【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空泵，尤其涉及一种双级罗茨真空泵。
技术介绍
1、罗茨真空泵是一种旋转容积式真空泵，能在较宽的压力范围内工作，且泵腔内无油，目前已广泛应用于半导体、电子、石油、化工等行业的真空系统。
2、现在罗茨真空泵主要可以分为单级罗茨泵和多级罗茨真空泵，其中单级罗茨真空泵只有一个压缩腔，对吸入的气体只进行一次压缩，若是直接排放大气需要巨大的能耗，并会产生极高的压缩热和噪音，因此一般无法直接排放大气，只作为其它真空泵前置的增压泵。而多级罗茨真空泵则是配备四至六个压缩腔，对吸入的气体进行多次压缩，最终可以实现以较低的轴功率直接排大气。
3、双级罗茨真空泵则是一种特殊需求的产品，它有两个压缩腔，对吸入的气体进行两次压缩，虽然适合直接排放大气，但作为其它真空泵前置的增压泵，相比单级罗茨真空泵可以获得更高的压缩从而使得在系统组合中可以得到更高的节能率，更高的极限真空度，更好的稳定性以及降低对前级泵的性能要求。尤其是在半导体、光伏、锂电池等应用领域中。而现在的真空机组都是采用单级罗茨真空泵与干式真空泵组合的真空系统。但随着半...
【技术保护点】
1.一种双级罗茨真空泵，其特征在于，其包括泵体(1)、中隔板(2)和相互啮合的两个罗茨转子部件(3)，所述泵体(1)沿轴线包括一级泵体(11)和二级泵体(12)，所述一级泵体(11)与所述二级泵体(12)之间密封连接，所述一级泵体(11)设置有一级转子腔(111)、连通所述一级转子腔(111)和外界大气的进气口(112)以及与所述一级转子腔(111)连通的排气通道(113)，所述二级泵体(12)设置有二级转子腔(121)、连通所述二级转子腔(121)和外界大气的排气口(122)以及与所述二级转子腔(121)连通的进气通道(123)，所述排气通道(113)与所述进气通道...
【技术特征摘要】
1.一种双级罗茨真空泵，其特征在于，其包括泵体(1)、中隔板(2)和相互啮合的两个罗茨转子部件(3)，所述泵体(1)沿轴线包括一级泵体(11)和二级泵体(12)，所述一级泵体(11)与所述二级泵体(12)之间密封连接，所述一级泵体(11)设置有一级转子腔(111)、连通所述一级转子腔(111)和外界大气的进气口(112)以及与所述一级转子腔(111)连通的排气通道(113)，所述二级泵体(12)设置有二级转子腔(121)、连通所述二级转子腔(121)和外界大气的排气口(122)以及与所述二级转子腔(121)连通的进气通道(123)，所述排气通道(113)与所述进气通道(123)连通，所述一级转子腔(111)和所述二级转子腔(121)分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧，所述一级转子腔(111)和所述二级转子腔(121)之间通过所述中隔板(2)分隔，所述中隔板(2)上设置有转子过孔(21)，所述罗茨转子部件(3)的两端分别与所述一级泵体(11)和所述二级泵体(12)可转动连接，所述罗茨转子部件(3)沿轴线包括一级罗茨转子体(31)、中间轴体(32)和二级罗茨转子体(33)，所述一级罗茨转子体(31)位于所述一级转子腔(111)内，所述二级罗茨转子体(33)位于所述二级转子腔(121)内，所述中间轴体(32)位于所述转子过孔(21)内。
2.根据权利要求1所述的双级罗茨真空泵，其特征在于，所述罗茨转子部件(3)一体成型，所述中隔板(2)包括第一板体(22)和第二板体(23)，所述第一板体(22)与所述一级泵体(11)或所述二级泵体(12)固定连接，所述第二板体(23)与所述一级泵体(11)或所述二级泵体(12)固定连接，所述第一板体(22)和所述第二板体(23)的相对端分别对应设置有凹槽，形成所述转子过孔(21)。
3.根据权利要求1所述的双级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气通道(123)环绕所述二级转子腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：荣易，
申请(专利权)人：迈科微真空技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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