具有下吹管线的粉末原子层沉积机台制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有下吹管线的粉末原子层沉积机台，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元经由轴封装置连接真空腔体，并带动真空腔体转动。真空腔体包括一反应空间及一下吹管线，其中反应空间用以容置复数颗粉末，而下吹管线则连接反应空间，并朝向反应空间的底部。至少一非反应气体输送管线位于轴封装置内，用以连接下吹管线，并经由下吹管线将一非反应气体输送至反应空间内，以吹动沉积在反应空间的底部的粉末，以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

【技术实现步骤摘要】
具有下吹管线的粉末原子层沉积机台


[0001]本技术有关于一种具有下吹管线的粉末原子层沉积机台，有利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。

技术介绍

[0002]奈米颗粒(nanoparticle)一般被定义为在至少一个维度上小于100奈米的颗粒，奈米颗粒与宏观物质在物理及化学上的特性截然不同。一般而言，宏观物质的物理特性与本身的尺寸无关，但奈米颗粒则非如此，奈米颗粒在生物医学、光学和电子等领域都具有潜在的应用。
[0003]量子点(Quantum Dot)是半导体材料的奈米颗粒，目前研究的半导体材料为 II
‑
VI材料，如ZnS、CdS、CdSe等，其中又以CdSe最受到瞩目。量子点的尺寸通常在2至50奈米之间，量子点被紫外线照射后，量子点中的电子会吸收能量，并从价带跃迁到传导带。被激发的电子从传导带回到价带时，会通过发光释放出能量。
[0004]量子点的能隙与尺寸大小相关，量子点的尺寸越大能隙越小，经照射后会发出波长较长的光，量子点的尺寸越小则能隙越大，经照射后会发出波长较短的光。例如5到6奈米的量子点会发出橘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有下吹管线的粉末原子层沉积机台，其特征在于，包括：一驱动单元；一轴封装置，连接该驱动单元；一真空腔体，连接该轴封装置，该驱动单元通过该轴封装置带动该真空腔体转动，该真空腔体包括：一盖板及一腔体，该盖板的一内表面覆盖该腔体以在两者之间形成一反应空间，并于该盖板的该内表面设置一监控晶圆，其中该反应空间用以容置复数颗粉末，该粉末受到重力作用沉积在该反应空间的一底部；及一下吹管线，连接该反应空间，并朝向该反应空间的该底部；至少一抽气管线，位于该轴封装置内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；至少一进气管线，位于轴封装置内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体输送至该反应空间；及至少一非反应气体输送管线，位于该轴封装置内，并用以连接该真空腔体的该下吹管线，其中该非反应气体输送管线用以将一非反应气体经由该下吹管线输送至该反应空间，以吹向该反应空间的该底部。2.根据权利要求1所述的具有下吹管线的粉末原子层沉积机台，其特征在于，其中该轴封装置包括一外管体及一内管体，该外管体包括一容置空间用以容置该内管体，而该内管体则包括至少一连接空间用以容置该抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊成，张容华，古家诚，
申请(专利权)人：鑫天虹厦门科技有限公司，
类型：新型
国别省市：