下载多级真空泵的技术资料

文档序号:34909736

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论述一种多级真空泵,其包括限定多个泵送室的定子。所述定子包括用于提供从所述多个泵送室中的一者的出口端口到后续泵送室的入口端口的流体通路的多个传送通道。所述传送通道中的一些包括在所述定子的相对侧上的两个侧部通道区段。所述传送通道中的一者包括在...
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