本实用新型专利技术公开了一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，包括抽送泵，所述抽送泵的下端安装有连接底座，所述连接底座的下端安装有蓄气罐结构，所述抽送泵的一侧安装有抽气管道和送气管道，所述抽气管道远离抽送泵的一端安装有抽气罩，所述送气管道远离抽送泵的一端安装有放气结构，所述蓄气罐结构包括有蓄气罐体、电控箱和加热电阻管，蓄气罐体安装在连接底座的下端。本实用新型专利技术所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，能够对蓄气罐体内进行升温，使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温，更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用，在保持气相沉积炉内部气压的同时，更稳定的进行空气的排出使用。更稳定的进行空气的排出使用。更稳定的进行空气的排出使用。
【技术实现步骤摘要】
一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置
[0001]本技术涉及气相沉积炉领域，特别涉及一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置。
技术介绍
[0002]高温气相沉积炉的气场均匀保持装置一般是高温气相沉积炉进行使用时，安装在高温气相沉积炉上，向高温气相沉积炉抽出和释放空气，来保持高温气相沉积炉内气压稳定，从而实现气相沉积炉内气场均匀的保持装置；
[0003]但是现有的高温气相沉积炉的气场均匀保持装置在使用时存在着一定的不足之处有待改善，首先，抽出空气进行存储时，不能够对存储的空气进行保温，不利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用，其次，在释放空气保持气相沉积炉内部气压的同时，无法均匀的排出空气，因此无法稳定的进行空气的排出使用。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，可以有效解决
技术介绍
提出的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，包括抽送泵，所述抽送泵的下端安装有连接底座，所述连接底座的下端安装有蓄气罐结构，所述抽送泵的一侧安装有抽气管道和送气管道，所述抽气管道远离抽送泵的一端安装有抽气罩，所述送气管道远离抽送泵的一端安装有放气结构。
[0007]作为本技术的进一步方案，所述蓄气罐结构包括有蓄气罐体、电控箱和加热电阻管，蓄气罐体安装在连接底座的下端，电控箱安装在蓄气罐体的一侧，加热电阻管安装在蓄气罐体的内部。
[0008]作为本技术的进一步方案，所述电控箱贯穿至蓄气罐体的内部，加热电阻管与电控箱固定连接，加热电阻管呈螺旋形排列安装。
[0009]作为本技术的进一步方案，所述放气结构包括有分流管、安装环、排气管和排气喷头，分流管安装在送气管道的一侧，两个安装环安装在分流管的一侧，多个排气管安装在两个安装环的中间，排气喷头安装在排气管的外侧。
[0010]作为本技术的进一步方案，所述分流管、安装环和排气管之间贯通连接，多个排气管围绕安装环呈圆形排列安装。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述抽气管道位于送气管道的前方，抽送泵的进气端和送气端分别于抽气管道和送气管道连接，抽送泵通过连接底座与蓄气罐体的内部贯通连接。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：通过设置的蓄气罐结构，蓄气罐体内进行空气的存储时，空气进入蓄气罐体内，蓄气罐体的外侧安装了电控箱，电控箱接通
电源后对加热电阻管进行供电，使加热电阻管形成电阻升温，从而使加热电阻管对蓄气罐体内进行升温，使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温，更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用；
[0013]通过设置的放气结构，送气管道排出空气时，空气依次进入分流管、安装环和排气管，多个排气管圆形排列，因此排气管上的排气喷头排出空气时，多个排气喷头均匀的将空气分流排出，在保持气相沉积炉内部气压的同时，更稳定的进行空气的排出使用。
附图说明
[0014]图1为本技术一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置的后视图；
[0016]图3为本技术一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置的定位机构的结构示意图。
