一种芯片腐蚀夹具制造技术

本实用新型专利技术的名称是一种芯片腐蚀夹具。属于功率半导体器件生产设备技术领域。主要是解决现有夹具只能单独对一个芯片进行夹持固定而无法同时夹持多个芯片的问题。它的主要特征是：包括第一固定块、若干定位柱、若干夹片机构、第二固定块和挤压机构；其中，所述若干定位柱固定连接第一固定块与第二固定块之间；所述若干夹片机构可滑动的设置在所述若干定位柱之间；所述挤压机构设置在第一固定块或第二固定块上，用于推压所述夹片机构沿定位柱移动。本实用新型专利技术具有结构简单、操作方便和可同时夹持固定多个芯片的特点，主要用于在酸化过程中对多个功率半导体器件芯片的夹持固定。对多个功率半导体器件芯片的夹持固定。对多个功率半导体器件芯片的夹持固定。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片腐蚀夹具


[0001]本技术属于功率半导体器件生产设备
具体涉及一种用于功率半导体器件制造的芯片腐蚀夹具。

技术介绍

[0002]芯片在生产过程中，需要对芯片进行酸化，在酸化时需要采用夹具对芯片进行夹持固定，将经过夹具固定后的芯片放入酸中，现有的夹具只能单独对一个芯片进行夹持固定，无法同时夹持多个芯片。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的无法同时夹持多个芯片的缺点，而提出的一种芯片腐蚀夹具。
[0004]本技术的技术解决方案是：一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：包括第一固定块、若干定位柱、若干夹片机构、第二固定块和挤压机构；其中，所述若干定位柱固定连接第一固定块与第二固定块之间；所述若干夹片机构可滑动的设置在所述若干定位柱之间；所述挤压机构设置在第一固定块或第二固定块上，用于推压所述夹片机构沿定位柱移动。
[0005]本技术的技术解决方案中所述的若干定位柱为2个或3个，对称设置在第一固定块与第二固定块之间。
[0006]本技术的技术解决方案中所述的夹片机构包括夹片本体；所述夹片本体的边沿处设有与若干定位柱配合的连接槽。
[0007]本技术的技术解决方案中所述的夹片本体为圆盘形状。
[0008]本技术的技术解决方案中所述的夹片本体的一面中部设有凸起，另一面中部设有凹槽；所述凹槽与所述凸起相配合。
[0009]本技术的技术解决方案中所述的夹片本体与所述凸起为一体结构。
[0010]本技术的技术解决方案中所述的挤压机构由转动块和螺纹杆构成，所述螺纹杆的一端固定连接在所述转动块上；所述第二固定块上开设有螺纹孔；所述螺纹杆与所述螺纹孔相配合。
[0011]本技术的技术解决方案中所述的转动块的外侧设有防滑纹。
[0012]本技术的技术解决方案中所述的第一固定块和第二固定块为结构相同的圆盘形状。
[0013]本技术的技术解决方案中所述的转动块为圆盘形状。
[0014]本技术的有益效果在于：通过将多个芯片分别放置在不同夹片机构之间，手动转动转动块，转动块带动螺纹杆转动，螺纹杆转动后向上移动，螺纹杆向上移动后挤压夹片机构，对芯片进行固定，通过螺纹杆挤压夹片机构，对放置在夹片机构之间的芯片进行夹持固定，可同时对多个芯片进行夹持固定。
[0015]本技术具有结构简单、操作方便和可同时夹持固定多个芯片的特点。本实用
新型主要用于在酸化过程中对多个功率半导体器件芯片的夹持固定。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种芯片腐蚀夹具的结构示意图。
[0017]图2为本技术提出的一种芯片腐蚀夹具的正视结构示意图。
[0018]图3为本技术提出的一种芯片腐蚀夹具中夹片机构的结构示意图。
[0019]图中：1. 第一固定块；2. 定位柱；3. 夹片机构；31. 夹片本体；32. 连接槽；33. 凸起；34. 凹槽；4. 第二固定块；5. 挤压机构；51. 转动块；52. 螺纹杆；53. 防滑纹。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]实施例1
[0022]参照图1
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3，一种芯片腐蚀夹具，包括第一固定块1、3个定位柱2、9个夹片机构3、第二固定块4和挤压机构5。
[0023]其中，3个定位柱2的一端固定连接至第一固定块1上，定位柱2用于对夹片机构3进行限位，若干定位柱2的另一端固定连接至第二固定块4上。3个定位柱2对称设置在第一固定块1与第二固定块4之间。第一固定块1和第二固定块4为结构相同的圆盘形状。9个夹片机构3可滑动的设置在定位柱2之间，夹片机构3用于对芯片进行夹持固定，第二固定块4上开设有螺纹孔，螺纹孔用于连接挤压机构5，螺纹孔上连接用于推压夹片机构3的挤压机构5，挤压机构5用于推压夹片机构3沿定位柱2方向移动，对放置在夹片机构3上的芯片进行夹持固定。
[0024]挤压机构5包括转动块51和螺纹杆52，螺纹杆52的一端固定连接至转动块51上，转动块51便于转动螺纹杆52，螺纹杆52与螺纹孔相配合，转动块51的外侧固定连接有防滑纹53，防滑纹53用于增大手部与转动块51之间的摩擦。转动块51为圆盘形状。
[0025]工作过程：芯片放置在各夹片机构3之间，手动转动转动块51，转动块51带动螺纹杆52转动，螺纹杆52转动后向上移动，螺纹杆52向上移动后挤压夹片机构3，各夹片机构3之间的间隙减小，通过螺纹杆52挤压夹片机构3，对放置在夹片机构3之间的芯片进行夹持固定，可同时夹持多个芯片。
[0026]实施例2
[0027]参照图1
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3，作为本技术的另一优选实施例，与实施例1的区别在于夹片机构3包括夹片本体31、连接槽32、凸起33和凹槽34。夹片本体31为圆盘形状，沿轴心线方向等间距设置若干连接槽32，连接槽32与定位柱2相配合，夹片本体31为聚四氟乙烯夹片，凸起33固定连接至夹片本体31的上端，凸起33用于对放置在凹槽34内的芯片进行挤压固定，夹片本体31的底端开设凹槽34，凹槽34用于放置芯片，凹槽34与凸起33相配合，夹片本体31与凸起33为一体结构。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本实用
新型的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：包括第一固定块（1）、若干定位柱（2）、若干夹片机构（3）、第二固定块（4）和挤压机构（5）；其中，所述若干定位柱（2）固定连接于第一固定块（1）与第二固定块（4）之间；所述若干夹片机构（3）可滑动的设置在所述若干定位柱（2）之间；所述挤压机构（5）设置在第一固定块（1）或第二固定块（4）上，用于推压所述夹片机构（3）沿定位柱（2）移动。2.根据权利要求1所述的一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：所述的若干定位柱（2）为2个或3个，对称设置在第一固定块（1）与第二固定块（4）之间。3.根据权利要求1所述的一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：所述的夹片机构（3）包括夹片本体（31）；所述夹片本体（31）的边沿处设有与若干定位柱（2）配合的连接槽（32）。4.根据权利要求3所述的一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：所述的夹片本体（31）为圆盘形状。5.根据权利要求4所述的一种芯片腐蚀夹具，其特征在于：所述的夹片本体（31）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘磊，周颖，彭松，汝严，刘鹏，杨宁，
申请(专利权)人：湖北台基半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：