【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有内部轮廓的面板的喷头
相关申请
[0001]PCT申请表作为本申请的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的PCT申请表中所标识的本申请要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。
技术介绍
[0002]半导体处理工具通常包括设计用于在整个半导体衬底或晶片上以相对均匀的方式分布处理气体的部件。此类部件在行业中通常被称为“喷头”。喷头通常包括面向半导体处理容积空间(volume)的面板，在该半导体处理容积空间中可以处理半导体衬底或晶片。面板可以包括多个气体分配端口，这些气体分配端口使得喷头的充气容积空间中的气体能流过面板并进入衬底和面板之间(或支撑晶片的晶片支撑件和面板之间)的反应空间。
技术实现思路
[0003]在一实施方案中，可以提供一种喷头。该喷头可以包括：面板，其具有正面、背面和从所述正面延伸穿过所述面板到达所述背面的多个通孔；气体入口；充气容积空间(a plenum volume)，其与所述喷头内的所述气体入口流体连接并且至少部分地由所述背面限定。所述背面包括非平面区域，所述非平面区域：围绕所述面板的中心轴延伸，具有沿所述中心轴相互偏移第一距离的外边界和内边界，所述外边界在平行于所述中心轴的方向上比所述内边界更靠近所述气体入口，所述外边界从所述内边界径向向外偏移，并且具有跨越所述内边界和所述外边界之间的非平面表面。
[0004]在一些实施方案中，所述背面还可以包括圆形平面区域，所述圆形平面区域垂直于所述中心轴并且具有由所述非平面区域的内边界限定的外圆周边缘。>[0005]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是旋转表面，所述旋转表面：由围绕所述中心轴旋转的线性轮廓定义，在所述内边界和所述外边界之间延伸，并且与所述中心轴成斜角取向。
[0006]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是截头圆锥表面。
[0007]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是锥形表面。
[0008]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是由非线性轮廓限定的旋转表面，所述非线性轮廓围绕所述中心轴旋转并且在所述内边界和所述外边界之间延伸。
[0009]在一些实施方案中，所述多个通孔中的一个或多个第一通孔可以从所述非平面区域延伸至所述正面，并且一个或多个通孔各自可以具有第一长度，所述多个通孔中的一个或多个第二通孔可以从所述非平面区域延伸至所述正面，并且可以被布置成在与所述中心轴平行的方向上比所述一个或多个第一通孔更远离所述中心轴，并且所述一个或多个第二通孔各自可以具有比所述一个或多个第一通孔的所述第一长度更长的第二长度。
[0010]在一些实施方案中，每个通孔可以与所述正面形成边缘，并且每个边缘都可以有半径。
[0011]在一些这样的实施方案中，每个边缘的半径和每个通孔的直径可以基本相同。
[0012]在一些这样的实施方案中，每个通孔的直径可以介于约0.01英寸和0.03英寸之间。
[0013]在一些这样的实施方案中，所述半径可以通过电抛光形成。
[0014]在一些这样的实施方案中，所述半径可以通过机械加工和电解抛光形成。
[0015]在一些实施方案中，所述通孔可以排列成多个六边形图案，每个六边形图案可以具有围绕中心孔布置的六个外孔，并且所述六个外孔可以彼此等距间隔开且与所述中心孔等距间隔开。
[0016]在一些这样的实施方案中，每个六边形图案的所述六个外孔与所述中心孔之间的距离可以介于约0.1英寸和0.4英寸之间。
[0017]在一些实施方案中，所述外边界的直径可以大于半导体衬底的直径。
[0018]在一些这样的实施方案中，所述外边界的直径可以介于7.5英寸和13英寸之间。
[0019]在一些实施方案中，所述第一距离介于0.01英寸和0.075英寸之间。
[0020]在一些实施方案中，所述内边界的直径可以介于约0英寸和8.5英寸之间。
[0021]在一些实施方案中，所述喷头还可以包括具有所述气体入口和第一表面的背板，并且所述充气容积空间还可以由所述第一表面限定。
[0022]在一些实施方案中，所述喷头还可以包括具有挡板外径并且定位在所述充气容积空间内的挡板。
[0023]在一些这样的实施方案中，所述挡板外径和所述内边界的直径可以基本相同。
[0024]在一实施方案中，可以提供一种用于半导体处理装置的处理室中的面板。该面板可以包括：正面；包括中心点和非平面区域的背面，并且所述非平面区域可以围绕所述面板的中心轴延伸，可以具有沿所述中心轴相互偏移第一距离的外边界和内边界，所述内边界在平行于所述中心轴的方向上比所述外边界更靠近所述中心点，所述外边界从所述内边界径向向外偏移，并且可以具有跨越所述内边界和所述外边界之间的非平面表面。所述面板还可以包括从所述正面延伸穿过所述面板到达所述背面的多个通孔，其中每个通孔与所述正面形成边缘并且所述边缘具有半径。
