一种干式多级罗茨真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干式多级罗茨真空泵，包括机柜，所述机柜内设有罗茨泵和多级罗茨泵，罗茨泵与多级罗茨泵之间通过连接道连通，所述机柜设有氮气系统，所述氮气系统包括氮气管，且氮气管内通入氮气，所述氮气管与分别连通罗茨泵和多级罗茨泵的两端盖。通过对罗茨泵和多级罗茨真空泵中通入氮气，通过氮气吹扫，将内部的粉尘从工艺段出气口冲出，将有毒有害气体排出。有害气体排出。有害气体排出。

【技术实现步骤摘要】
一种干式多级罗茨真空泵


[0001]本技术涉及一种罗茨泵，特别涉及一种干式多级罗茨真空泵。

技术介绍

[0002]罗茨真空泵（简称：罗茨泵）是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵，罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵，靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
[0003]一般的将螺杆泵和罗茨泵组合的结构不够紧凑，占地空间大，并且无法除含粉尘量大的气体，抽除含粉尘量大的气体的时候，粉尘会残留在泵体内部，影响泵体的正常运转，在抽取一些危险性气体的时候，会有一部分气体残留在泵体内，影响整体性能。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种干式多级罗茨真空泵，通过对罗茨泵和多级罗茨真空泵中通入氮气，通过氮气吹扫，将内部的粉尘从工艺段出气口冲出，将有毒有害气体排出。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种干式多级罗茨真空泵，包括机柜，所述机柜内设有罗茨泵和多级罗茨泵，罗茨泵与多级罗茨泵之间通过连接道连通，所述机柜设有氮气系统，所述氮气系统包括氮气管，且氮气管内通入氮气，所述氮气管与分别连通罗茨泵和多级罗茨泵的两端盖，且连接氮气阀组。
[0007]采用上述技术方案，是在一根轴上安有3~5级的罗茨型转子，各级串联应用，气体经不等腔各级压缩后排出，转子形状对称，动平衡性能良好，运作平稳，噪音低。转子与转子、泵腔壁之间有间隙，泵内运动件无摩擦，工作腔无需润滑油。它对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。且具有抽速高、启动快、节能减排、结构紧凑、维护成本低等优点。干式多级罗茨真空泵即适合用作单泵，也可与我们的EB罗茨泵组合使用。当它与罗茨泵串联组合使用时，是以罗茨泵为主抽泵（即增压泵），以多级罗茨泵为前级泵。在泵组工作时，由多级罗茨泵先对系统进行预抽，当系统压力达到允许罗茨泵启动压力后，罗茨泵就可启动工作，氮气管将氮气分别通入罗茨泵和多级罗茨泵中，不仅将内部残留的粉尘吹扫出去，还能将抽气过程中残留的有毒有害气体排出，有效提高产品的使用效果和安全性。
[0008]作为优选，所述罗茨泵和多级罗茨泵分别安装有电机一和电机二，且电机一和电机二通为水冷电机，所述机柜内设有水冷系统，所述水冷系统包括进水管和出水管，所述进水管的冷却水依次流经电机二、多级罗茨泵、电机一、罗茨泵和水冷板，从出水管流出。
[0009]采用上述技术方案，真空泵在工作过程中会产生大量的热量，通过水冷系统带走热量，防止真空泵和电机的温度升高，让真空泵的温度能够在一个稳定的范围内。
[0010]作为优选，所述罗茨泵和多级罗茨泵之间上下堆叠，并且罗茨泵上端连接有工艺
段进气口，多级罗茨泵下端连接有工艺段排气口。
[0011]采用上述技术方案，罗茨泵和多级罗茨上下堆叠，安装更加紧密，有效提高空间利用率，真空泵工作过程中从工艺段进气口将气体抽出，再由工艺段排气口排出。
[0012]作为优选，所述工艺段排气口处安装有排气消音器。
[0013]采用上述技术方案，配置消音器，它是消除空气动力性噪声的重要措施，此消音器设计美观小巧，安装在机组排气口，在排气系统中用于降低噪声。
[0014]作为优选，所述机柜内设有控制柜，所述控制柜内安装各类电气元件。
[0015]作为优选，所述机柜内设有水冷板，所述水冷板与水冷系统连通，所述水冷板上安装有变频器。
[0016]采用上述技术方案，水冷系统的冷却水经过水冷板，将变频器产生的热量给带走，防止变频器温度过高。
