一种生产一氧化硅的卧式真空炉制造技术

本实用新型专利技术提出了一种生产一氧化硅的卧式真空炉，包括承载基座、原料盛放罐、两个成品收集罐，其中：原料盛放罐具有可封闭的腔室部以及设置在腔室部外的的安装部，腔室部水平布置并安装在承载基座上，两个成品收集罐均竖直滑动安装在安装部上本实用新型专利技术设计新颖，操作简单，通过原料盛放罐与两个成品收集罐等的设置，两个成品收集罐均滑动安装在原料盛放罐上的安装部上，并且轮流与原料盛放罐连通设置，利用抽真空组件可以将二者抽真空，利用加热层对原料盛放罐加热处理完成反应；两个成品收集罐的轮流替换提高了生产效率，并且可以将替换下来的成品收集罐内的反应物进行收集。下来的成品收集罐内的反应物进行收集。下来的成品收集罐内的反应物进行收集。

【技术实现步骤摘要】
一种生产一氧化硅的卧式真空炉


[0001]本技术涉及一氧化硅生产
，尤其涉及一种生产一氧化硅的卧式真空炉。

技术介绍

[0002]一氧化硅是一种宽带隙半导体光学材料，是用于制备光学镀膜、锂离子电池负极材料的重要原料，其制备方法多为将金属硅与氧化硅的混合物在真空和高温下反应，生产一氧化硅的蒸汽，在低温下沉积。早期的一氧化硅生产装置仅是一个高氧化铝瓷质耐火管，其常开的一端内壁衬有钼质或镍质衬片，工作时，将混合好的二氧化碳和硅的混合原料置于管内封闭的一端，耐火管封闭抽真空后，直接在空气中加热管子表面，原料汽化后，沉积在耐火管另一端的钼片或镍片上。
[0003]对于生产一氧化硅的真空炉，现有的真空炉一般具有原料盛放罐和成品收集罐，在具体生产过程中，成品收集罐与原料盛放罐一一对应设置，当原料盛放罐反应完成后，需要等待成品收集罐冷却，然后可以收集成品，也即完成单次生产；但是成品的冷却时间较长，进而降低了真空炉的生产效率。

