目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法和计算机设备技术方案

本发明专利技术涉及一种目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法和计算机设备。目标图像的更新方法包括：获取待测晶圆的光学图像，基于待测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的灰度；将参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断参考图像与目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内，若是，将参考图像及参考图像的灰度保存；重复上述各步骤若干次，以保存多张参考图像及参考图像的灰度；将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及平均参考图像的灰度；将平均参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断平均参考图像与目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内，若是，将目标图像进行更新替换，将平均参考图像作为新的目标图像。目标图像。目标图像。

【技术实现步骤摘要】
目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法和计算机设备


[0001]本申请涉及集成电路
，特别是涉及一种目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。

技术介绍

[0002]半导体工艺制程中，当前期一道制程完成后，会对产品表面进行宏观和微观不良的检测，以检测到工艺早期所引入的良率损失缺陷，将有异常的晶圆进行Rework（重新进行制程）处理，减少有缺陷的晶圆流到下一工序报废而产生的损失；制程缺陷检测主要通过线上样品和目标图像的差异来定义是否为缺陷，目标图像的准确性一定程度上决定了工艺线上检出缺陷的准确性。
[0003]然而，现有的晶圆检测过程中，会使用一个固定的目标图像作为对比参考；在实际生产过程中，来自于不同的机台和机台本身长时间生产而产生的正常偏移会导致线上样品的图像灰度发生波动和偏移，目标图像和线上样品的差异越来越大，从而导致误检率增加，需要工程师去频繁的手动调参数或重新设定目标图像，导致人力成本增加，效率也较低。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述问题提供一种目标图像的更新方法及系统、晶圆检测方法、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。
[0005]为了实现上述目的，一方面，本专利技术提供了一种目标图像的更新方法，包括：获取待测晶圆的光学图像，基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图像的灰度；将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内，若是，将所述参考图像及所述参考图像的灰度保存；重复上述各步骤若干次，以保存多张参考图像及参考图像的灰度；将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度；将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内，若是，将所述目标图像进行更新替换，将所述平均参考图像作为新的目标图像。
[0006]本申请的目标图像的更新方法，获取的更新图像为晶圆的实时更新图像，并且保存的多张参考图像及参考图像的灰度也是与目标图像的灰度差位于第一预设范围内的，采用多张参考图像进行拟合获得平均参考图像，平均参考图像的灰度更加贴近实际生产情况；选取与目标图像的灰度差值位于第二预设范围内的平均参考图像作为新的目标图像，所获得的新的目标图像更加准确，此方法可以使目标图像的灰度长期保持其准确性，减少误检，提高生产线上的检测结果的准确性和检测效率，且可以减少人员成本。
[0007]在其中一个实施例中，所述获取待测晶圆的光学图像，基于所述待测晶圆的光学
图像得到参考图像及参考图像的灰度，包括：获取所述待测晶圆的光学图像，所述待测晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片区域；对所述待测晶圆的光学图像进行灰度计算；于所述待测晶圆的光学图像内选择多个所述芯片区域进行训练拟合，以得到所述参考图像及所述参考图像的灰度。
[0008]在其中一个实施例中，第一张目标图像及第一张目标图像的灰度的获取方法包括：获取目标晶圆的光学图像，所述目标晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片区域；对所述目标晶圆的光学图像进行灰度计算；于所述目标晶圆的光学图像内选择多个所述芯片区域进行训练拟合，以得到所述第一张目标图像及所述第一张目标图像的灰度。
[0009]在其中一个实施例中，将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内之后，还包括：若否，则舍弃所述参考图像。
[0010]在其中一个实施例中，将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内之后，还包括：若否，则发出报警信息。
[0011]在其中一个实施例中，将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度的过程中，拟合的参考图像的张数大于100张。
[0012]在其中一个实施例中，将所述目标图像进行更新替换，将所述平均参考图像作为新的目标图像之后，还包括：在预设时间间隔后，获取新的待测晶圆的光学图像，重复上述各步骤。
