技术问题，本技术目的是：提供一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统，通过对镀膜生产线进行改进，在镀膜生产线的最后端设置两个图像采集处理装置，一个用于分析镀膜颜色，一个分析带材缺陷，并对监测分析结果进行显示，方便生产人员根据分析显示结果及时准确地对生产工艺进行调整，提高高温超导带材镀膜生产后的良率。
[0011]本技术的技术方案是：
[0012]本技术的目的在于提供一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统，该在线监测分析系统设置在镀膜生产线的最后端，包括至少两个图像采集处理装置，至少两个图像采集处理装置设于超导带材的行走路径的一侧，其中一个用于采集并分析所述超导带材的缺陷，另一个用于采集并分析镀膜的颜色以判断膜厚。
[0013]与现有技术相比，本技术的优点是：
[0014]本技术的高温超导带材镀膜在线监测分析系统，通过对镀膜生产线进行改进，在镀膜生产线的最后端设置两个图像采集处理装置，一个用于分析镀膜颜色，一个分析带材缺陷，并对监测分析结果进行显示，方便生产人员根据分析显示结果及时准确地对生产工艺进行调整，提高高温超导带材镀膜生产后的良率。
附图说明
[0015]下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：
[0016]图1为本技术实施例的高温超导带材镀膜在线监测分析系统安装在收卷室内的结构示意图；
[0017]图2为本技术实施例的高温超导带材镀膜在线监测分析系统的带材上缺陷的结构示意图。
[0018]其中：1、收卷室；2、图像采集处理装置；20、监测台；21、摄像头；22、计算机；3、收卷盘；4、带材；5、导轮。
具体实施方式
[0019]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0020]实施例：
[0021]参见图1至图2，本实施例的一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统，该在线检测分析系统设置在超导带材镀膜生产线的最后端，本实施例中收卷室为超导带材镀膜生产线的最后端，也就是说该在线监测分析系统设于收卷室1内，安装在收卷室1内可以使得分析结构更加准确，不受干扰。该在线监测系统包括监测台20，监测台20上设有至少两个图像
采集处理装置，本实施例中优选采用两个图像采集处理装置，其中一个图像采集处理装置用于采集超导带材4的图像具体目的在于获取超导带材4上是否存在有缺陷，另一个图像采集处理装置用于采集超导带材4上镀膜的图像具体的在于获取镀膜的颜色从而判断出镀膜的厚度，也就是说两个图像采集处理装置中一个负责分析镀膜颜色从而判断镀膜后的带材膜厚，另一个负责分析带材4上是否存在有缺陷。
[0022]需要说明的是，根据工艺的不同，AIO的镀膜颜色为蓝色，则可以判断出膜厚为70nm，LMO的镀膜颜色为蓝色则可以判断出膜厚为30nm。膜层的颜色是根据高温超导带材长时间镀膜生产后得到的结论，生产后根据膜厚测试结果显示此颜色为最佳。高温超导带材4在镀膜生产时会产生各种各样的缺陷点，这些缺陷点的产生会影响高温超导带材4最终的性能，会影响带材4的电流通过性，会使带材4产生掉点，甚至膜层脱落或膜层有杂质。通过图像采集处理装置分析高温超导带材4生产过程中产生的缺陷，可以确定缺陷产生的具体位置坐标，产生缺陷的原因。高温超导带材4缺陷分析有助于让生产人员实时掌握镀膜状态，从而进行实时调整，使镀膜产生的缺陷降到最低。从而提高高温超导带材镀膜生产后的良率。
[0023]具体的，收卷室1内沿超导带材4的行走路径上依次设有导轮5和收卷盘3。如图1所示，导轮5的数量为两个，左右相对且间隔设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温超导带材镀膜在线监测分析系统，其特征在于，该在线监测分析系统设置在镀膜生产线的最后端，包括至少两个摄像头，至少两个摄像头设于超导带材的行走路径的一侧，其中一个用于采集并分析所述超导带材的缺陷，另一个用于采集并分析镀膜的颜色以判断膜厚。2.根据权利要求1所述的高温超导带材镀膜在线监测分析系统，其特征在于，所述在线监测分析系统设置在收卷室。3.根据权利要求2所述的高温超导带材镀膜在线监测分析系统，其特征在于，所述收卷室内沿所述超导带材行走路径上依次设有导轮和收卷盘。4.根据权利要求3所述的高温超导带材镀膜在线监测分析系统，其特征在于，所述导轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：林向超，李小宝，张爱兵，迮建军，古宏伟，蔡渊，
申请(专利权)人：苏州新材料研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：