散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法技术方案

本发明专利技术实施例是关于一种散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法。本文揭露了一种自动化物料处理系统AMHS和一种操作所述AMHS的方法。在一方面，所述AMHS包含轨道网络和运载工具，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本，其中所述运载工具经配置以借着所述轨道网络在半导体制造设施FAB内移动。所述AMHS还包含转台，所述转台连接到所述轨道网络并且经配置以围绕大体上垂直于所述转台的表面的轴线旋转。所述AMHS还包含散列轨道，所述散列轨道连接到所述转台并与所述转台重叠。所述散列轨道经配置以与所述转台一起围绕所述轴线旋转。与所述转台一起围绕所述轴线旋转。与所述转台一起围绕所述轴线旋转。

【技术实现步骤摘要】
散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法


[0001]本专利技术实施例是关于一种散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法。

技术介绍

[0002]目前自动化物料处理系统(Automated Material Handling System，AMHS)已经广泛地用于半导体制造设施(Semiconductor Fabrication Facilities，FAB)中，从而在用于晶片制造中的各种处理机器(“机台”)之间自动地处理和运输晶片以及其它样本。一般典型的FAB可以包含一或多个楼层，所述楼层具有多个工艺加工区(process bay)，前述工艺加工区包含通过AMHS互连的处理机台(processing tool)(例如工艺机台(process tool))及晶片集结设备(wafer staging equipment)。半导体FAB可能包含多种类型的自动化以及人工操作运载工具，前述运载工具用于在制造过程中在FAB全厂中移动和运输样本载具。这些运载工具可以包含例如自动导引运载工具(Automatic Guided Vehicle，AGV)、个人导引运载工具(Personal Guided Vehicle，PGV)、轨道导引运载工具(Rail Guided Vehicle，RGV)、天车(Overhead Shuttle，OHS)和高架悬吊式运输机具(Overhead Hoist Transport，OHT)。

