一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板制造技术

本实用新型专利技术公开一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，包括弧形板本体，在其的弧面上开设有多个第一连接孔；弧形替换板，其的形状及尺寸与所述弧形板本体的弧面相匹配，且在所述弧形替换板上设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔；连接件，依次穿过所述第二连接孔和第一连接孔，将所述弧形替换板固定在所述弧形板本体的弧面上。通过在原有加热弧形板上增设一块与加热弧形板材质相同的弧形替换板，两者之间通过连接件连接，使用弧形替换板形成对加热弧形板的保护，将腐蚀转移至弧形替换板上，只需对弧形替换板进行打磨和更换，无需更换整个加热弧形板，提高了加热弧形板的使用寿命，降低了使用成本。降低了使用成本。降低了使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板


[0001]本技术属于超导生产
，具体涉及一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板。

技术介绍

[0002]第二代高温超导带材REBCO用于替代铜材，由其制成的超导电缆的载流能力是现在铜电缆的5~10倍，由其绕制的大型电机体积重量可缩小为原来的1/4，其制作的强磁体可以无损耗地长期运行，利用其超导转变特性的超导限流器可突破现有电力技术的极限。经过十几年的产品化开发，国内外公司已经向市场提供商业带材。二代高温超导带材及其应用正在形成一个新兴的产业，将在本世纪在许多重要领域如电网、能源、军事、医疗、交通及科学研究带来革命性的影响。
[0003]金属有机化学气相沉积法(简称MOCVD)是一种适用于大规模工业化生产的薄膜原位外延技术，也是现在用于制备REBCO超导薄膜的主流技术之一，其特点主要有：相较于磁控溅射和脉冲激光沉积等物理制备技术而言，MOCVD对真空度的要求非常低，增加了镀膜环境的灵活性，减少了因真空系统而产生的成本；镀膜的源材为金属有机物的混合溶液，可以非常精确的调控配比，有利于在薄膜中引入掺杂；薄膜生长速率快，可以通过调节金属有机源的温度和气体的流量控制薄膜的生长速度，且生长速率的调控范围广；MOCVD制备的薄膜物相很均匀，能够达到原子量级。
[0004]是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD制备 REBCO超导层技术使用多种金属有机源，在MOCVD制备 REBCO薄膜中所用的金属有机化合物须满足以下要求：具有合适的蒸气压，化学性质稳定，较低的分解温度，反应所形成的副产物易排除且不阻碍薄膜的生长。
[0005]由于 MOCVD法制备REBCO薄膜需要使用多种金属有机源，为了达到最好的生长条件和生长速率，所以对有机源蒸发温度的控制和反应室的沉积温度有较高的要求。通常沉积反应温度都在700℃以上，加热器的弧形板长时间接受高温和化学物质的腐蚀，大大缩减其使用寿命，需要多次更换整块弧形板，增加了使用成本。

