一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，包括壳体、炉体、加热件、模具和导热件，其中：壳体具有真空腔，炉体安装在真空腔内，与现有技术相同，壳体具有抽气管；炉体具有加热腔，加热件安装在加热腔的侧壁内，与现有技术相同，加热件安装在加热腔的每个侧壁，且加热件可以为现有技术中的电加热件；模具设在加热腔中，导热件竖向开有导热通孔，模具套在导热通孔内。本实用新型专利技术中，所提出的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，结构简单，通过导热件的设置便于对模具进行均匀加热，进而增大产品的质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉


[0001]本技术涉及电炉
，尤其涉及一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉。

技术介绍

[0002]金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末，需要经过加热烧结成为具有一定密度和一定机械性能的材料。粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，经高温加热到软化状态时，加压成型。真空热压炉将真空、热压成型、高温烧结结合在一起，主要适用于粉末冶金、功能陶瓷等新材料的高温热成型。随着科学技术的飞跃，常压下的高温烧结工艺已经无法满足新材料生产的需求。于是慢慢出现了真空热压这种新工艺。
[0003]现有的真空热压炉一般包括壳体、加热件、炉体、模具和加压件，模具放置在加热炉体中，且一般加热件安装在炉体内壁上，由于不同的模具外壁形状不同进而导致模具外壁到加热件的距离不同进而使模具受热不均进而在一定程度上影响部件质量。

技术实现思路

[0004]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉。
[0005]本技术提出的一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，包括壳体、炉体、加热件、模具和导热件，其中：
[0006]壳体具有真空腔，炉体安装在真空腔内，与现有技术相同，壳体具有抽气管；
[0007]炉体具有加热腔，加热件安装在加热腔的侧壁内，与现有技术相同，加热件安装在加热腔的每个侧壁，且加热件可以为现有技术中的电加热件；
[0008]模具设在加热腔中，导热件竖向开有导热通孔，模具套在导热通孔内。
[0009]作为本技术进一步优化的方案，导热件的外壁与加热腔侧壁平行，通孔的内侧壁与模具的外侧面平行，进一步增大导热件的导热效果，使模具受热均匀。
[0010]作为本技术进一步优化的方案，包括弹性件和导热板，导热板通过弹性件安装在导热通孔侧壁，导热板远离导热通孔的一侧与模具的外侧壁接触，具体的，弹性件为耐高温弹性件，弹性件可以为现有技术中耐高温材料制成的弹簧。
[0011]作为本技术进一步优化的方案，导热板设有至少两块，至少两块导热板完全包覆模具外壁，进而增大对模具导热的均匀性。
[0012]在保证模具受热均匀的前提下，又可以在加压过程中进而避免模具发生形变，作为本技术进一步优化的方案，当导热板与模具外壁接触时，弹性件处于压缩状态。
[0013]作为本技术进一步优化的方案，导热件包括第一导热件和第二导热件，第一导热件和第二导热件可拆卸连接，第一导热件和第二导热件分别具有第一导热开口和第二导热开口，第一导热开口和第二导热开口形成导热通孔，至少一个导热板通过弹性件安装在第一导热开口内，且至少一个导热板通过弹性件安装在第二导热开口内。
[0014]作为本技术进一步优化的方案，加热腔中设有导热支撑板，模具和导热件安
装在导热支撑板上。相对模具直接安装在加热腔的下底面的情况该更优的技术方案使模具的受热更加均匀。
[0015]作为本技术进一步优化的方案，还包括压紧件和驱动件，压紧件安装在驱动件的移动端，驱动件安装在壳体上，压紧件延伸至加热腔中并用于对加热腔中的模具进行挤压。
[0016]本技术中，所提出的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，结构简单，通过导热件的设置便于对模具进行均匀加热，进而增大产品的质量。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]图1为本技术结构示意图；
[0019]图2为本技术壳体内部结构示意视图。
具体实施方式
[0020]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中表示，其中自始至终相同或类似的符号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解对本技术的限制。
[0021]需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0025]如图1
‑
2所示的一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，包括壳体1、炉体2、加热件3、支
撑板4、模具5、导热件6、压紧件7和驱动件8，其中：
[0026]壳体1具有真空腔，炉体2安装在真空腔内，壳体1具有抽气管等结构(图中未示出)，真空机通过抽气管对壳体1进行抽真空；
[0027]炉体2具有加热腔，加热件3安装在加热腔的侧壁内，加热件3安装在加热腔的每个侧壁，且加热件3可以为现有技术中的电加热件3；
[0028]支撑板4安装在加热腔中，具体的，支撑板4通过支撑柱安装在加热腔中，支撑住9竖向设置，支撑板4的支撑面距离加热腔的下底面和上顶面的距离基本相等；
[0029]模具5设在加热腔的支撑板4上，导热件6开有竖向的导热通孔，模具5 套在导热通孔内；
[0030]导热件6的外壁与加热腔侧壁平行，通孔的内侧壁与模具5的外侧面平行，进一步增大导热件6的导热效果，使模具5受热均匀；
[0031]包括弹性件10和导热板11，导热板11通过弹性件10安装在导热通孔侧壁，导热板11远离导热通孔的一侧与模具5的外侧壁接触，具体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，其特征在于，包括壳体、炉体、加热件、模具和导热件，其中：壳体具有真空腔，炉体安装在真空腔内；炉体具有加热腔，加热件安装在加热腔的侧壁内；模具设在加热腔中，导热件竖向开有导热通孔，模具套在导热通孔内。2.根据权利要求1所述的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，其特征在于，导热件的外壁与加热腔侧壁平行，通孔的内侧壁与模具的外侧面平行。3.根据权利要求1所述的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，其特征在于，包括弹性件和导热板，导热板通过弹性件安装在导热通孔侧壁，导热板远离导热通孔的一侧与模具的外侧壁接触。4.根据权利要求2所述的氧化钽陶瓷靶材真空热压炉，其特征在于，导热板设有至少两块，至少两块导热板完全包覆模具外壁。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯闽渤，
申请(专利权)人：广德特旺光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：