本实用新型专利技术涉及一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构和夹爪驱动机构，夹爪连接块通过夹爪连接轴与下压机构相连接。本实用新型专利技术一种适用于晶圆加工的夹取装置，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；通过下压机构可以对夹爪盒本体实现在一定程度上的下压处理，方便夹取操作。方便夹取操作。方便夹取操作。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆加工的夹取装置
[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种适用于晶圆加工的夹取装置。
技术介绍
[0002]晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒的进出操作通常是人工拿取的方式，需要设计一种夹取装置可以实现对晶圆盒的进出料的夹取操作。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种适用于晶圆加工的夹取装置，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种适用于晶圆加工的夹取装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构和夹爪驱动机构，夹爪连接块通过夹爪连接轴与下压机构相连接；
[0007]夹爪驱动机构包括夹爪、夹爪电机、蜗杆座、蜗杆和蜗轮，夹爪电机通过电机座安装在蜗杆座上，夹爪电机沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座内沿着X轴方向的蜗杆驱动连接设置，蜗杆与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮相连接，蜗轮底部的两侧分别设置有夹爪固定轴，夹爪盒本体沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪，夹爪的内侧通过夹爪臂安装在夹爪盒本体内的夹爪臂安装块上，夹爪臂与夹爪臂安装块铰接，夹爪固定轴与连杆的第一侧相连接，连杆的第二侧通过连接棒与夹爪连接臂相连接，夹爪连接臂与夹爪臂的内侧底部相连接；
[0008]下压机构包括沿着X轴方向并列设置的两组下压组件，下压组件包括下压立架、下压摆臂和下压连接块，下压立架上从上往下依次设置有两个下压摆臂，且两个下压摆臂分别位于夹爪连接轴的上方和下方，下压摆臂沿着Y轴负方向的一侧通过销轴与下压立架相连接，下压摆臂沿着Y轴正方向的一侧通过销轴与下压连接块相连接，夹爪连接轴沿着X轴方向依次穿过两个下压连接块，且夹爪连接轴通过防撞销钉与下压连接块连接在一起。
[0009]作为本技术的进一步改进，蜗杆座的上方还设置有轴承安装板，轴承安装板通过立柱安装在下盖上，蜗轮的顶部连接设置有蜗轮盘，蜗轮盘的顶部通过第一轴承与轴承安装板相连接，蜗轮盘的底部通过第二轴承与下盖相连接。
[0010]作为本技术的进一步改进，蜗轮盘上设置有第一感应片，轴承安装板上设置有第一感应器安装板，第一感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第一感应片相配合的第一感应器。
[0011]作为本技术的进一步改进，夹爪臂沿着Y轴方向的一侧还设置有第二感应片，夹爪臂一侧的下盖上设置有与第二感应片相配合的第二感应器。
[0012]作为本技术的进一步改进，夹爪臂的底部内侧还连接设置有拉簧，拉簧与轴承安装板相连接。
[0013]作为本技术的进一步改进，夹爪连接轴沿着Y轴负方向一侧的下盖上设置有下压限位块，下压限位块位于两个下压连接块之间，下压限位块内沿着Y轴方向开设有下压限位槽，夹爪连接轴通过下压限位柱与下压限位槽相连接。
[0014]作为本技术的进一步改进，下压连接块的内侧设置有第三感应片，两个第三感应片之间的下盖上设置有第二感应器安装板，第二感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第三感应片相配合的第三感应器。
[0015]作为本技术的进一步改进，下压连接块的底部和下盖之间还设置有弹簧。
[0016]作为本技术的进一步改进，夹爪底部内侧的下盖上设置有夹爪限位块。
[0017]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0018]本技术一种适用于晶圆加工的夹取装置，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；通过下压机构可以对夹爪盒本体实现在一定程度上的下压处理，方便夹取操作。
[0019]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本技术一种适用于晶圆加工的夹取装置的结构示意图；
[0022]图2是图1中去除上盖后的俯视图；
[0023]图3是图1中去除下盖后的仰视图；
[0024]图4是图2或图3中下压机构的结构示意图。
[0025]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0026]1 夹爪盒本体
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2 夹爪连接块
[0027]3 上盖
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4 下盖
[0028]5 夹爪
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6 夹爪限位块
[0029]7 夹爪连接轴
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8 下压机构
[0030]9 夹爪臂
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10 夹爪臂安装块
[0031]11 夹爪连接臂
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12 夹爪电机
[0032]13 拉簧
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14 电机座
[0033]15 蜗杆座
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16 轴承安装板
[0034]17 蜗杆
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18 蜗轮
[0035]19 第一感应器安装板
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20 立柱
[0036]21 第一感应片
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22 第一轴承
[0037]23 蜗轮盘
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24 第一感应器
[0038]25 第二感应器
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26 第二感应片
[0039]27 连接棒
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28 连杆
[0040]29 第二轴承
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30 夹爪固定轴
[0041]31 下压立架
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32 下压摆臂
[0042]33 下压连接块
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34 防撞销钉
[0043]35 下压限位块
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36 下压限位柱
[0044]37 下压限位槽
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38 第二感应器安装板
[0045]39 第三感应器本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，包括夹爪盒本体(1)，所述夹爪盒本体(1)的顶部和底部分别设置有上盖(3)和下盖(4)，所述夹爪盒本体(1)内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构(8)和夹爪驱动机构，夹爪连接块(2)通过夹爪连接轴(7)与所述下压机构(8)相连接；所述夹爪驱动机构包括夹爪(5)、夹爪电机(12)、蜗杆座(15)、蜗杆(17)和蜗轮(18)，所述夹爪电机(12)通过电机座(14)安装在蜗杆座(15)上，所述夹爪电机(12)沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座(15)内沿着X轴方向的蜗杆(17)驱动连接设置，所述蜗杆(17)与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮(18)相连接，所述蜗轮(18)底部的两侧分别设置有夹爪固定轴(30)，所述夹爪盒本体(1)沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪(5)，所述夹爪(5)的内侧通过夹爪臂(9)安装在夹爪盒本体(1)内的夹爪臂安装块(10)上，所述夹爪臂(9)与夹爪臂安装块(10)铰接，所述夹爪固定轴(30)与连杆(28)的第一侧相连接，所述连杆(28)的第二侧通过连接棒(27)与夹爪连接臂(11)相连接，所述夹爪连接臂(11)与夹爪臂(9)的内侧底部相连接；所述下压机构(8)包括沿着X轴方向并列设置的两组下压组件，所述下压组件包括下压立架(31)、下压摆臂(32)和下压连接块(33)，所述下压立架(31)上从上往下依次设置有两个下压摆臂(32)，且两个所述下压摆臂(32)分别位于夹爪连接轴(7)的上方和下方，所述下压摆臂(32)沿着Y轴负方向的一侧通过销轴与下压立架(31)相连接，所述下压摆臂(32)沿着Y轴正方向的一侧通过销轴与下压连接块(33)相连接，所述夹爪连接轴(7)沿着X轴方向依次穿过两个下压连接块(33)，且所述夹爪连接轴(7)通过防撞销钉(34)与下压连接块(33)连接在一起。2.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述蜗杆座(15)的上方还设置有轴承安装板(16)，所述轴承安装板(16)通过立柱(20)安装在下盖(4)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈曙光，林坚，王彭，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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