[0013]第二方面，本申请还提供一种目标图像的更新系统，包括：图像获取模块，用于获取待测晶圆的光学图像；处理模块，与所述图像获取模块相连接，用于基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图像的灰度；存储模块，用于存储目标图像及目标图像的灰度；第一比较判断模块，与所述处理模块及所述存储模块相连接，用于将所述参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内；图像保存模块，与所述第一比较判断模块相连接，用于在所述参考图像与所述目标图像的灰度差位于第一预设范围内时，将所述参考图像及所述参考图像的灰度保存；拟合模块，与所述图像保存模块相连接，用于将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度；第二比较判断模块，与所述拟合模块及所述存储模块相连接，用于将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述平均参考图像与所述目标图像的
灰度差值是否位于第二预设范围内；更新替换模块，与所述第二比较判断模块及所述存储模块相连接，用于在所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值位于第二预设范围内时，将所述目标图像进行更新替换，将所述平均参考图像作为新的目标图像更新存储于所述存储模块内。
[0014]本申请的目标图像的更新系统，通过待测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的灰度，将参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断参考图像与目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内，可以快速判定是否需要保存参考图像及所述参考图像的灰度；将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度，将平均参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，在平均参考图像与目标图像的灰度差值位于第二预设范围内时，将目标图像进行更新替换，将平均参考图像作为新的目标图像更新存储于存储模块内，使得目标图像的灰度长期保持其准确性，减少误检，提高生产线上的检测结果的准确性和检测效率，提升生产效率。
[0015]第三方面，本申请还提供一种晶圆检测方法，包括：获取待测晶圆的光学图像，基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图像的灰度；将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第三预设范围内；若是，则判定所述待测晶圆上没有缺陷；若否，则判定所述待测晶圆上存在缺陷；其中，所述目标图像为采用如上述任一项方案所述的目标图像的更新方法实时更新后的目标图像。
[0016]本申请的晶圆检测方法，通过待测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的灰度，将参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，可以快速判定待测晶圆上有无缺陷，并且，目标图像为实时更新的目标图像，使得比对过程更为准确，帮助准确判断晶圆是否存在缺陷，降低误判率，提升生产效率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种目标图像的更新方法，其特征在于，包括：获取待测晶圆的光学图像，基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及所述参考图像的灰度；将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内，若是，将所述参考图像及所述参考图像的灰度保存；重复上述各步骤若干次，以保存多张参考图像及参考图像的灰度；将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度；将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内，若是，将所述目标图像进行更新替换，将所述平均参考图像作为新的目标图像。2.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法，其特征在于，所述获取待测晶圆的光学图像，基于所述待测晶圆的光学图像得到参考图像及参考图像的灰度，包括：获取所述待测晶圆的光学图像，所述待测晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片区域；对所述待测晶圆的光学图像进行灰度计算；于所述待测晶圆的光学图像内选择多个所述芯片区域进行训练拟合，以得到所述参考图像及所述参考图像的灰度。3.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法，其特征在于，第一张目标图像及第一张目标图像的灰度的获取方法包括：获取目标晶圆的光学图像，所述目标晶圆的光学图像中包括多个间隔排布的芯片区域；对所述目标晶圆的光学图像进行灰度计算；于所述目标晶圆的光学图像内选择多个所述芯片区域进行训练拟合，以得到所述第一张目标图像及所述第一张目标图像的灰度。4.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法，其特征在于，将所述参考图像的灰度与目标图像的灰度进行比对，判断所述参考图像与所述目标图像的灰度差是否位于第一预设范围内之后，还包括：若否，则舍弃所述参考图像。5.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法，其特征在于，将所述平均参考图像的灰度与所述目标图像的灰度进行比对，判断所述平均参考图像与所述目标图像的灰度差值是否位于第二预设范围内之后，还包括：若否，则发出报警信息。6.根据权利要求1所述的目标图像的更新方法，其特征在于，将多张参考图像进行拟合，以得到平均参考图像及所述平均参考图像的灰度的过程中，拟合的参考图像的张数大于100张。7.根据权利要求1至6中任一项所述的目标图像的更新方法，其特征在于，将所述目标图像进行更新替换，将所述平均参考...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢金涛，
申请(专利权)人：合肥新晶集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：