技术实现思路

[0004]基于
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出了一种生产一氧化硅的卧式真空炉，包括承载基座、原料盛放罐、两个成品收集罐，其中：
[0005]原料盛放罐具有可封闭的腔室部以及设置在腔室部外的安装部，腔室部水平布置并安装在承载基座上，两个成品收集罐均竖直滑动安装在安装部上；安装部具有容纳单个成品收集罐的置物区，当其中一个成品收集罐位于置物区时，该成品收集罐与原料盛放罐连通设置并且二者形成密闭空间，另一个成品收集罐位于置物区外；承载基座上设有用于对置物区外的成品收集罐冷却的降温组件。
[0006]优选的，所述降温组件包括多个气管，多个气管均布的安装在承载基座上与置物区外成品收集罐相对的位置，进而气管可以对替换下来的成品收集罐进行吹气降温处理。
[0007]优选的，所述安装部上开设有竖直布置的滑槽，滑槽上滑动安装有安装架，并且安装部上设有用于对安装架位置锁定的紧固件，两个成品收集罐均相对安装在安装架上，利用安装架位置的改变可以改变两个成品收集罐的位置，同时利用紧固件可以将两个成品收集罐位置进行锁定。
[0008]优选的，所述紧固件包括固定板，固定板滑动安装在滑槽上并与安装架连接，安装部上设有多个竖直布置的通孔，固定板通过螺栓与通孔螺纹连接。固定板位置的固定也即安装架和两个成品收集罐的位置被固定。
[0009]优选的，所述安装架具有两个相对布置的固定部以及用于连接两个固定部的连接部，两个成品收集罐分别可拆卸的安装在两个固定部上。
[0010]优选的，所述原料盛放罐的腔室部、成品收集罐上均设有真空管接头，承载基座上
设有抽真空组件，抽真空组件与真空管接头连通设置。在工作时，利用抽真空组件将原料盛放罐的腔室部、成品收集抽真空处理。
[0011]优选的，所述承载基座上位于成品收集罐下方位置设有垫板。垫板具有隔热性能，可以将温度较高的成品收集罐与承载基座进行隔绝。
[0012]优选的，所述原料盛放罐上设有用于对腔室部加热的加热层，并且加热层外部设有保温层。利用保温层可以将原料盛放罐进行保温处理，防止加热的热量外泄。
[0013]优选的，所述承载基座包括L形板和承载板，L形板具有竖直部、水平部，承载板水平的安装在竖直部上，多个气管安装在竖直部的底端与顶端，并与成品收集箱位置相对，原料盛放罐的腔室部安装在承载板上，并且承载板的长度小于水平部的长度。
[0014]相较于现有技术，本技术提出的一种生产一氧化硅的卧式真空炉采用上述技术方案，达到了如下技术效果：
[0015]1、通过原料盛放罐与两个成品收集罐等的设置，两个成品收集罐均滑动安装在原料盛放罐上的安装部上，并且轮流与原料盛放罐连通设置，利用抽真空组件可以将二者抽真空，利用加热层对原料盛放罐加热处理完成反应；两个成品收集罐的轮流替换提高了生产效率，并且可以将替换下来的成品收集罐内的反应物进行收集；
[0016]2、通过降温组件等的设置，降温组件可以对替换下来的成品收集罐进行快速的冷却降温处理，便于反应生成物蒸汽快速凝结以及反应生成物固体的降温。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的承载基座整体结构示意图；
[0019]图3为本技术的原料盛放罐整体结构示意图；
[0020]图4为本技术的安装架与成品收集罐整体结构示意图；
[0021]图5为本技术的安装架整体结构示意图。
[0022]图中：1.承载基座、2.原料盛放罐、21.腔室部、22.安装部、3.成品收集罐、4.气管、5.滑槽、6.安装架、61.固定部、62.连接部、7.紧固件、71.固定板、72.通孔、8.真空管接头、9.垫板、11.L形板、12.承载板。
具体实施方式
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0025]参照图1，本技术提出一种生产一氧化硅的卧式真空炉，包括承载基座1、原料盛放罐2、两个成品收集罐3，其中：参照图,3，原料盛放罐2具有可封闭的腔室部21以及设置在腔室部21外的安装部22，腔室部21水平布置并安装在承载基座1上，两个成品收集罐3均竖直滑动安装在安装部22上；原料盛放罐2内设有坩埚，使用时，打开腔室部21，将二氧化硅粉和硅粉按一定比例混合加入到坩埚中，然后封闭腔室部21。原料盛放罐2的腔室部21、成品收集罐3上均设有真空管接头8，承载基座1上设有抽真空组件，抽真空组件与真空管接头8连通设置，用于将原料盛放罐2和成品收集罐3内部抽真空。安装部22具有容纳单个成品收集罐3的置物区，当其中一个成品收集罐3位于置物区时，该成品收集罐3与原料盛放罐2连通设置并且二者形成密闭空间，此时抽真空组件工作，将成品收集罐3与原料盛放罐2抽真空，同时另一个成品收集罐3会位于置物区外，承载基座1上设有用于对置物区外的成品收集罐3冷却的降温组件。原料盛放罐2上设有用于对腔室部21加热的加热层，并且加热层外部设有保温层。
[0026]具体工作流程：在两个原料盛放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于，包括承载基座(1)、原料盛放罐(2)、两个成品收集罐(3)，其中：原料盛放罐(2)具有可封闭的腔室部(21)以及设置在腔室部(21)外的安装部(22)，腔室部(21)水平布置并安装在承载基座(1)上，两个成品收集罐(3)均竖直滑动安装在安装部(22)上；安装部(22)具有容纳单个成品收集罐(3)的置物区，当其中一个成品收集罐(3)位于置物区时，该成品收集罐(3)与原料盛放罐(2)连通设置并且二者形成密闭空间，另一个成品收集罐(3)位于置物区外；承载基座(1)上设有用于对置物区外的成品收集罐(3)冷却的降温组件。2.根据权利要求1所述的生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于，所述降温组件包括多个气管(4)，多个气管(4)均布的安装在承载基座(1)上与置物区外成品收集罐(3)相对的位置。3.根据权利要求2所述的生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于，所述安装部(22)上开设有竖直布置的滑槽(5)，滑槽(5)上滑动安装有安装架(6)，并且安装部(22)上设有用于对安装架(6)位置锁定的紧固件(7)，两个成品收集罐(3)均相对安装在安装架(6)上。4.根据权利要求3所述的生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于，所述紧固件(7)包括固定板(71)，固定板(71)滑动安装在滑槽(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯闽渤，
申请(专利权)人：广德特旺光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：