技术实现思路

[0006]针对上述存在的技术问题，本技术目的是：提供一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，通过在原有加热弧形板上增设一块弧形替换板，两者之间通过连接件连接，将腐蚀转移至弧形替换板上，只需对弧形替换板进行打磨和更换，无需更换整个弧形板，提高了弧形板的使用寿命，降低了使用成本。
[0007]本技术的技术方案是：
[0008]本技术的目的在于提供一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，包括：
[0009]弧形板本体，在其的弧面上开设有多个第一连接孔；
[0010]弧形替换板，其的形状及尺寸与所述弧形板本体的弧面相匹配，且在所述弧形替换板上设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔；
[0011]连接件，依次穿过所述第二连接孔和第一连接孔，将所述弧形替换板固定在所述弧形板本体的弧面上。
[0012]优选地，所述第二连接孔设计有两排，相对设置在所述弧形替换板的宽度方向的两端且每排第二连接孔沿所述弧形替换板的长度方向均匀间隔分布。
[0013]优选地，所述第一连接孔和第二连接孔为螺纹孔，所述连接件为螺杆。
[0014]优选地，所述弧形替换板的厚度为5mm。
[0015]优选地，所述弧形替换板的材质为哈氏合金。
[0016]优选地，所述弧形板本体的宽度方向的其中一个端面上开设有若干朝向另一个端面延伸的用于固定控温热电偶的测温孔，若干测温孔沿所述弧形板本体的长度方向间隔分布。
[0017]与现有技术相比，本技术的优点是：
[0018]本技术的在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，通过在原有加热弧形板上增设一块与加热弧形板材质相同的弧形替换板，两者之间通过连接件连接，使用弧形替换板形成对加热弧形板的保护，将腐蚀转移至弧形替换板上，只需对弧形替换板进行打磨和更换，无需更换整个加热弧形板，提高了加热弧形板的使用寿命，降低了使用成本。
附图说明
[0019]下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：
[0020]图1为本技术实施例的在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例的在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板的俯视结构示意图。
[0022]其中：1、弧形板本体；11、测温孔；2、弧形替换板；3、连接件。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0024]实施例：
[0025]参见图1至图2，本实施例的一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，包括弧形板本体1、弧形替换板2和连接件3。其中弧形板本体1为现有常规的MOCVD设备中的加热器上的弧形板，材质为哈氏合金。也就是说弧形板本体1的底面为平面，顶面为弧面。弧形替换板2的形状及尺寸均与弧面相匹配。为了实现两者可拆卸连接，以便于进行更换，在弧形板本体1上开设有若干第一连接孔（未示出），在弧形替换板2上开设有一一对应的第二连接孔（未示出），连接件3依次穿过第二连接孔和第一连接孔将弧形替换板2固定在弧形板本体1的弧面上。
[0026]根据本技术的一些实施例，弧形替换板2的厚度为5mm，采用的材质与弧形板本体1的材质一样也即采用哈氏合金加工而成。
[0027]根据本技术的一些实施例，第二连接孔设有两排，两排第二连接孔相对设置在弧形替换板2的宽度方向的两侧也即如图2所示的上下两侧，每排第二连接孔沿弧形替换板2的长度方向也即如图2所示的左右方向均匀间隔分布。对于第二连接孔的数量而言不做特别限定，本实施例可选为17个。对应地，第一连接孔也设有两排，相对设置在弧形板本体1的宽度方向也即如图1所示的前后两侧上且每排第一连接孔沿弧形板本体1的长度方向也即如图1所示的左右方向均匀间隔排布。
[0028]根据本技术的一些实施例，连接件3为螺栓，第一连接孔和第二连接孔为螺纹连接孔。
[0029]根据本技术的一些实施例，在弧形板本体1的宽度方向的其中一个端面也即如图1所示的前面设有若干测温孔11，测温孔11朝向另一个端面也即朝向如图1所示的后面延伸但不贯穿弧形板本体1。具体深度和直径不做特别限定，比如116mm，直径2mm等。测温孔11用于固定温控热电偶器件。若干测温孔11沿弧形板本体1的长度方向也即如图1所示的左右方向间隔分布。对于测温孔11的数量而言，不做特别限定，本实施例中可选为12个。
[0030]本具体实施例中的指定方向仅仅是为了便于表述各部件之间位置关系以及相互配合的关系。以上所述仅是本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，其特征在于，包括：弧形板本体，在其的弧面上开设有多个第一连接孔；弧形替换板，其的形状及尺寸与所述弧形板本体的弧面相匹配，且在所述弧形替换板上设有与所述第一连接孔一一对应的第二连接孔；连接件，依次穿过所述第二连接孔和第一连接孔，将所述弧形替换板固定在所述弧形板本体的弧面上。2.根据权利要求1所述的在MOCVD设备中提高加热器寿命的加热弧形板，其特征在于，所述第二连接孔设计有两排，相对设置在所述弧形替换板的宽度方向的两端且每排第二连接孔沿所述弧形替换板的长度方向均匀间隔分布。3.根据权利要求1所述的在MOCVD...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯仁，岳鹏，章鹏，张爱兵，迮建军，古宏伟，蔡渊，
申请(专利权)人：苏州新材料研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：