一种干式螺杆真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干式螺杆真空泵，其特征在于，包括机柜，所述机柜内设有螺杆泵和罗茨泵，且螺杆泵与罗茨泵之间设有连接管，所述罗茨泵上安装有工艺段进气口，所述机柜侧面设有氮气进口和溶剂进口，所述氮气进口连接氮气管，且氮气管连接有冲洗支管和密封支管，所述冲洗支管与罗茨泵和工艺段进气口连接，密封支管与螺杆泵连接，所述机柜侧面设有溶剂进口，溶剂进口连接有溶剂管，所述溶剂管连接到工艺段进气口。该真空泵通过氮气清洗和溶剂清洗，两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。

【技术实现步骤摘要】
一种干式螺杆真空泵


[0001]本技术涉及一种真空泵，特别涉及一种干式螺杆真空泵。

技术介绍

[0002]干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆转子，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。在泵工作时，螺杆转子间无摩擦，运转平稳，工作腔无需润滑油，它能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合。它具有真空度高、低能耗、节能减排等优点。当它与罗茨泵串联组合使用时，是以罗茨泵为主抽泵（即增压泵），以螺杆泵为前级泵。在泵组工作时，由螺杆泵先对系统进行预抽，当系统压力达到允许罗茨泵启动压力后，罗茨泵就可启动工作。
[0003]一般的将螺杆泵和罗茨泵组合的结构不够紧凑，占地空间大，并且无法除含粉尘量大的气体，抽除含粉尘量大的气体的时候，粉尘会残留在泵体内部，影响泵体的正常运转，在抽取一些危险性气体的时候，会有一部分气体残留在泵体内，影响整体性能。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种干式螺杆真空泵，该真空泵通过氮气清洗和溶剂清洗，两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种干式螺杆真空泵，包括机柜，所述机柜内设有螺杆泵和罗茨泵，且螺杆泵与罗茨泵之间设有连接管，罗茨泵上安装有工艺段进气口，机柜侧面设有氮气进口和溶剂进口，氮气进口连接氮气管，且氮气管具有密封和冲洗功能，机柜侧面设有溶剂进口，溶剂进口连接有溶剂管，溶剂管连接到工艺段进气口。
[0007]采用上述技术方案，氮气进口可以通入氮气，氮气进入氮气管后，分成两个支路，其中一条支路的氮气进入罗茨泵的前后端盖和工艺段进气口中，将罗茨泵内的有毒有害的气体通过连接管往下排入螺杆泵中，最后将二者体内的有毒有害气体从工艺段出气口全部排出，起到冲洗作用。另一条支路的氮气进入到螺杆泵的前后端盖中，通过氮气进行密封。并且从溶剂进口通入溶剂，溶剂通过溶剂管从顶端的工艺段进气口依次进入罗茨泵和螺杆泵中，通过氮气冲洗和溶剂冲洗，为了在真空泵运行前或运行后排出泵内残留气体或一些有害的物质，例如可凝性蒸汽、含有灰尘、有毒等混合气体，不会滞留在泵腔内，适用于恶劣的应用场合。
[0008]作为优选，所述螺杆泵底部的排气口处设有消音器，且消音器位于机柜内部。
[0009]采用上述技术方案，配置消音器，它是消除空气动力性噪声的重要措施。此消音器设计美观小巧，安装在螺杆泵排气口，在排气系统中用于降低噪声。
[0010]作为优选，所述罗茨泵和螺杆泵分别连接有驱动电机一和驱动电机二，且两个驱动电机都为水冷永磁变频电机，电机结构设计为一体式。
[0011]采用上述技术方案，驱动电机一和驱动电机二都为一体式，即无轴承式，与泵体直
联，电机功能设计为永磁变频电机，比普通变频电机工作效率更高，运行更稳定，冷却方式设计为水冷，对比风冷方式，使电机运行温度更稳定，可靠性更高，寿命更长。
[0012]作为优选，所述机柜设有冷水进口和冷水出口，所述冷水进口连接有冷水管，所述冷水管内的冷却水先经过螺杆泵，再分成两条支路，一条支路的冷却水依次经过驱动电机二、驱动电机一，另一条支路的冷却水经过罗茨泵，最后两条支路汇聚成进入出水管中，所述出水管与冷水出口连通。
[0013]采用上述技术方案，冷却水对驱动电机一，驱动电机二，罗茨泵和螺杆泵进行冷却，冷却过后的水通过出水管从冷水出口出来。
[0014]作为优选，所述机柜设有控制柜，控制柜内部安装各类电子元器件。
[0015]采用上述技术方案，通过控制程序及信号传输，可实现控制器一键启停，及远程控制和监控功能。
