本实用新型专利技术提供了一种承载板组件及具有其的运动定位装置，承载板组件设置在运动定位装置的安装板上，其包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板上侧，承载板电机动子安装在承载板下侧；承载板滑动组件，位于承载板和安装板之间且至少部分可滑动，以使承载板可相对于安装板运动；承载板滑动组件具有第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，第二滑动部通过至少部分可变形的柔性连接件与承载板连接，以解决现有技术中XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。的影响而下降的问题。的影响而下降的问题。
【技术实现步骤摘要】
承载板组件及具有其的运动定位装置
[0001]本技术涉及一种晶圆检测设备
，尤其涉及一种承载板组件及具有其的运动定位装置。
技术介绍
[0002]在定位精度极高的场合，例如半导体制造领域，通常需要使用工作台以承载晶圆。工作台的运动精度、速度及稳定性决定了半导体设备的精度、良率及产率。现有技术中常用叠堆式的运动平台实现硅片在XY二维平面内的精确定位。
[0003]为了提升XY运动平台的加速度和精度，通常采用多组铁芯电机驱动及导轨的组合以实现XY方向的运动。由于多组驱动及导轨的设计，研发人员往往比较关注运动同步的问题，而忽略铁芯电机驱动同样会引发运动基台受力及发热变形的问题。这种变形会直接影响导轨和滑块的精度，从而导致XY运动平台定位精度的降低。
[0004]由于中层运动基台体积较大，可以通过结构的加强来减少变形的影响，但上层运动基台体积较小，很难通过常规的加强结构来抵消变形的影响。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的在于提供一种承载板组件及具有其的运动定位装置，以解决现有技术中的XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本技术的一个方面，提供了一种承载板组件，承载板组件设置在运动定位装置的安装板上以用于承载工件并对工件定位，承载板组件包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板的上侧，承载板电机动子安装在承载板的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板和安装板之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板在承载板电机定子和承载板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，第二滑动部通过柔性连接件与承载板连接，柔性连接件的至少部分绕承载板的运动方向可变形地设置。
[0007]进一步地，承载板滑动组件包括承载板导轨和承载板滑块；其中，承载板导轨的数量为两个，两个承载板导轨沿第一方向间隔布置且沿第二方向延伸；承载板滑块的数量为多个，多个承载板滑块分为两组，各组承载板滑块均包括至少一个承载板滑块，两组承载板滑块与两个承载板导轨一一对应地滑动连接；承载板电机动子位于两组承载板滑块之间，第一滑动部为其中一组承载板滑块，第二滑动部为另一组承载板滑块；其中，第二方向为承载板的运动方向，第一方向垂直于第二方向。
[0008]进一步地，承载板上设置有用于容纳柔性连接件的容纳槽，容纳槽具有朝向承载板的下方设置的第一开口，容纳槽用于容纳柔性连接件。
[0009]进一步地，柔性连接件包括：两个连接部，两个连接部分别与承载板和承载板滑块连接，各个连接部均为板体；柔性部，柔性部位于两个连接部之间以将两个连接部连接，柔性部为板体，柔性部的最小厚度小于各个连接部的最小厚度，以使柔性部可变形地设置。
[0010]进一步地，两个连接部分别为承载板连接部和滑块连接部，柔性部沿承载板的运动方向延伸，其中，承载板连接部和滑块连接部均平行于水平方向且沿水平方向间隔布置在柔性部的相对两侧；或者承载板连接部平行于竖直方向，滑块连接部平行于水平方向，承载板连接部和滑块连接部沿竖直方向间隔布置在柔性部的相对两侧；或者承载板连接部和滑块连接部均平行于水平方向且沿竖直方向间隔布置在柔性部的相对两侧。
[0011]进一步地，承载板连接部与承载板之间通过第一紧固件连接，承载板连接部上设置有用于供第一紧固件穿过的第一连接孔，承载板上设置有用于供第一紧固件插入的第一紧固孔，第一紧固件穿过第一连接孔后插入第一紧固孔中；其中，第一连接孔的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于竖直方向；或者第一连接孔的孔心线和第一紧固孔的孔心线均平行于水平方向。
[0012]进一步地，滑块连接部与承载板滑块之间通过第二紧固件连接，滑块连接部上设置有用于供第二紧固件穿过的第二连接孔，承载板滑块上设置有用于供第二紧固件插入的第二紧固孔，第二紧固件穿过第二连接孔后插入第二紧固孔中；其中，第二连接孔的孔心线和第二紧固孔的孔心线均平行于竖直方向。
[0013]进一步地，柔性连接件由刚性材料制成，且柔性连接件由一体成型工艺制成。
[0014]进一步地，柔性部的厚度的取值范围为0.1mm至5mm；和/或柔性部为矩形板体，柔性部的长度与柔性部的宽度之比为1.5至3。