技术实现思路

[0003]根据本专利技术的一实施例，一种用于半导体制造设施(FAB)的自动化物料处理系统(AMHS)，包含：轨道网络；运载工具，其经配置以固持用于存放一或多个样本的样本载具，其中所述运载工具经配置以通过所述轨道网络在所述半导体制造设施内移动；转台，其连接到所述轨道网络并且经配置以围绕大体上垂直于所述转台的表面的轴线旋转；以及散列轨道，其与所述转台连接并重叠，其中所述散列轨道经配置以与所述转台一起围绕所述轴线旋转。
[0004]根据本专利技术的一实施例，一种操作自动化物料处理系统(AMHS)的方法，包含：使运载工具沿着第一固定轨道朝向固定于第一转台的第一散列轨道移动，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本；使所述第一散列轨道围绕大体上垂直于所述第一转台的表面延伸的轴线旋转；以及使所述运载工具通过所述第一散列轨道从所述第一散列轨道的第一末端朝向所述第一散列轨道的第二末端移动，所述第一散列轨道的所述第一末端以及所述第二末端彼此相对。
[0005]根据本专利技术的一实施例，一种操作自动化物料处理系统(AMHS)的方法，包含：使运载工具沿着第一固定轨道朝向固定于第一转台的第一散列轨道移动，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本；使所述第一散列轨道围绕大体上垂直于所述第一转台的表面延伸的轴线旋转；使所述运载工具沿着所述散列轨道的弯曲部分移动；以及使所述运载工具沿着第二固定轨道移动，所述第二固定轨道沿着不同于所述第一固定轨道的第二方向延伸。
附图说明
[0006]从结合附图阅读的以下详细描述最佳理解本揭露的方面。应注意，根据行业标准做法，各种装置未按比例绘制。实际上，为使讨论清楚，可任意增大或减小各种装置的尺寸。
[0007]图1绘示出根据一些实施例的AMHS运载工具的框图。
[0008]图2绘示出根据一些实施例的包含AMHS的示例FAB的示意设计图。
[0009]图3A绘示出根据一些实施例的示例散列轨道(Hash Rail)的俯视图。
[0010]图3B绘示出根据一些实施例在图3A中的散列轨道旋转约90度的俯视图。
[0011]图4A绘示出根据一些实施例的示例散列轨道和周围固定轨道的俯视图。
[0012]图4B绘示出根据一些实施例在图4A中的散列轨道旋转约90度的俯视图。
[0013]图5A绘示出根据一些实施例的包含示例散列轨道的示例AMHS的俯视图。
[0014]图5B绘示出根据一些实施例的AMHS以及在图5A中的散列轨道旋转约90度的俯视图。
[0015]图6A绘示出根据一些实施例的包含示例散列轨道的示例AMHS的俯视图。
[0016]图6B绘示出根据一些实施例的AMHS以及在图6A中的散列轨道旋转约90度的俯视图。
[0017]图7A绘示出根据一些实施例的用于散列轨道的示例电源的立体图。
[0018]图7B绘示出根据一些实施例的用于为运载工具提供动力的示例面板系统的示意图。
[0019]图8绘示出根据一些实施例的示例散列轨道的示意设计图。
[0020]图9绘示出根据一些实施例的操作AMHS的示例方法的流程图。
[0021]图10绘示出根据一些实施例的操作AMHS的另一示例方法的流程图。
具体实施方式
[0022]以下揭露提供用于实施所提供目标的不同特征的诸多不同实施例或实例。下文将描述组件及布置的特定实例以简化本揭露。当然，这些仅为实例且不意在产生限制。例如，在以下描述中，在第二装置上方或第二装置上形成第一装置可包含其中形成直接接触的第一装置及第二装置的实施例，且还可包含其中可在第一装置与第二装置之间形成额外装置使得第一装置及第二装置可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各个实例中重复参考组件符号及/或字母。此重复是为了简单及清楚且其本身不指示所讨论的各种实施例及/或配置之间的关系。
[0023]此外，为便于描述，例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”、“顶部”、“底部”及其类似的空间相对术语在本文中可用于描述一组件或装置与另一(些)组件或装置的关系，如图中所绘示出的。除了图中所描绘的方向之外，空间相对术语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方向。设备可依其它方式方向(旋转90度或依其它方向)且还可因此解译本文中所使用的空间相对描述词。
[0024]OHT系统会自动移动装载和运输样本载具的OHT运载工具(以下也称为“运载工具”或“运输运载工具”)，例如标准机械化接口(Standard Mechanical Interface，SMIF)晶片盒或容纳多个晶片的前开式晶片传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)或其它样本(例如，掩模)，从加工或计量机台或储料器运输到FAB中另一个机台或其它设备的装载端
口。OHT系统可用于在每一个加工区内(intra
‑
bay)或加工区之间(inter
‑
bay)运输运载工具。OHT系统还将空的(例如，不具有载具)运载工具移动到机台装载端口或其它设备，将空的运载工具用于接收和卸除可能装有晶片的空的或满的SMIF晶片盒或FOUP，以便将前述空的运载工具在其它机台中进一步运输及/或处理晶片。
[0025]一般典型的FAB具有让运载工具沿着同一方向行驶的大型轨道网络。除非有专用的固定轨道可以让运载工具改变方向，否则运载工具通常不能改变方向，例如不能转弯或回转(例如，U形回转)。而这样会让运载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体制造设施FAB的自动化物料处理系统AMHS，包含：轨道网络；运载工具，其经配置以固持用于存放一或多个样本的样本载具，其中所述运载工具经配置以通过所述轨道网络在所述半导体制造设施内移动；转台，其连接到所述轨道网络并且经配置以围绕大体上垂直于所述转台的表面的轴线旋转；以及散列轨道，其与所述转台连接并重叠，其中所述散列轨道经配置以与所述转台一起围绕所述轴线旋转。2.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，进一步包含：第一电源，其连接到所述轨道网络；及第二电源，其连接到所述散列轨道，其中所述第一电源以及所述第二电源彼此电性不连接。3.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，其中所述散列轨道包含各自均具有π形状的第一部分以及第二部分。4.根据权利要求1所述的自动化物料处理系统，进一步包含多个传感器，其沿着所述散列轨道的至少一部分设置，其中所述多个传感器经配置以对所述转台的对准进行感测。5.一种操作自动化物料处理系统AMHS的方法，包含：使运载工具沿着第一固定轨道朝向固定于第一转台的第一散列轨道移动，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本；使所述第一散列轨道围绕大体上垂直于所述第一转台的表面延伸的轴线旋转；以及使所述运载工具通过所述第一散列轨道从所述第一散列轨道的第一末端朝向所述第一散列轨道的第二末端移动，所述第一散列轨道的所述第一末端以及所述第二末端彼此相对。6.根据权利要求5所述的方法，进一步包含：在将所述运载工具移动通过所述第一散列轨道之后，将所述运载...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冠群，张庆荣，董启峰，沈香吟，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：