多级真空泵制造技术

论述一种多级真空泵，其包括限定多个泵送室的定子。所述定子包括用于提供从所述多个泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路的多个传送通道。所述传送通道中的一些包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段。所述传送通道中的一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段。所述真空泵进一步包括布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多级真空泵


[0001]本专利技术的
涉及多级真空泵。

技术介绍

[0002]在多级真空泵中，当流体从真空泵的入口泵送到出口时，需要传送通道以在级之间传送流体。这些传送通道需要定子块内的空间。在需要到所述室的额外通路的情况下，诸如在可以向一个或多个级添加气镇（gas ballast）的情况下，需要提供这些额外通道和/或阀，并且可能变得具有挑战性。对于较小紧凑泵，情况尤其如此。
[0003]实施例试图提供一种如下紧凑多级泵：所述紧凑多级泵具有用于向所述泵的级中的一者提供压载气体（ballast gas）的气镇入口通道。

技术实现思路

[0004]第一方面提供一种多级真空泵，其包括：限定多个泵送室的定子；所述定子包括多个传送通道，每一传送通道提供从所述泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路；所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段；并且所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段，所述真空泵进一步包括：布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。
[0005]本专利技术的专利技术人认识到，多级真空泵、特别是紧凑多级真空泵在定子内具有有限空间用于泵送室和用于在不同级的泵送室之间引导流体的传送通道。在这方面，传送通道应该被定尺寸成使得其横截面足够大以允许气体在所述室之间流动、而无显著压力损失。
[0006]由于真空泵从高真空泵送至较低的真空，因此在入口端处泵送的气体体积显著大于在出口端处泵送的体积，并且因此，泵送室和传送通道在尺寸上也可以从入口到出口减小。
[0007]在一些泵中，可能有利的是，提供气镇入口通道用于在泵送循环的某些阶段期间将压载气体引入到真空泵中以抑制诸如水蒸汽等的所泵送可冷凝气体的冷凝。所述压载气体可以是空气或惰性气体或工艺气体，并且所述流动帮助
‘
稀释
’
泵送机构内部的蒸汽，从而抑制例如水蒸汽在其被压缩到接近大气压时冷凝。这允许泵比在不使用气镇的情况下快得多地恢复至其极限压力。另外，气镇允许泵送比没有气镇的情况更多体积的蒸汽，因为其帮助抑制泵内部的冷凝。
[0008]这些气镇入口通道通常朝向真空泵的排气端提供，因为在此端部处具有较高压力，气体将冷凝。本专利技术的专利技术人认识到，朝向真空泵的排气端，所泵送气体的体积通常较小，并且因此，可能存在在真空泵的定子内提供压载气体入口通道的可能性。特别地，专利技术
人认识到，尽管为了提供具有足够尺寸、而不抑制流动的传送通道，其通常已经形成在定子的侧壁中的泵送室的两侧上的两个侧部区段中、在入口与出口之间具有联接通道，对于所述传送通道中的一者，可能的是，可以使用仅在定子的一侧的上的单个侧部区段，并且在此情况下，在定子的将通常是另一侧部通道的另一侧上将存在可用空间。在这种情况下，可以将气镇通道放置在此侧中、在通过不具有所述传送通道中的一者的第二侧部区段而提供的备用空间中。因此，通过调适定子内的传送通道配置，可以在定子内提供用于向真空泵内的泵送室中的一者提供气镇的气镇通道，而无需增加定子或真空泵的尺寸。
[0009]在一些实施例中，在更靠近于所述真空泵入口的泵送室之间提供流体通路的所述传送通道的所述区段中的至少一些的横截面具有比更靠近于所述泵出口的泵送室之间的所述传送通道的所述区段的横截面大的横截面。
[0010]如先前所述，当气体被泵送通过真空泵时，其将被压缩，并且因此，气体占用的体积将较小。因此，朝向真空泵的出口的相对不受抑制的流体流动所需的传送通道的横截面小于其朝向入口的横截面。因此，在一些实施例中，泵送室之间的至少一些传送通道的尺寸可以从入口到出口减小，并且利用在入口处提供相同压力损失所需的尺寸显著大于朝向出口所需的尺寸的事实。减小传送通道的尺寸是高效地使用定子内的空间的有效方式。
[0011]在一些实施例中，包括所述单个侧部通道区段的所述传送通道具有比相邻上游传送通道的横截面大的横截面。
