【技术实现步骤摘要】
一种显影清洗装置
[0001]本技术属于功率半导体器件生产设备
涉及一种光刻胶显影清洗装置，尤其是一种用于功率半导体器件制造的显影清洗装置。
技术介绍
[0002]现有显影清洗装置主要是要用于各尺寸不规则的光学玻璃的显影、清洗以及烘干的作用，显影机是一种能自动连续完成显影、定影、洗涤作用的机器设备。
[0003]但是在实际使用时，现有显影清洗装置在使用过程中，其产品放置于显影液体中，大多通过进入显影液体中的方式等待显影，该方式使得产品接触液体时不做过多活动，液体浸润速度较慢，且如采用人工进行则会提高人工成本，且人体易疲劳，在进行清洗过程中也存在上述相同问题。
技术实现思路
[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种显影清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种显影清洗装置，其特征在于：包括设备控制箱体及箱体内自上而下设置的控制部分、显影清洗部分和输入输出排管部分；所述控制部分包括设置在设备控制箱体上的系统显示...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显影清洗装置，其特征在于：包括设备控制箱体（1）及箱体内自上而下设置的控制部分、显影清洗部分和输入输出排管部分；所述控制部分包括设置在设备控制箱体（1）上的系统显示屏（18）；所述显影清洗部分包括显影液槽（2）、显影花篮（4）及其摇晃机构、以及冲洗水槽（3）；所述输入输出排管部分包括输入排管和输出排管，输入排管与冲洗水槽（3）连接，输出排管包括分别与显影液槽（2）和冲洗水槽（3）连接的输出显影液排管和输出清洗液排管。2.根据权利要求1所述的一种显影清洗装置，其特征在于：所述的摇晃机构包括固定在显影花篮（4）上，并通过螺纹连接的花篮吊杆调节筒（7）和花篮连接螺杆（9）；所述花篮吊杆调节筒（7）与电动推杆（6）的推出端固定连接，所述电动推杆（6）与电动滑台（5）下表面滑动连接；所述电动滑台（5）固定在显影液槽（2）上方的设备控制箱体（1）上。3.根据权利要求2所述的一种显影清洗装置，其特征在于：所述的花篮吊杆调节筒（7）的下端通过轴承转动连接有花篮吊杆调环（8），所述花篮吊杆调环（8）的内壁表面设有螺纹，与花篮连接螺杆（9）螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种显影清洗装置，其特征在于：所述的显影花篮（4）设有矩形提把；所述花篮连接螺杆（9）通过花篮吊扣（10）和吊扣固定螺柱（11）套接固定在显影花篮（4）的矩形提把上。5.根据权利要求1
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4中任一项所述的一种显影清洗装置，其特征在于：所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：楚奇，李树森，邢雁，林煜凤，肖黎，刘晓，
申请(专利权)人：湖北台基半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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