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本技术公开一种双级罗茨真空泵,包括泵体、中隔板和相啮合的两个罗茨转子部件,泵体沿轴线包括一级泵体和二级泵体,一级泵体设有一级转子腔、进气口以及排气通道,二级泵体设有二级转子腔、排气口以及进气通道,排气通道与进气通道连通,一级转子腔和二级转子...该专利属于迈科微真空技术(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈科微真空技术(苏州)有限公司授权不得商用。
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本技术公开一种双级罗茨真空泵,包括泵体、中隔板和相啮合的两个罗茨转子部件,泵体沿轴线包括一级泵体和二级泵体,一级泵体设有一级转子腔、进气口以及排气通道,二级泵体设有二级转子腔、排气口以及进气通道,排气通道与进气通道连通,一级转子腔和二级转子...