[0016]作为优选，所述罗茨泵与螺杆泵采用上下堆叠串联，且罗茨泵位于上方，螺杆泵位于下方。
[0017]本技术的有益效果：1、通过氮气冲洗和溶剂冲洗，能够相互配合，充分将带有灰尘的有毒混合气体进行清除，防止其滞留在泵腔内；2、通过在螺杆泵排气口配置消音器，能够有效降低工作过程中的噪音；3、泵体结构优化设计，使泵与泵之间更好的上下堆叠串联，起到降低振动和提高稳定性的同时，也缩小了占用空间。机组内部管路优化布局，更有利机组的制造和维护。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构立体图；
[0019]图2为本技术的内部结构图；
[0020]图3为图2的A区放大图；
[0021]图4为工艺段进气口的结构示意图；
[0022]图5为变频器的结构示意图。
[0023]附图标记：1、机柜；2、螺杆泵；3、罗茨泵；4、工艺段进气口；5、控制柜；6、氮气进口；7、溶剂进口；8、氮气管；9、进口压力传感器；11、溶剂管；12、冷水进口；13、冷水出口；14、冷水管；15、出水管；16、消音器；17、温度传感器；18、水流量传感器；19、变频器；20、排气压力传感器；21、氮气冲洗电磁阀；22、氮气密封电磁阀；23、溶剂冲洗电磁阀；24、溶剂冲洗流量传感器；；25、排气温度传感器。
具体实施方式
[0024]如图1至图5，一种干式螺杆真空泵，包括机柜1，机柜1内设有螺杆泵2和罗茨泵3，且螺杆泵2与罗茨泵3之间设有连接管，罗茨泵3与螺杆泵2采用上下堆叠串联，且罗茨泵3位于上方，螺杆泵2位于下方，泵体结构优化设计，使泵与泵之间更好的上下堆叠串联，起到降低振动和提高稳定性的同时，也缩小了占用空间。机组内部管路优化布局，更有利机组的制造和维护。
[0025]罗茨泵3上安装有工艺段进气口4，工艺段进气口4侧面安装进口压力传感器9，罗茨泵3和螺杆泵2分别连接有驱动电机一和驱动电机二，且两个驱动电机都为水冷永磁变频
电机，电机结构设计为一体式，驱动电机一和驱动电机二都为一体式，即无轴承式，与泵体直联，电机功能设计为永磁变频电机，比普通变频电机工作效率更高，运行更稳定；
[0026]机柜1内设置水冷系统，机柜1设有冷水进口12和冷水出口13，冷水进口12连接有冷水管14，冷水管14安装有温度传感器17，监测冷却水的温度，冷水管14内的冷却水先经过螺杆泵2，再分成两条支路，一条支路的冷却水依次经过驱动电机二、驱动电机一，另一条支路的冷却水经过罗茨泵3，最后两条支路汇聚成进入出水管15中，出水管15与冷水出口13连通，且出水管15安装有水流量传感器18，检测冷却水的流量。
[0027]机柜1内设有氮气系统，机柜1侧面设有氮气进口6和溶剂进口7，氮气进口6连接氮气管8，氮气管8上安装有氮气调压阀36，氮气浮子流量计37和氮气压力传感器38，对氮气管8内的氮气进行监测和控制，氮气进入氮气管后，分成两个支路，其中一条支路的氮气进入罗茨泵的前后端盖和工艺段进气口中，将罗茨泵内的有毒有害的气体通过连接管往下排入螺杆泵中，最后将二者体内的有毒有害气体从工艺段出气口全部排出，起到冲洗作用，且该支路设有氮气冲洗电磁阀。另一条支路的氮气进入到螺杆泵的前后端盖中，通过氮气进行密封。
[0028]机柜1内设有溶剂冲洗系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式螺杆真空泵，其特征在于，包括机柜(1)，所述机柜(1)内设有螺杆泵(2)和罗茨泵(3)，且螺杆泵(2)与罗茨泵(3)之间设有连接管，所述罗茨泵(3)上安装有工艺段进气口(4)，所述机柜(1)侧面设有氮气进口(6)和溶剂进口(7)，所述氮气进口(6)连接氮气管(8)，且氮气管(8)具有密封和冲洗功能，所述机柜(1)侧面设有溶剂进口(7)，溶剂进口(7)连接有溶剂管(11)，所述溶剂管(11)连接到工艺段进气口(4)。2.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆泵(2)底部的排气口处设有消音器(16)，且消音器(16)位于机柜(1)内部。3.根据权利要求1所述的一种干式螺杆真空泵，其特征在于，所述罗茨泵(3)和螺杆泵(2)分别连接有驱动电机一和驱动电机二，且两个驱动电机都为...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐兴鹏，翁建龙，
申请(专利权)人：威固乐真空设备浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：