传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统技术方案

本发明专利技术涉及一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。传送路径规划方法包括：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各轨道单元的传送参数；基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成路径信息集，所述路径信息集包括优先队列；基于路径信息集选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。本发明专利技术的传送路径规划方法更符合半导体厂的实际需求，可以用于精确预估自动物料搬运系统所需的天车数量；同时可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。善规划效率。善规划效率。

【技术实现步骤摘要】
传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统


[0001]本申请涉及半导体
，特别是涉及一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。

技术介绍

[0002]在半导体新厂建制初期，需要对自动物料搬运系统(AMHS，Automatic Material Handling System)做一个整体的规划与设计，尤其是需要对自动物料搬运系统中的天车的传送路径进行合理规划。当前的做法主要是以工艺制程节点为传送节点，依靠工程师根据经验手动规划或基于邻接矩阵进行规划；但上述方法存在与半导体厂实际需求不符，无法精确预估自动物料搬运系统所需的天车数量，且使用邻接矩阵会导致消耗大量内存，影响规划效率的问题。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对现有技术中存在的与半导体厂实际需求不符，无法精确预估自动物料搬运系统所需的天车数量，且使用邻接矩阵会导致消耗大量内存，影响规划效率等问题提供一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。
[0004]为了实现上述目的，第一方面，本专利技术提供了一种传送路径规划方法，包括：
[0005]将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
[0006]基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成路径信息集，所述路径信息集包括优先队列；
[0007]基于所述路径信息集选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
[0008]在其中一个实施例中，所述优先队列为小根堆结构的优先队列。
[0009]在其中一个实施例中，基于所述路径信息集选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径包括：
[0010]基于所述路径信息集，遍历所有具有连接关系的所述轨道单元，以得到所述天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；
[0011]自多条所述传送路径中，选取所有所述轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为所述最佳传送路径。
[0012]第二方面，本专利技术还提供一种传送路径规划系统，包括：
[0013]划分获取模块，用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
[0014]路径信息集生成模块，与所述划分获取模块相连接，用于基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成路径信息集，所述路径信息集包括优先队列；
[0015]规划模块，与所述路径信息集生成模块相连接，用于基于所述路径信息集选择所
述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
[0016]在其中一个实施例中，所述优先队列为小根堆结构的优先队列。
[0017]在第三方面，本专利技术还提供一种天车传送方法，包括：
[0018]采用如第一方面中所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
[0019]控制所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台。
[0020]在第四方面，本专利技术还提供一种天车传送系统，包括：
[0021]传送轨道；
[0022]如第二方面中所述的传送路径规划系统；
[0023]控制单元，与所述传送路径规划系统相连接，且与所述天车相连接，用于控制所述天车沿所述最佳传送路径由所述起始机台传送至所述目标机台。
[0024]第五方面，本专利技术还提供一种天车需求量的评估方法，包括：
[0025]采用如第一方面中所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
[0026]获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
[0027]基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
[0028]获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
[0029]基于所述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
[0030]在其中一个实施例中，基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量的公式为：
[0031][0032]其中，V
PH
为所述天车每小时的搬运量，CT为所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间，α为第一安全系数。
[0033]在其中一个实施例中，获取所述传送轨道的单位时间搬送量的公式为：
[0034][0035]其中，M
PH
为所述传送轨道每小时的搬送量，A为所述传送轨道一个月的产能，F为一个制程工序需要所述天车搬运晶圆盒的次数，Rate表示抽检比例，β为第二安全系数。
[0036]第六方面，本专利技术还提供一种天车需求量的评估系统，包括：
[0037]如第二方面中所述的传送路径规划系统；
[0038]第一处理模块，与所述传送路径规划系统相连接，用于获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
[0039]第二处理模块，与所述第一处理模块相连接，用于基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
[0040]第三处理模块，用于获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
[0041]评估模块，与所述第二处理模块相连接，且所述第三处理模块相连接，用于基于所
述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
[0042]上述的传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统中，由于机台是与传送轨道单元对应绑定，通过将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，并获取各轨道单元的传送参数，使得本申请的传送路径规划方法更符合半导体厂的实际需求，可以用于精确预估自动物料搬运系统所需的天车数量；又本专利技术的传送路径规划方法中，先基于轨道单元和各轨道单元的传送参数生成优先队列构成的路径信息集，再基于路径信息集选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，在规划过程中，可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。
附图说明
[0043]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0044]图1为一种传送轨道规划方法中不同节点之间的传送示意图；
[0045]图2为本专利技术一实施例中提供的传送路径规划方法的流程图；
[0046]图3为本专利技术提供的传送路径规划方法中不同轨道单元之间的传送示意图；
[0047]图4为本专利技术提供的传送路径规划方法中基于图3的传送示意图的邻接链表；
[0048]图5为本专利技术提供的传送路径规划方法中以轨道单元D2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传送路径规划方法，其特征在于，包括：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成路径信息集，所述路径信息集包括优先队列；基于所述路径信息集选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。2.根据权利要求1所述的传送路径规划方法，其特征在于，所述优先队列为小根堆结构的优先队列。3.根据权利要求1或2所述的传送路径规划方法，其特征在于，基于所述路径信息集选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径包括：基于所述路径信息集，遍历所有具有连接关系的所述轨道单元，以得到所述天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；自多条所述传送路径中，选取所有所述轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为所述最佳传送路径。4.一种传送路径规划系统，其特征在于，包括：划分获取模块，用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；路径信息集生成模块，与所述划分获取模块相连接，用于基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成路径信息集，所述路径信息集包括优先队列；规划模块，与所述路径信息集生成模块相连接，用于基于所述路径信息集选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。5.根据权利要求4所述的传送路径规划系统，其特征在于，所述优先队列为小根堆结构的优先队列。6.一种天车传送方法，其特征在于，包括：采用如权利要求1至3中任一项所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；控制所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台。7.一种天车传送系统，其特征在于，包括：传送轨道；如权利要求4或5所述的传送路径规划系统；控制单元，与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：严倩倩，曹齐清，汪杰，徐东东，蔡栋煌，
申请(专利权)人：合肥新晶集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：