【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及精密制造，特别涉及一种阻尼减振装置、系统、控制方法以及计算机程序产品。
技术介绍
1、运动台是精密制造系统中的常用设备，运动台在运动过程中往往会产生一定幅值的振动，这种振动会通过系统整机框架、工作台面或地面传递到其他设备，如光学物镜设备、其他运动台等，对其他设备的位置精度和稳定性带来不利影响。对于高精度、超高精度制程要求的制造系统来说，这种振动干扰更是巨大。
2、因此，需要专门的装置或措施，以尽可能地降低制造系统中的振动干扰，提高制造设备的位置精度和位置稳定性。
技术实现思路
1、本说明书一个或多个实施例提供了一种阻尼减振装置，被配置为设置于待减振物体上，包括：缸体、运动部以及驱动模组；所述运动部设置于所述缸体内，将所述缸体的内部划分得到第一腔室和第二腔室；所述驱动模组用于驱动所述运动部在所述缸体内往复运动，所述运动部至少部分接触所述缸体的侧壁内表面；所述驱动模组由控制信号驱动，所述控制信号能够通过所述驱动模组使得所述阻尼减振装置在所述待减振物体上产生的冲量抵消与外...
【技术保护点】
1.一种阻尼减振装置，被配置为设置于待减振物体上，其特征在于，包括：缸体（110）、运动部（120）以及驱动模组（130）；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述运动部（120）包括质量块（121）以及一个以上的密封环（122）；所述一个以上的密封环（122）依次设置在所述质量块（121）的外周、与所述缸体（110）的侧壁内表面形成密封或准密封配合。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述节流通道（140）开设在所述缸体（110）的侧壁（111）内，所述节流通道（140）的第一端与所述第一腔室（1141）连通，第二端与所述第二...
【技术特征摘要】
1.一种阻尼减振装置，被配置为设置于待减振物体上，其特征在于，包括：缸体（110）、运动部（120）以及驱动模组（130）；
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述运动部（120）包括质量块（121）以及一个以上的密封环（122）；所述一个以上的密封环（122）依次设置在所述质量块（121）的外周、与所述缸体（110）的侧壁内表面形成密封或准密封配合。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述节流通道（140）开设在所述缸体（110）的侧壁（111）内，所述节流通道（140）的第一端与所述第一腔室（1141）连通，第二端与所述第二腔室（1142）连通；
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述节流通道（140）是变内径的或者所述节流通道（140）的至少部分为弯道。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述驱动模组（130）以非接触的方式驱动所述运动部（120）在所述缸体（110）内往复运动。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述驱动模组（130）进一步包括第一驱动模组和第二驱动模组；
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一端面（112）和所述第二端面（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚威，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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