多级真空泵制造技术

论述一种多级真空泵，其包括限定多个泵送室的定子。所述定子包括用于提供从所述多个泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路的多个传送通道。所述传送通道中的一些包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段。所述传送通道中的一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段。所述真空泵进一步包括布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多级真空泵


[0001]本专利技术的
涉及多级真空泵。

技术介绍

[0002]在多级真空泵中，当流体从真空泵的入口泵送到出口时，需要传送通道以在级之间传送流体。这些传送通道需要定子块内的空间。在需要到所述室的额外通路的情况下，诸如在可以向一个或多个级添加气镇（gas ballast）的情况下，需要提供这些额外通道和/或阀，并且可能变得具有挑战性。对于较小紧凑泵，情况尤其如此。
[0003]实施例试图提供一种如下紧凑多级泵：所述紧凑多级泵具有用于向所述泵的级中的一者提供压载气体（ballast gas）的气镇入口通道。

技术实现思路

[0004]第一方面提供一种多级真空泵，其包括：限定多个泵送室的定子；所述定子包括多个传送通道，每一传送通道提供从所述泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路；所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段；并且所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段，所述真空泵进一步包括：布置在与所述定子的所述一侧相对的所述定子的另一侧上的气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种多级真空泵，其包括：限定多个泵送室的定子；所述定子包括多个传送通道，每一传送通道提供从所述泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路；所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段；并且所述传送通道中的至少一者包括在所述定子的一侧上的单个侧部通道区段，所述真空泵进一步包括：布置在相对于所述定子的所述一侧的所述定子的另一侧上的气镇入口通道。2.根据权利要求1所述的多级真空泵，其中在更靠近于所述真空泵入口的泵送室之间提供流体通路的所述传送通道的所述区段中的至少一些的横截面具有比更靠近于所述泵出口的泵送室之间的所述传送通道的所述区段的横截面大的横截面。3.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中包括所述单个侧部通道区段的所述传送通道具有比相邻上游传送通道的横截面大的横截面。4.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中所述定子包括在所述多个泵室的相对侧上的侧壁和用于覆盖所述多个泵送室的相对面的盖部分，所述多个泵送室的所述入口和出口端口分别朝向所述入口和出口盖部分延伸，其中所述盖部分包括用于将相应入口和出口联接到所述侧部通道区段的所述传送通道的区段。5.根据任一前述权利要求所述的多级真空泵，其中所述定子包括蛤壳式定子，所述蛤壳式定子包括两个蛤壳部件，所述侧部通道区段和泵送室延伸到两个所述蛤壳部件中，所述蛤壳中的一者包括包含所述泵送室的入口部分的入口蛤，并且一者包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：