[0015]根据本技术的另一方面，提供了一种运动定位装置，包括依次连接的固定组件、第一移动组件和第二移动组件，第一移动组件沿第一方向可运动地设置在固定组件上，第二移动组件沿第二方向可运动地设置在固定组件上；第一移动组件包括上的安装板；第二移动组件为上述的承载板组件。
[0016]应用本技术的技术方案，本技术设置了一种位于运动定位装置的安装板上以用于承载工件并对工件定位的承载板组件，承载板组件包括：承载板，设置在安装板上方以用于承载工件，承载板电机定子安装在安装板的上侧，承载板电机动子安装在承载板的下侧；承载板滑动组件，设置在承载板和安装板之间，承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使承载板在承载板电机定子和承载板电机动子的相互作用下相对于安装板运动；其中，承载板滑动组件具有与承载板连接的第一滑动部和第二滑动部，第一滑动部和第二滑动部沿垂直于承载板运动方向的方向间隔布置且分别位于承载板电机动子的相对两侧，第一滑动部与承载板固定连接，以使承载板组件在各个方向上均具有一定的刚性，从而保证了运动定位装置的运动精度，而第二滑动部通过柔性连接件与承载板连接，柔性连接件的至少部分绕承载板的运动方向可变形地设置，以避免承载板组件在沿运动方向运动时承载板电机定子和承载板电机动子之间的磁吸力导致的承载板的变形传递到承载板滑动组件上的情况的发生，解决了现有技术中的XY运动台的运动精度会因电机的定子和动子之间的磁吸力的影响而下降的问题，也解决了现有技术中的有铁芯电机的动子的发热引起的承载板形变的问题。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1示出了根据本技术的运动定位装置的实施例的结构示意图；
[0019]图2示出了根据本技术的承载板组件的实施例的结构示意图；
[0020]图3示出了根据本技术的承载板组件的柔性连接件的第一个实施例的结构示意图；
[0021]图4示出了具有图3所示的柔性连接件的承载板组件的半剖视图；
[0022]图5示出了根据本技术的承载板组件的柔性连接件的第二个实施例的结构示意图；
[0023]图6示出了具有图5所示的柔性连接件的承载板组件的半剖视图；
[0024]图7示出了根据本技术的承载板组件的柔性连接件的第三个实施例的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种承载板组件，其特征在于，所述承载板组件设置在运动定位装置的安装板(20)上以用于承载工件并对所述工件定位，所述承载板组件包括：承载板(30)，设置在所述安装板(20)上方以用于承载所述工件，承载板电机定子(22)安装在所述安装板(20)的上侧，承载板电机动子(33)安装在所述承载板(30)的下侧；承载板滑动组件，设置在所述承载板(30)和所述安装板(20)之间，所述承载板滑动组件的至少部分可滑动地设置，以使所述承载板(30)在所述承载板电机定子(22)和所述承载板电机动子(33)的相互作用下相对于所述安装板(20)运动；其中，所述承载板滑动组件具有与所述承载板(30)连接的第一滑动部和第二滑动部，所述第一滑动部和所述第二滑动部沿垂直于所述承载板(30)运动方向的方向间隔布置且分别位于所述承载板电机动子(33)的相对两侧，所述第一滑动部与所述承载板(30)固定连接，所述第二滑动部通过柔性连接件(31)与所述承载板(30)连接，所述柔性连接件(31)的至少部分绕承载板(30)的运动方向可变形地设置。2.根据权利要求1所述的承载板组件，其特征在于，所述承载板滑动组件包括承载板导轨(21)和承载板滑块(32)；其中，所述承载板导轨(21)的数量为两个，两个所述承载板导轨(21)沿第一方向间隔布置且沿第二方向延伸；所述承载板滑块(32)的数量为多个，多个所述承载板滑块(32)分为两组，各组所述承载板滑块(32)均包括至少一个所述承载板滑块(32)，两组所述承载板滑块(32)与两个所述承载板导轨(21)一一对应地滑动连接；所述承载板电机动子(33)位于两组所述承载板滑块(32)之间，所述第一滑动部为其中一组所述承载板滑块(32)，所述第二滑动部为另一组所述承载板滑块(32)；其中，所述第二方向为所述承载板(30)的运动方向，所述第一方向垂直于所述第二方向。3.根据权利要求1所述的承载板组件，其特征在于，所述承载板(30)上设置有用于容纳所述柔性连接件(31)的容纳槽(301)，所述容纳槽(301)具有朝向所述承载板(30)的下方设置的第一开口，所述容纳槽(301)用于容纳所述柔性连接件(31)。4.根据权利要求2所述的承载板组件，其特征在于，所述柔性连接件(31)包括：两个连接部(311)，两个所述连接部(311)分别与所述承载板(30)和所述承载板滑块(32)连接，各个所述连接部(311)均为板体；柔性部(312)，所述柔性部(312)位于两个所述连接部(311)之间以将两个所述连接部(311)连接，所述柔性部(312)为板体，所述柔性部(312)的最小厚度小于各个所述连接部(311)的厚度，以使所述柔性部(312)可变形地设置。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐艳文，江旭初，袁嘉欣，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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