[0012]然而，在传送通道仅具有单个侧部通道区段以便在定子的另一侧上为气镇通道腾出位置的情况下，可以使此侧部通道具有比存在两个侧部通道的通道区段大的横截面，因为流过此侧部通道的气体量将是存在两个侧部通道的情况的量的两倍。在此情况下，对于此传送通道，与紧接在前的上游传送通道的侧部通道区段的横截面相比，横截面并不减小。
[0013]在一些实施例中，所述定子包括在所述多个泵室的相对侧上的侧壁和用于覆盖所述多个泵送室的相对面的盖部分，所述多个泵送室的所述入口和出口端口分别朝向所述入口和出口盖部分延伸，其中所述盖部分包括用于将相应入口和出口联接到所述侧部通道区段的所述传送通道的区段。
[0014]所述传送通道提供用于使流体从一个泵送室的出口流到后续泵送室的入口的通路，所述传送通道可以包括垂直于盖部分伸展穿过定子的一个或两个侧壁的一个或多个侧部通道部分以及用以将所述侧部通道部分的两侧联接到相应入口和出口的联接通道。所述联接通道提供在覆盖在相应入口和出口端处的泵送室的表面中。
[0015]在一些实施例中，所述定子包括包含两个蛤壳部件的蛤壳式定子，所述侧部通道区段和泵送室延伸到两个所述蛤壳部件中，所述蛤壳中的一者包括包含所述泵送室的入口部分的入口蛤，并且一者包括包含所述泵送室的出口部分的出口蛤。
[0016]在一些实施例中，定子形成为具有两个块的蛤壳式定子，从而使转子在定子内的安装更简单。
[0017]在一些实施例中，将所述泵送室入口联接到所述入口盖部分中的所述单个侧部通道的所述通道成角度，所述单个侧部通道区段相对于所述单个侧部通道区段经由所述联接通道连接到的所述泵送室入口偏移，所述侧部通道比所述泵送室入口更靠近于所述真空泵入口。
[0018]如先前所述，在定子内存在有限空间用于提供传送通道，并且具有单个侧部通道
的传送通道可以具有较大横截面，并且为了为此提供空间，可以方便地使所述通道成角度并使所述侧部通道相对于泵送室偏移。
[0019]在一些实施例中，相邻于包括所述单个侧部通道并且更靠近于所述真空泵入口的所述通道的所述传送通道包括所述入口盖部分中成角度的联接部分，所述侧部通道区段相对于所述侧部通道区段经由所述联接通道连接到的所述泵送室入口偏移，所述侧部通道区段比所述泵送室入口更靠近于所述真空泵入口。
[0020]为了为气镇入口提供额外空间，可能有利的是，使下一个传送通道联接区段朝向入口成角度。这可以为较宽横截面侧和联接通道区段两者提供额外空间以用于具有单个侧部区段的传送通道和气镇入口通道。
[0021]虽然单个侧部通道可以连接在任何两个泵送室之间，但是在一些实施例中，包括所述单个侧部通道区段的所述传送通道是将倒数第三泵送室连接到倒数第二泵送室的通道，所述倒数第二泵送室相邻于排气泵送室。
[0022]如先前所述，气镇有利地朝向真空泵的排气端输入到真空泵，并且因此，可能有利的是，气镇通道也朝向真空泵的排气侧位于定子内。特别地，可能有利的是，将其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种多级真空泵，其包括：限定多个泵送室的定子；所述定子包括多个传送通道，每一传送通道提供从所述泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路；所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段；并且所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段，所述真空泵进一步包括：布置在相对于所述定子的所述一侧的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。2.根据权利要求1所述的多级真空泵，其中在更靠近于所述真空泵入口的泵送室之间提供流体通路的所述传送通道的所述区段中的至少一些的横截面具有比更靠近于所述泵出口的泵送室之间的所述传送通道的所述区段的横截面大的横截面。3.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中包括所述单个侧部通道区段的所述传送通道具有比相邻上游传送通道的横截面大的横截面。4.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中所述定子包括在所述多个泵室的相对侧上的侧壁和用于覆盖所述多个泵送室的相对面的盖部分，所述多个泵送室的所述入口和出口端口分别朝向所述入口和出口盖部分延伸，其中所述盖部分包括用于将相应入口和出口联接到所述侧部通道区段的所述传送通道的区段。5.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中所述定子包括蛤壳式定子，所述蛤壳式定子包括两个蛤壳部件，所述侧部通道区段和泵送室延伸到两个所述蛤壳部件中，所述蛤壳中的一者包括包含所述泵送室的入口部分的入口蛤，并且一者包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：