本专利公开了一种高度集成的真空集成系统，包括箱体、第一高速真空泵和第二高速真空泵；箱体包括容纳腔、第一进气口和第一排气口，第一进气口和第一排气口均与容纳腔相连通；箱体上还集成设置有冷却水装置、氮气装置和电气系统；第一高速真空泵和第二高速真空泵均固定容置于容纳腔内，第一进气口通过进气管依次与第一高速真空泵和第二高速真空泵密封连接，第二高速真空泵的排气口与第一排气口密封连接；冷却水装置能够提供冷却循环水，氮气装置能够为本系统提供氮气，电气系统被配置的能够控制系统的运行。本发明专利技术为高度集成的真空集成系统，各种功能均集成于箱体上，便于适配客户的现场情况，装配灵活、方便，无需拆卸客户的安装管道。管道。管道。
【技术实现步骤摘要】
一种高度集成的真空集成系统
[0001]本专利技术涉及真空泵系统
，尤其涉及一种高度集成的真空集成系统，其一般适用于光伏、半导体和精细化工等真空应用领域。
技术介绍
[0002]在很多真空应用领域中，仅仅依靠一台真空泵并不能完全实现实际的工艺需求，不同类型的真空泵可以实现的最具性价比的极限真空或抽气能力是完全不同的，不同类型的真空泵对抽吸的不同工艺介质也具有不同的适应性，并且不同的真空工艺，还需要配备各种辅助的系统才能确保真空泵或者真空泵组可以稳定，可靠的运行。
[0003]因此在客户的实际需求中，真空泵制造商或集成商对于客户的要求一般需先编制方案，说明系统集成的内容获得客户的认可，然后开始设计系统，生产制造，发货到客户现场，现场调试验收。整个真空系统就好比一个小型工程项目，由于不同的客户需求不同，如工艺介质不同，要求的抽气能力，极限真空，控制要求，辅助系统等不同，则导致大多数时候设计的真空系统属于非标定制的，仅仅只能满足与之相对应的客户使用，换一个客户就无法完全适合。虽然说非标定制可以更好的满足客户的需求，但是对于真空泵制造商来说则需要耗费大量的人力、物力，很难实现大规模的定制化生产，从而导致两个问题，首先是无法在现有的基础生产能力上提高生产效率，其次，由于无法提高生产效率，必然导致生产成本无法降低，从而降低了市场的竞争力。在满足同等功能和质量下，价格因素就是成为市场竞争唯一的核心因素。
[0004]因此，结合上述存在的技术问题，有必要提供一种新的技术方案。
技术实现思路
[0005]为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术的目的在于提供一种高度集成的真空系统，对于真空泵制造商来说在今后的市场竞争中获得更强的竞争力非常重要，让其在客户使用和维护的时候更为便捷，无需考虑其内在系统的各个部件和内在的控制，而是像单台真空泵一样把其作为一个不可分割的整体产品。具体技术方案如下所述：
[0006]本专利提供一种高度集成的真空集成系统，包括箱体、第一高速真空泵和第二高速真空泵；
[0007]所述箱体包括容纳腔、第一进气口和第一排气口，所述第一进气口和第一排气口均与容纳腔相连通；所述箱体上还集成设置有冷却水装置、氮气装置和电气系统；
[0008]第一高速真空泵和第二高速真空泵均固定容置于容纳腔内，第一进气口通过进气管与第一高速真空泵的进气口密封连接，第一高速真空泵的排气口与第二高速真空泵的进气口密封连接，第二高速真空泵的排气口与第一排气口密封连接；所述冷却水装置能够为第一高速真空泵和第二高速真空泵提供冷却循环水，氮气装置能够为第二高速真空泵和电气系统提供氮气压缩气，电气系统被配置的能够控制真空集成系统的运行。
[0009]进一步的，还包括消音装置，所述消音装置固定设置于容纳腔内，所述消音装置设
置于第二高速真空泵的排气口和第一排气口之间；
[0010]消音装置包括消音槽和盖合于消音槽上的第二盖板，所述消音槽内设置有多个隔板，所述隔板将消音槽分割为多个隔离腔，所述隔板上开设有多个贯穿的通气孔，相邻隔离腔通过通气孔相互连通，所述隔离腔内设置有消音棉或活性炭；所述消音装置的一端开设有与第二高速真空泵的排气口相连接的第二进气口，所述消音装置的另一端开设有连接于第一排气口上的第二排气口。
[0011]进一步的，所述容置腔内设置有排液通道，第一高速真空泵和/或第二高速真空泵上流出的真空油和水能够通过排液通道排出；
[0012]第一高速真空泵为罗茨真空泵，第二高速真空泵为干式真空泵。
[0013]进一步的，所述第一进气口和第一高速真空泵的进气口之间设置有进气主管，所述进气主管的一端开设有过滤冷凝口，所述过滤冷凝口穿过并延伸至箱体的外表面，所述过滤冷凝口被配置的能够放置过滤器和冷凝器。
[0014]进一步的，所述冷却水装置容纳于容纳腔内，所述冷却水装置包括进水母管和排水母管，所述进水母管和排水母管均固定设置于容纳腔内的侧壁上，进水母管和排水母管上均开设有多个分配口，进水母管上的分配口通过水管与第一高速真空泵或第二高速真空泵的进水口密封连接，排水母管上的分配口通过水管与第一高速真空泵或第二高速真空泵的排水口密封连接。
