晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备制造技术

本发明专利技术提供一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，包括：两个互相连接的主板；对称设置的两个限位组件；每个限位组件包括：固定板，固定设置在主板的外侧；横向推板组件驱动推板横向移动；升降组件，架设在主板的内侧；升降组件驱动一个移动块上下移动；两个滑套，分别套设在固定板和推板上；两个滑套的一端通过伸缩杆连接；固定板上的滑套的一侧面与移动块转动连接；调节齿轮，与固定板上的滑套固定连接；固定齿条，竖向固定架设在升降组件下端的一侧；金刚石切割移动台，架设在两个固定板的滑套之间，在碳化硅陶瓷晶舟的切割空间移动。该装置能够自动固定且限位于晶舟的待切割部分，无需人工拆卸定位，以及重复固定晶舟和该装置的位置。装置的位置。装置的位置。

【技术实现步骤摘要】
晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备


[0001]本专利技术涉及开齿辅助设备
，具体涉及一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备。

技术介绍

[0002]碳化硅陶瓷晶舟，又称碳化硅晶舟（碳化硅舟）以及碳化硅扩散管（碳化硅陶瓷炉管）被广泛应用于光伏电池片、半导体圆片的生产工艺中，具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温冲击，耐电浆轰击、高温承载力大、高导热、高散热、长期使用不易弯曲变形等特点。
[0003]碳化硅陶瓷晶舟上均匀地开设有多个小齿。然而，碳化硅陶瓷晶舟上的小齿的开设精度要求较高，并且由于晶舟材料的特殊性，需要通过金刚石线切割的方式进行切割。
[0004]而对于成品碳化硅陶瓷晶舟开齿时，更要面临开齿设备与碳化硅陶瓷晶舟固定架设的难题。其中，碳化硅陶瓷晶舟待开齿的支撑杆部分与整体为一体结构，并不能拆卸下来依次进行切割，则需要将开齿设备完全固定依附于晶舟本体进行切割，而对于形状各异的晶舟则需要人工反复地调整开齿设备的位置，无论是定位还是切割，其工作难度以及工作强度较大。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，包括金刚石切割移动台，其特征在于，还包括对称设置的两个限位组件；所述限位组件包括：固定板（14）；横向推板组件，平行架设于所述固定板（14）的一侧，驱动一个推板（15）横向移动；所述推板（15）的下端朝向固定板（14）下端延伸有弧形导板（11）；升降组件，架设在固定板（14）的内侧；两个滑套（13），通过伸缩杆（12）连接，分别套设在所述固定板（14）和推板（15）上；所述固定板（14）上的滑套（13）一端的一侧铰接在升降组件上，通过升降组件驱动升降；所述金刚石切割移动台架设在两个所述固定板（14）的滑套（13）之间；调节齿轮（5），与固定板（14）上的滑套（13）一端的一侧固定连接；固定齿条（9），竖向固定架设在所述升降组件下端的一侧；其中，所述调节齿轮（5）向上移动时与固定齿条（9）啮合，带动两个所述滑套（13）转动，沿着所述弧形导板（11）和固定板（14）向上实现套接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，还包括两个主板（1）；两个所述固定板（14）分别固定设置在所述主板（1）的外侧；所述固定板（14）上滑套（13）的一侧固定设置有安装板（7），所述调节齿轮（5）与所述安装板（7）固定连接；所述升降组件上架设有移动块（8），并驱动所述移动块（8）升降；所述安装板（7）的背部通过旋转轴（10）与所述移动块（8）转动连接；所述移动块（8）上固定设置有限位挡杆（6），所述安装板（7）的顶部开设有与所述限位挡杆（6）配合的限位槽；其中，所述安装板（7）转动时，限位挡杆（6）与限位槽配合，且安装板（7）呈横向设置。3.根据权利要求2所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，所述横向推板组件包括：驱动齿轮（16），转动设置在所述主板（1）的外侧；第一电机，固定设置在所述主板（1）的内侧，其输出轴与所述驱动齿轮（16）传动连接；导向板（18），横向固定架设在所述主板（1）的外侧；所述导向板（18）穿过所述推板（15），并与所述推板（15）滑动配合；驱动齿条（19），固定设置在所述推板（15）的顶部，并与所述驱动齿轮（16）啮合。4.根据权利要求2所述的一种晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备，其特征在于，所述升降组件包括：两个第一架板；两个所述第一架板通过第一光杆固定连接，一个所述第一架板固定设置在所述主板（1）的内侧，所述固定齿条（9）与另一个所述第一架板的一侧固定连接；所述第一光杆与所述移动块（8）滑动配合；第一丝杠（20），...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建忠，刘钊，
申请(专利权)人：西安中威新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：