晶圆搬运用的陶瓷机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开的属于晶圆生产技术领域，具体为晶圆搬运用的陶瓷机械手臂，包括承载部和固定板，所述承载部包括有上端内凹的承载槽，所述承载槽一侧内凹设置有定位槽；所述承载部左侧壁对称设置有所述固定板，两个所述固定板另一端通过转杆转动设置有连接板，所述连接板另一端设置有限位压板，所述连接板右侧壁和所述承载部左侧壁之间设置有微型电动推杆。该实用新型专利技术，晶圆进入到定位槽后，启动微型电动推杆后，其输出端缩短会带动连接板和限位压板角度倾斜，从而限位压板贴合晶圆一侧，使承载部在运输晶圆的过程中，能更好的给晶圆定位，避免其位置偏移。避免其位置偏移。避免其位置偏移。

【技术实现步骤摘要】
晶圆搬运用的陶瓷机械手臂


[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体为晶圆搬运用的陶瓷机械手臂。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]由于机械手臂长期使用后会产生一定的磨损，在搬运晶圆的过程中，机械手臂会产生上下的晃动，使得晶圆在搬运的过程中会相对于手臂发生滑动，造成晶圆偏移，导致后续加工时，晶圆的位置不精确，造成加工后的晶圆不合格，因此需要研发晶圆搬运用的陶瓷机械手臂。

技术实现思路

[0004]本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。
[0005]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0006]晶圆搬运用的陶瓷机械手臂，其包括：
[0007]承载部，所述承载部包括有上端内凹的承载槽，所述承载槽一侧内凹设置有定位槽；
[0008]固定板，所述承载部左侧壁对称设置有所述固定板，两个所述固定板另一端通过转杆转动设置有连接板，所述连接板另一端设置有限位压板，所述连接板右侧壁和所述承载部左侧壁之间设置有微型电动推杆。
[0009]作为本技术所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂的一种优选方案，其中：所述承载槽槽内底部呈圆弧状，所述定位槽沿着承载槽槽内底部开设成圆弧状。
[0010]作为本技术所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂的一种优选方案，其中：所述连接板和所述限位压板之间形成有夹角，所述夹角的度数为20
°
到35
°
。
[0011]作为本技术所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂的一种优选方案，其中：所述连接板右侧壁前后对称设置有第一安装板，两个所述第一安装板之间设置有第一安装杆，所述微型电动推杆的左端转动设置在第一安装杆上。
[0012]作为本技术所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂的一种优选方案，其中：所述承载部左侧壁前后对称设置有第二安装板，两个所述第二安装板之间设置有第二安装杆，所述微型电动推杆的右端转动设置在第二安装杆上。
[0013]作为本技术所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂的一种优选方案，其中：所述
限位压板朝向所述定位槽的一侧设置有防滑纹。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：晶圆进入到定位槽后，启动微型电动推杆后，其输出端缩短会带动连接板和限位压板角度倾斜，从而限位压板贴合晶圆一侧，使承载部在运输晶圆的过程中，能更好的给晶圆定位，避免其位置偏移。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将结合附图和详细实施方式对本技术进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术固定板及其连接部件的爆炸图；
[0018]图3为本技术固定板及其连接部件的侧视结构示意图；
[0019]图4为本技术图1的侧视结构示意图；
[0020]图中：承载部100、承载槽110、定位槽120、安装部130、固定板200、连接板210、限位压板220、微型电动推杆230、转杆240、第一安装板250、第一安装杆260、第二安装板270、第二安装杆280、防滑纹290。
具体实施方式
[0021]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0022]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广，因此本技术不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0023]其次，本技术结合示意图进行详细描述，在详述本技术实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0024]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0025]请参阅图1
‑
图4,本实施方式的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂,其包括：
[0026]承载部100包括有上端内凹的承载槽110，所述承载槽110一侧内凹设置有定位槽120；所述承载槽110槽内底部呈圆弧状，所述定位槽120沿着承载槽110槽内底部开设成圆弧状，使得晶圆外圈更好的贴合圆弧状的定位槽120内；
[0027]所述承载部100左侧壁对称设置有所述固定板200，两个所述固定板200另一端通过转杆240转动设置有连接板210，所述连接板210另一端设置有限位压板220，所述连接板210右侧壁和所述承载部100左侧壁之间设置有微型电动推杆230。所述连接板210和所述限位压板220之间形成有夹角，所述夹角的度数为20
°
到35
°
，所述连接板210右侧壁前后对称设置有第一安装板250，两个所述第一安装板250之间设置有第一安装杆260，所述微型电动
推杆230的左端转动设置在第一安装杆260上，所述承载部100左侧壁前后对称设置有第二安装板270，两个所述第二安装板270之间设置有第二安装杆280，所述微型电动推杆230的右端转动设置在第二安装杆280上，使得微型电动推杆230启动后，其输出端缩短会带动连接板210和限位压板220角度倾斜，从而限位压板220贴合晶圆一侧，增加晶圆在搬运时的为稳定性；所述限位压板220朝向所述定位槽120的一侧设置有防滑纹290，增加限位压板220贴合晶圆一侧时候的防滑性；
[0028]在具体的使用过程中，晶圆进入到定位槽120后，启动微型电动推杆230后，其输出端缩短会带动连接板210和限位压板220角度倾斜，从而限位压板220贴合晶圆一侧，使承载部100在运输晶圆的过程中，能更好的给晶圆定位，避免其位置偏移。
[0029]虽然在上文中已经参考实施方式对本技术进行了描述，然而在不脱离本技术的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本技术所披露的实施方式中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆搬运用的陶瓷机械手臂，其特征在于，包括：承载部(100)，所述承载部(100)包括有上端内凹的承载槽(110)，所述承载槽(110)一侧内凹设置有定位槽(120)；固定板(200)，所述承载部(100)左侧壁对称设置有所述固定板(200)，两个所述固定板(200)另一端通过转杆(240)转动设置有连接板(210)，所述连接板(210)另一端设置有限位压板(220)，所述连接板(210)右侧壁和所述承载部(100)左侧壁之间设置有微型电动推杆(230)。2.根据权利要求1所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述承载槽(110)槽内底部呈圆弧状，所述定位槽(120)沿着承载槽(110)槽内底部开设成圆弧状。3.根据权利要求1所述的晶圆搬运用的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述连接板(210)和所述限位压板(220)之间形成有夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建忠，王欣非，
申请(专利权)人：西安中威新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：