[0015]进一步的，所述箱体上还设置有溶剂洗涤装置，所述溶剂洗涤装置包括溶剂洗涤罐，所述溶剂洗涤罐固定设置于容纳腔内，所述溶剂洗涤罐的开口置于所述箱体的顶面，所述溶剂洗涤罐内容置有溶剂洗涤液。
[0016]进一步的，所述氮气装置包括氮气进气口和氮气减压阀，所述氮气进气口和氮气减压阀均设置于箱体表面，所述氮气装置被配置的为干式真空泵提供氮气。
[0017]进一步的，所述第一进气口上设置有进气口法兰，第一排气口上设置有排气口法兰；
[0018]所述箱体包括底座和支撑架，所述支撑架固定安装于所述底座上，所述支撑架上设置有可拆卸的顶部盖板和第一侧板。
[0019]进一步的，两两相邻隔板上的通气孔错位设置。
[0020]进一步的，所述进气主管上远离过滤冷凝口的一端开设有变送器安装口，真空压力变送器安装于变送器安装口。
[0021]与现有技术相比，本专利所述的技术方案至少具有如下一个或多个有益效果：
[0022]本专利为高度集成的真空集成系统，消音装置、进气装置、冷却水装置、溶剂洗涤装置、氮气装置和电气系统等均集成于箱体上，便于适配客户的现场情况，装配灵活、方便。在真空集成系统安装、维护和保养时，无需拆卸客户的安装管道，方便客户作业。
[0023]设置消音装置，降低本系统噪音，且消音装置设置于底座上，充分利用底座的空间，不额外占用侧板侧壁的空间，同时与客户的管道不存在直接连接，无需拆卸客户的排气管道即可更换消音装置内的消音棉和/或活性炭，同时活性炭能够吸附有害颗粒和有害气体，降低能够排气口气体的污染物含量，起到环保作用。
[0024]设置排液通道，能够收集第一高速真空泵和第二高速真空泵上流出的真空油和水等液体介质，不至于真空油和水流的到处都是，污染环境。
[0025]同时设置滑轮和起吊螺栓，便于灵活操作，移动本系统时，可通过滑轮移走，也可通过叉车叉起底部移走，还可以通过起吊螺栓进行起吊移走，适合在任意环境下轻易的移放，发挥了高度集成的便利性。
[0026]第一进气口设置有进气口法兰，第一排气口设置排气口法兰，可根据客户排气管道的要求定做，采用不同标准连接，而不需要根据第一真空泵的法兰定制，能够满足客户的任何的对接要求，增加了灵活性和适配性。
[0027]进气主管设置过滤器和冷凝器，初步处理客户的应用排出的气体，起到保护本真空集成系统的作用。设置溶剂洗涤装置，更为方便的清洁进气管道。
[0028]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高度集成的真空集成系统，其特征在于，包括箱体(1)、第一高速真空泵(2)和第二高速真空泵(3)；所述箱体(1)包括容纳腔(11)、第一进气口(141)和第一排气口(142)，所述第一进气口(141)和第一排气口(142)均与容纳腔(11)相连通；所述箱体(1)上还集成设置有冷却水装置(6)、氮气装置(8)和电气系统(9)；第一高速真空泵(2)和第二高速真空泵(3)均固定容置于容纳腔内，第一进气口(141)通过进气管与第一高速真空泵(2)的进气口密封连接，第一高速真空泵(2)的排气口与第二高速真空泵(3)的进气口密封连接，第二高速真空泵(3)的排气口与第一排气口(142)密封连接；所述冷却水装置(6)能够为第一高速真空泵(2)和第二高速真空泵(3)提供冷却循环水，氮气装置(8)能够为第二高速真空泵(3)和电气系统(9)提供氮气压缩气，电气系统(9)被配置的能够控制真空集成系统的运行。2.根据权利要求1所述的高度集成的真空集成系统，其特征在于，还包括消音装置(4)，所述消音装置(4)固定设置于容纳腔(11)内，所述消音装置(4)设置于第二高速真空泵(3)的排气口和第一排气口(142)之间；消音装置(4)包括消音槽(41)和盖合于消音槽(41)上的第二盖板(42)，所述消音槽(41)内设置有多个隔板(411)，所述隔板(411)将消音槽(41)分割为多个隔离腔(412)，所述隔板(411)上开设有多个贯穿的通气孔(413)，相邻隔离腔(412)通过通气孔(413)相互连通，所述隔离腔(412)内设置有消音棉或活性炭；所述消音装置(4)的一端开设有与第二高速真空泵(3)的排气口相连接的第二进气口(421)，所述消音装置(4)的另一端开设有连接于第一排气口(142)上的第二排气口(422)。3.根据权利要求1所述的高度集成的真空集成系统，其特征在于，所述容置腔内设置有排液通道(122)，第一高速真空泵(2)和/或第二高速真空泵(3)上流出的真空油和水能够通过排液通道(122)排出；第一高速真空泵(2)为罗茨真空泵，第二高速真空泵(3)为干式真空泵。4.根据权利要求1所述的高度集成的真空集成系统，其特征在于，所述第一进气口和第一高速真空泵的进...
【专利技术属性】
技术研发人员：荣易，
申请(专利权)人：迈科微真空技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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