[0017]本技术的有益效果：1、多级罗茨泵被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感，在长时间抽取带有粉尘的空气时，多级罗茨泵的使用寿命更长；2、且多级罗茨泵能够作为单泵使用，也可与罗茨泵串联组合使用时，是以罗茨泵为主抽泵，以多级罗茨泵为前级泵；3、通过氮气对泵体内部进行吹扫，将粉尘排出去，防止堆积在泵体内；4、通过氮气对泵体内部进行填充密封，将泵体内部的其余气体全部排出，防止有毒有害气体残留。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体图；
[0019]图2为机柜的内部结构图；
[0020]图3为图2的A区放大图；
[0021]图4为变频器的结构图。
[0022]附图标记：1、机柜；2、罗茨泵；3、多级罗茨泵；4、工艺段进气口；5、工艺段排气口；6、排气消音器；7、氮气进口；8、出水口；9、进水口；10、氮气管；11、进水管；12、出水管；13、变频器；14、水冷板；15、氮气阀组。
具体实施方式
[0023]见图1至4，一种干式多级罗茨真空泵，包括机柜1，机柜1内设有罗茨泵2和多级罗茨泵3，罗茨泵2与多级罗茨泵3之间通过连接道连通，罗茨泵2和多级罗茨泵3之间上下堆叠，并且罗茨泵2上端连接有工艺段进气口4，多级罗茨泵3下端连接有工艺段排气口5，罗茨泵2和多级罗茨上下堆叠，安装更加紧密，有效提高空间利用率，真空泵工作过程中从工艺段进气口4将气体抽出，再由工艺段排气口5排出，工艺段排气口5处安装有排气消音器6，配置消音器，它是消除空气动力性噪声的重要措施，此消音器设计美观小巧，安装在机组排气口，在排气系统中用于降低噪声。
[0024]机柜1设有氮气系统，氮气系统包括氮气管10，机柜1的侧面设有氮气进口7，且氮气进口7与氮气管10连接，且氮气管10内通入氮气，氮气管10与分别连通罗茨泵2和多级罗茨泵3的两端盖，且连通氮气阀组15，从氮气进口7处通入氮气，氮气通过氮气管10分别通入罗茨泵2和多级罗茨泵3中，不仅将内部残留的粉尘吹扫出去，还能将抽气过程中残留的有毒有害气体排出，有效提高产品的使用效果和安全性。
[0025]机柜1内设有水冷系统，水冷系统包括进水管11和出水管12，机柜1侧面设有进水口9和出水口8，且分别与进水管11和出水管12连通，从进水口9处通入冷却水，进水管11的冷却水依次流经电机二、多级罗茨泵3、电机一、罗茨泵2和水冷板14，最终从出水管12流出，真空泵在工作过程中会产生大量的热量，通过水冷系统带走热量，防止真空泵的温度升高，让真空泵的温度能够在一个稳定的范围内，水冷系统还连接有水冷板14，水冷板14安装在机柜1内，且变频器13安装在水冷板14上，水冷系统的冷却水经过水冷板14，将变频器13产生的热量给带走，防止变频器13温度过高，提高变频器13的使用效果和寿命。
[0026]本技术的工作原理：以罗茨泵2为主抽泵（即增压泵），以多级罗茨泵3为前级泵，在泵组工作时，由多级罗茨泵3先对系统进行预抽，当系统压力达到允许罗茨泵2启动压力后，罗茨泵2就可启动工作，氮气管10将氮气分别通入罗茨泵2和多级罗茨泵3中，不仅将内部残留的粉尘吹扫出去，还能进行密封将抽气过程中残留的有毒有害气体排出，有效提高产品的使用效果和安全性，同时水冷系统对罗茨泵2和多级罗茨泵3进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式多级罗茨真空泵，其特征在于，包括机柜(1)，所述机柜(1)内设有罗茨泵(2)和多级罗茨泵(3)，罗茨泵(2)与多级罗茨泵(3)之间通过连接道连通，所述机柜(1)设有氮气系统，所述氮气系统包括氮气管(10)，且氮气管(10)内通入氮气，所述氮气管(10)分别与罗茨泵(2)和多级罗茨泵(3)的两端盖连通，且连接氮气阀组（15）。2.根据权利要求1所述的一种干式多级罗茨真空泵，其特征在于，所述罗茨泵(2)和多级罗茨泵(3)分别安装有电机一和电机二，且电机一和电机二通为水冷电机，所述机柜(1)内设有水冷系统，所述水冷系统包括进水管(11)和出水管(12)，所述进水管(11)的冷却水...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐兴鹏，翁建龙，
申请(专利权)人：威固乐真空设备浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：