[0017]图中：1、抽送泵；2、连接底座；3、蓄气罐结构；4、蓄气罐体；5、电控箱；6、加热电阻管；7、抽气管道；8、抽气罩；9、送气管道；10、放气结构；11、分流管；12、安装环；13、排气管；14、排气喷头。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]如图1
‑
3所示，一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，包括抽送泵1，抽送泵1的下端安装有连接底座2，连接底座2的下端安装有蓄气罐结构3，抽送泵1的一侧安装有抽气管道7和送气管道9，抽气管道7远离抽送泵1的一端安装有抽气罩8，送气管道9远离抽送泵1的一端安装有放气结构10。
[0020]在本实施例中，为了对空气进行存储设置了蓄气罐结构3，蓄气罐结构3包括有蓄气罐体4、电控箱5和加热电阻管6，蓄气罐体4安装在连接底座2的下端，电控箱5安装在蓄气罐体4的一侧，加热电阻管6安装在蓄气罐体4的内部。
[0021]在本实施例中，电控箱5贯穿至蓄气罐体4的内部，加热电阻管6与电控箱5固定连接，加热电阻管6呈螺旋形排列安装。
[0022]在本实施例中，为了均匀的释放空气设置了放气结构10，放气结构10包括有分流管11、安装环12、排气管13和排气喷头14，分流管11安装在送气管道9的一侧，两个安装环12安装在分流管11的一侧，多个排气管13安装在两个安装环12的中间，排气喷头14安装在排气管13的外侧。
[0023]在本实施例中，分流管11、安装环12和排气管13之间贯通连接，多个排气管13围绕安装环12呈圆形排列安装。
[0024]在本实施例中，抽气管道7位于送气管道9的前方，抽送泵1的进气端和送气端分别于抽气管道7和送气管道9连接，抽送泵1通过连接底座2与蓄气罐体4的内部贯通连接置。
[0025]需要说明的是，本技术为一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，在使用时，抽气管道7和送气管道9安装在气相沉积炉上，使抽气罩8和排气喷头14固定在气相沉积炉内，气相沉积炉内气压过高时，通过抽送泵1的运行，使气相沉积炉内的空气通过抽气罩8
和抽气管道7进行抽送泵1，抽送泵1再将空气通过连接底座2输送至蓄气罐体4内存储，气相沉积炉内气压过低时，抽送泵1再将蓄气罐体4内的空气通过送气管道9输送至排气管13上的排气喷头14排出，使空气再次进入气相沉积炉内增加气压，来保持气相沉积炉内的气场。
[0026]本技术通过设置的蓄气罐结构3，蓄气罐体4内进行空气的存储时，空气进入蓄气罐体4内，蓄气罐体4的外侧安装了电控箱5，电控箱5接通电源后对加热电阻管6进行供电，使加热电阻管6形成电阻升温，从而使加热电阻管6对蓄气罐体4内进行升温，使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温，更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用；通过设置的放气结构10，送气管道9排出空气时，空气依次进入分流管11、安装环12和排气管13，多个排气管13圆形排列，因此排气管13上的排气喷头14排出空气时，多个排气喷头14均匀的将空气分流排出，在保持气相沉积炉内部气压的同时，更稳定的进行空气的排出使用。
[0027]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：包括抽送泵(1)，所述抽送泵(1)的下端安装有连接底座(2)，所述连接底座(2)的下端安装有蓄气罐结构(3)，所述抽送泵(1)的一侧安装有抽气管道(7)和送气管道(9)，所述抽气管道(7)远离抽送泵(1)的一端安装有抽气罩(8)，所述送气管道(9)远离抽送泵(1)的一端安装有放气结构(10)。2.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述蓄气罐结构(3)包括有蓄气罐体(4)、电控箱(5)和加热电阻管(6)，蓄气罐体(4)安装在连接底座(2)的下端，电控箱(5)安装在蓄气罐体(4)的一侧，加热电阻管(6)安装在蓄气罐体(4)的内部。3.根据权利要求2所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述电控箱(5)贯穿至蓄气罐体(4)的内部，加热电阻管(6)与电控箱(5)固定连接，加热电阻管(6)呈螺旋形排列...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨开平，陈国奇，吴文宝，杜智伟，
申请(专利权)人：四川巴顿博越智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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