【技术实现步骤摘要】
碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置和制作方法
[0001]本专利技术属于碳化硅产品制备设备
,具体涉及一种碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置和制作方法。
技术介绍
[0002]碳化硅陶瓷悬臂桨是晶圆装载系统的一个部件,应用于太阳能光伏电池领域或者其相近的领域。碳化硅陶瓷材料制备的悬臂桨强度高,耐腐蚀,稳定性良好。现有技术的碳化硅陶瓷悬臂桨类似于“船桨”的结构(比如CN103319180B和CN218973238U的结构),故因此得名“悬臂桨”。
[0003]碳化硅陶瓷悬臂桨与其他的碳化硅陶瓷产品的制备有相似之处,均用模具包括制作坯体、干燥、素坯修正和烧结等几个步骤。由于悬臂桨长度较长,所以通常分为固定区、过渡区和负载区三个部分,不同的区域在起到不同的作用,不同的区域也常常会用不同的制备方法。比如CN103319180B记载的一种反应烧结碳化硅悬臂桨,其制备方法是:先制作固定区坯体、然后干燥该固定区坯体;接着制作过渡区和负载区的整体坯体,并干燥;之后将两次制作的干燥的坯体粘接,最后经过烧结,得到碳化硅悬臂桨。上述工艺用到了至少两次用于成型的模具,第一次是制作固定区坯体的时候,第二次是制作过渡区和负载区整体坯体的时候。可见模具是制作碳化硅陶瓷悬臂桨的必须装置。
[0004]在现有的制备工艺中,由于悬臂桨的固定区坯体需要和其他区坯体粘接,那么就要用到粘接剂,液态的粘接剂较为常见。虽然经过粘接以及烧结步骤以后,固定区坯体和其他区坯体之间已经连接在一起了,但是当粘接剂将两个坯体的端面粘合后,粘接剂会固化,并且固化后的粘接剂的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置,其特征在于,包括第一模具底(2)、第二模具底(3)、第一模具盖和第二模具盖;所述第一模具底(2)和所述第二模具底(3)均是上端面和一个侧端面为敞口的形状,所述第一模具盖与所述第一模具底(2)可拆卸连接,所述第二模具盖与所述第二模具底(3)可拆卸连接,所述第一模具底(2)的侧面端面与所述第二模具底(3)的侧面端面可拆卸拼接,以形成完整的适用于碳化硅陶瓷悬臂桨形状的完整模具底。2.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置,其特征在于,所述碳化硅陶瓷悬臂桨包括固定区(1)、过渡区(11)和负载区(12);所述第一模具底(2)用于制作固定区(1)的坯体,所述第二模具底(3)用于制作所述过渡区(11)和所述负载区(12)的整体坯体,当所述固定区(1)的坯体干燥后、以及所述过渡区(11)和所述负载区(12)的整体坯体干燥后,将所述固定区(1)的坯体放入所述第一模具底(2),将所述过渡区(11)所述和负载区(12)的整体坯体放入所述第二模具底(3),然后进行“粘接”的操作。3.根据权利要求2所述的碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置,其特征在于,所述第一模具底(2)包括外壳体(21)和内壳体(22),所述内壳体(22)是具有弹性的壳体,所述内壳体(22)固定在所述外壳体(21)内壁,且所述内壳体(22)与所述外壳体(21)的形状相匹配,所述第一模具盖不具有弹性,且第一模具盖用于嵌入所述内壳体(22)内;所述第二模具底(3)与所述第一模具底(2)的结构相同,且所述第一模具底(2)的外壳体(21)与所述第二模具底(3)的外壳体拼接,所述且所述第一模具底(2)的内壳体(22)与所述第二模具底(3)的内壳体拼接。4.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置,其特征在于,还包括粘接剂补充装置;所述粘接剂补充装置包括第一补充装置(4)和第二补充装置(5),所述第一补充装置(4)可拆卸安装在所述第一模具底(2)的外壁,所述第二补充装置(5)可拆卸安装在所述第二模具底(3)的外壁,所述第一补充装置(4)位于所述第二补充装置(5)的上方,所述第二补充装置(5)的顶面与所述第一补充装置(4)的底面拼接;所述第一补充装置(4)的外壁和所述第二补充装置(5)的外壁均设有试剂添加口,所述试剂添加口处设有可拆卸的密封盖。5.根据权利要求4所述的碳化硅陶瓷悬臂桨制作装置,其特征在于,所述第一模具底(2)与所述第二模具底(3)相接触的接触面包括前接触面和后接触面以及底接触面;所述第一补充装置(4)包括前补充盒(41)、后补充盒(42),所述前补充盒(41)、所述后补充盒(42)之间通过连接杆(43)连接;所述前补充盒(41)的内壁、所述后补充盒(42)的内壁均设有第一渗流孔(45),所述前补充盒(41)、所述后补充盒(42)内的粘接剂均能通过所述第一渗流孔(45)流出并渗入前接触面和后接触面,所述前补充盒(41)、所述后补...
【专利技术属性】
技术研发人员:王建忠,
申请(专利权)人:西安中威新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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