一种集成化高温真空一体烧结炉制造技术

技术编号:34890505 阅读:16 留言:0更新日期:2022-09-10 13:49
本实用新型专利技术公布了一种集成化高温真空一体烧结炉,包括底座,底座的顶部连接有机架,机架的顶部左侧连接有电控箱,机架的顶部右侧连接有水箱,水箱内设有制冷设备,底座的顶部左侧连接有中频电源,底座的顶部右侧连接有烧结炉体,中频电源与烧结炉体之间设有中频变压器,烧结炉体的上方设有炉盖,炉盖与机架顶壁之间连接有液压杆,烧结炉体内设有耐火发热体,耐火发热体的外壁连接有感应线圈,感应线圈通过中频变压器与中频电源相连,机架的右侧壁连接有抽真空设备,抽真空设备与烧结炉体之间连通有引流管;本实用新型专利技术结构设计合理,操作简单,布局合理,占用空间小,能够对物料进行烧结处理,能够达到良好的降温冷却效果,方便实用。实用。实用。

【技术实现步骤摘要】
一种集成化高温真空一体烧结炉


[0001]本技术涉及烧结炉
,尤其涉及一种集成化高温真空一体烧结炉。

技术介绍

[0002]烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。目前使用的真空烧结炉多为分离式结构形式,控制柜、变压器、炉体各自分离,笨重、体积大不方便移动,搬迁困难,操作极不方便。为此,我们提出了一种集成化高温真空一体烧结炉。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种集成化高温真空一体烧结炉,以克服现有技术中存在的技术问题。
[0004]为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本技术提供如下技术方案:
[0005]一种集成化高温真空一体烧结炉,包括底座,所述底座的顶部连接有机架,所述机架的顶部左侧连接有电控箱,所述机架的顶部右侧连接有水箱,所述水箱内设有制冷设备,所述底座的顶部左侧连接有中频电源,所述底座的顶部右侧连接有烧结炉体,所述中频电源与烧结炉体之间设有中频变压器,所述烧结炉体的上方设有炉盖,所述炉盖与机架顶壁之间连接有液压杆,所述烧结炉体内设有耐火发热体,所述耐火发热体的外壁连接有感应线圈,所述感应线圈通过中频变压器与中频电源相连,所述机架的右侧壁连接有抽真空设备,所述抽真空设备与烧结炉体之间连通有引流管。
[0006]优选的,一种集成化高温真空一体烧结炉中,所述烧结炉体的前端安装有炉门,所述烧结炉体的炉壁嵌设有换热管,所述换热管呈螺旋状结构设置,所述换热管端部与水箱之间连通有第一支管与第二支管,所述第一支管上安装有抽液泵,所述第二支管上安装有控制阀。
[0007]优选的,一种集成化高温真空一体烧结炉中,所述引流管上安装有止回阀。
[0008]优选的,一种集成化高温真空一体烧结炉中,所述炉盖上安装有温度计与压力表。
[0009]优选的,一种集成化高温真空一体烧结炉中,所述烧结炉体的外壁设有隔热涂层。
[0010]优选的,一种集成化高温真空一体烧结炉中,所述底座的底部四角安装有移动轮,所述移动轮上设有刹车片。
[0011]本技术的有益效果是:
[0012]本技术结构设计合理,操作简单,结构紧凑,布局合理,占用空间小,投入物料后关闭炉门,通过液压杆带动炉盖下降,能够对烧结炉体进行密封处理,利用抽真空设备将烧结炉体内腔空气排除,通过感应线圈使得耐火发热体产生感应电流,进而在烧结炉体内产生高温辐射,能够对物料进行烧结处理,通过抽液泵吸取水流,水箱的水能够沿换热管循环流动,换热管呈螺旋状结构设置,能够延长通过时间,进而与烧结炉体进行热交换,能够达到良好的降温冷却效果,方便实用。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术的技术方案,下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术的外部结构示意图;
[0015]图2为本技术的内部结构示意图;
[0016]图3为本技术中换热管的结构示意图;
[0017]图中:1、底座;2、机架;3、电控箱;4、水箱;5、中频电源;6、烧结炉体;7、炉盖;8、液压杆;9、耐火发热体;10、感应线圈;11、中频变压器;12、抽真空设备;13、引流管;101、移动轮;102、刹车片;601、炉门;602、换热管;603、第一支管;604、第二支管;605、抽液泵;606、控制阀;701、温度计;702、压力表;131、止回阀。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