[0025]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是旋转表面，所述旋转表面：由围绕所述中心轴旋转的线性轮廓定义，在所述内边界和所述外边界之间延伸，并且与所述中心轴成斜角取向。
[0026]在一些实施方案中，所述非平面区域可以是截头圆锥表面，并且所述背面还可以包括圆形平面区域，所述圆形平面区域垂直于所述中心轴并且具有由所述非平面区域的内边界限定的外圆周边缘。
[0027]在一些实施方案中，所述非平面区域可以是锥形表面。
[0028]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是由非线性轮廓限定的旋转表面，所述非线性轮廓围绕所述中心轴旋转并且在所述内边界和所述外边界之间延伸。
[0029]在一实施方案中，可以提供一种方法。该方法可以包括制造喷头，并且该喷头包括：面板，其具有正面、背面和从所述正面延伸穿过所述面板到达所述背面的多个通孔；气体入口；充气容积空间(a plenum volume)，其与所述喷头内的所述气体入口流体连接并且至少部分地由所述背面限定。所述背面可以包括非平面区域，所述非平面区域：围绕所述面
板的中心轴延伸，具有沿所述中心轴相互偏移第一距离的外边界和内边界，所述外边界在平行于所述中心轴的方向上比所述内边界更靠近所述气体入口，所述外边界为从所述内边界径向向外偏移，并且具有跨越所述内边界和所述外边界之间的非平面表面。
[0030]在一些实施方案中，所述背面还可以包括圆形平面区域，所述圆形平面区域垂直于所述中心轴并且具有由所述非平面区域的内边界限定的外圆周边缘。
[0031]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是旋转表面，所述旋转表面：由围绕所述中心轴旋转的线性轮廓定义，在所述内边界和所述外边界之间延伸，并且与所述中心轴成斜角取向。
[0032]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是截头圆锥表面。
[0033]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是锥形表面。
[0034]在一些实施方案中，所述非平面表面可以是由非线性轮廓限定的旋转表面，所述非线性轮廓围绕所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种喷头，其包括：面板，其具有正面、背面和从所述正面延伸穿过所述面板到达所述背面的多个通孔，气体入口，充气容积空间，其与所述喷头内的所述气体入口流体连接并且至少部分地由所述背面限定，其中所述背面包括非平面区域，所述非平面区域：围绕所述面板的中心轴延伸，具有沿所述中心轴相互偏移第一距离的外边界和内边界，所述外边界在平行于所述中心轴的方向上比所述内边界更靠近所述气体入口，所述外边界从所述内边界径向向外偏移，并且具有跨越所述内边界和所述外边界之间的非平面表面。2.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述背面还包括圆形平面区域，所述圆形平面区域垂直于所述中心轴并且具有由所述非平面区域的内边界限定的外圆周边缘。3.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述非平面表面是旋转表面，所述旋转表面：由围绕所述中心轴旋转的线性轮廓定义，在所述内边界和所述外边界之间延伸，并且与所述中心轴成斜角取向。4.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述非平面表面是截头圆锥表面。5.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述非平面表面是锥形表面。6.根据权利要求1所述的喷头，其中，所述非平面表面是由非线性轮廓限定的旋转表面，所述非线性轮廓围绕所述中心轴旋转并且在所述内边界和所述外边界之间延伸。7.根据权利要求1所述的喷头，其中：所述多个通孔中的一个或多个第一通孔从所述非平面区域延伸至所述正面，并且一个或多个通孔各自具有第一长度，所述多个通孔中的一个或多个第二通孔从所述非平面区域延伸至所述正面，并且被布置成在与所述中心轴平行的方向上比所述一个或多个第一通孔更远离所述中心轴，并且所述一个或多个第二通孔各自具有比所述一个或多个第一通孔的所述第一长度更长的第二长度。8.根据权利要求1所述的喷头，其中：每个通孔与所述正面形成边缘，并且每个边缘都有半径。9.根据权利要求8所述的喷头，其中，每个边缘的半径和每个通孔的直径基本相同。10.根据权利要求8所述的喷头，其中每个通孔的直径介于约0.01英寸和0.03英寸之间。11.根据权利要求8所述的喷头，其中，所述半径通过电抛光形成。12.根据权利要求8所述的喷头，其中，所述半径通过机械加工和电解抛光形成。13.根据权利要求1所述的喷头，其中：所述通孔排列成多个六边形图案，每个六边...
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