3所示,本实施例为一种集成化高温真空一体烧结炉,包括底座1,底座1的顶部连接有机架2,机架2的顶部左侧连接有电控箱3,机架2的顶部右侧连接有水箱4,水箱4内设有制冷设备,底座1的顶部左侧连接有中频电源5,底座1的顶部右侧连接有烧结炉体6,中频电源5与烧结炉体6之间设有中频变压器11,烧结炉体6的上方设有炉盖7,炉盖7与机架2顶壁之间连接有液压杆8,烧结炉体6内设有耐火发热体9,耐火发热体9的外壁连接有感应线圈10,感应线圈10通过中频变压器11与中频电源5相连,机架2的右侧壁连接有抽真空设备12,抽真空设备12与烧结炉体6之间连通有引流管13。
[0020]烧结炉体6的前端安装有炉门601,烧结炉体6的炉壁嵌设有换热管602,换热管602呈螺旋状结构设置,换热管602端部与水箱4之间连通有第一支管603与第二支管604,第一支管603上安装有抽液泵605,第二支管604上安装有控制阀606。
[0021]引流管13上安装有止回阀131,便于抽真空工作的进行。
[0022]炉盖7上安装有温度计701与压力表702,便于了解炉内气压与温度。
[0023]烧结炉体6的外壁设有隔热涂层,避免接触烫伤。
[0024]底座1的底部四角安装有移动轮101,移动轮101上设有刹车片102,便于设备整体移动与定位。
[0025]本技术的具体实施方式为:
[0026]本装置在使用时,将底座1移动至工作区域,底座1的顶部连接机架2,机架2顶部设置有电控箱3与水箱4,中频电源5、烧结炉体6与中频变压器11均设置在机架2内侧,结构紧凑,布局合理,占用空间小,工作时投入物料后关闭炉门601,通过液压杆8带动炉盖7下降,能够对烧结炉体6进行密封处理,利用抽真空设备12将烧结炉体6内腔空气排除,止回阀131的设置能够避免空气回流,利用中频电源5驱动中频变压器11工作,通过感应线圈10使得耐
火发热体9产生感应电流,进而在烧结炉体6内产生高温辐射,对物料进行烧结处理,利用温度计701与压力表702了解炉内气压与温度,简单直观,当烧结完成后,打开控制阀606,通过抽液泵605吸取水流,水箱4的水能够沿换热管602循环流动,换热管602呈螺旋状结构设置,能够延长通过时间,进而与烧结炉体6进行热交换,达到良好的降温冷却效果,利用制冷设备对水箱4进行降温,从而保障换热效果,方便实用。
[0027]描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[00本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成化高温真空一体烧结炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部连接有机架(2),所述机架(2)的顶部左侧连接有电控箱(3),所述机架(2)的顶部右侧连接有水箱(4),所述水箱(4)内设有制冷设备,所述底座(1)的顶部左侧连接有中频电源(5),所述底座(1)的顶部右侧连接有烧结炉体(6),所述中频电源(5)与烧结炉体(6)之间设有中频变压器(11),所述烧结炉体(6)的上方设有炉盖(7),所述炉盖(7)与机架(2)顶壁之间连接有液压杆(8),所述烧结炉体(6)内设有耐火发热体(9),所述耐火发热体(9)的外壁连接有感应线圈(10),所述感应线圈(10)通过中频变压器(11)与中频电源(5)相连,所述机架(2)的右侧壁连接有抽真空设备(12),所述抽真空设备(12)与烧结炉体(6)之间连通有引流管(13)。2.根据权利要求1所述的一种集成化高温真空一体烧结炉,其特征在于:所述烧结炉体...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘祥坤
申请(专利权)人:芯朋半导体科技如东有限公司
类型:新型
国别省市:

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