一种巨量转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种巨量转移装置，其中，包括用于发射激光光束的激光发射器，以及沿所述激光光束的光路依次设置的光路组件，用于固定暂存基板的上载台和用于承载显示背板的下载台，所述上载台包括控制部件和第一载台主体，所述暂存基板固定在所述第一载台主体上，所述控制部件用于调整所述第一载台主体，以使所述第一载台主体与所述下载台平行。在巨量转移过程中通过控制部件移动第一载台主体，使暂存基板对准显示背板，而且使暂存基板所在的平面平行于显示背板所在的下载台的平面，从而便于提高对位准确度，提高转移良率，加快巨量转移速度。量转移速度。量转移速度。

A massive transfer device

【技术实现步骤摘要】
一种巨量转移装置


[0001]本技术涉及半导体显示
，特别是涉及一种巨量转移装置。

技术介绍

[0002]目前，随着半导体显示技术的发展，Mini LED芯片和Micro LED芯片逐渐代替传统的发光二极管(light
‑
emitting diode，简称LED)芯片，具有更广泛的应用市场，通过在显示背板上组装尺寸小、数量庞大的芯片，有利于提高显示设备的显示性能，给人们代来更好的视觉体验。在生产制造过程中，常需要使用巨量转移的方式将大量的Micro LED芯片从生长基板上转移至显示背板上，为了降低成本、简化工艺步骤、加快Micro LED显示产品的发展，目前巨量转移过程中逐渐使用速度快、精度高和成本低的激光转移方式代替印章式巨量转移。
[0003]但是，现有的激光转移技术都是将生长基板和显示背板都设置在光路中，通过激光光束进行剥离和转移，生长基板的位置固定，与显示背板对位的时候无法调平，需要反复调整，导致巨量转移良率受到影响，产生转移速度慢的问题。
[0004]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0005]鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种巨量转移装置，旨在解决现有的巨量转移过程中生长基板的对位调整的时间长，导致巨量转移速度慢的问题。
[0006]本技术的技术方案如下：
[0007]一种巨量转移装置，其中，包括用于发射激光光束的激光发射器，以及沿所述激光光束的光路依次设置的光路组件，用于固定暂存基板的上载台和用于承载显示背板的下载台，所述上载台包括控制部件和第一载台主体，所述暂存基板固定在所述第一载台主体上，所述控制部件用于调整所述第一载台主体，以使所述第一载台主体与所述下载台平行。
[0008]所述的巨量转移装置，其中，所述上载台还包括对位相机，所述对位相机设于所述第一载台主体背离所述下载台的一侧，用于采集所述暂存基板上的标记图像和所显示背板上的标记图像。
[0009]所述的巨量转移装置，其中，所述第一载台主体上设有镂空孔，用于透过激光；并且，所述第一载台主体上围绕所述镂空孔设有第一吸附区，用于吸附固定所述暂存基板。
[0010]所述的巨量转移装置，其中，所述下载台包括第二载台主体和测距模块，所述第二载台主体与所述第一载台主体相对设置，用于承载所述显示背板；所述测距模块设于所述第二载台主体的边缘位置，用于测量所述第一载台主体与所述第二载台主体之间的间距。
[0011]所述的巨量转移装置，其中，所述第二载台主体的形状为多边形；所述测距模块设有至少三个；并且，至少三个所述测距模块沿所述第二载台主体的边缘折线形排布。
[0012]所述的巨量转移装置，其中，所述第二载台主体上设有第二吸附区，所述第二吸附区的位置与所述暂存基板沿光路在所述第二载台主体上投影的位置重叠。
[0013]所述的巨量转移装置，其中，所述下载台还包括加热件，所述加热件设于所述第二载台主体内，用于加热所述显示背板。
[0014]所述的巨量转移装置，其中，所述光路组件包括半反射透镜，所述半反射透镜用于将一束所述激光光束分为两束转移光束。
[0015]所述的巨量转移装置，其中，所述光路组件还包括两组沿所述转移光束的光路设置的半波片、偏振片和聚焦透镜。
[0016]所述的巨量转移装置，其中，所述光路组件还包括束流收集器，所述束流收集器设于所述偏振片的出光光路上，用于收集偏振光。
[0017]与现有技术相比，本技术实施例具有以下优点：
[0018]本技术公开的巨量转移装置通过激光发射器产生激光光束，并沿着激光光束的光路设置光路组件，将激光光束的强度、传播方向进行调整，再导向上载台和下载台，将巨量转移的暂存基板和显示背板分别安装在上载台和下载台上，上载台调整位置，将暂存基板沿着激光光路对准显示背板，然后移动上载台靠近下载台，使暂存基板上的Micro LED芯片贴合显示背板上的安装位置，并通过激光进行剥离，从而完成精准、快速的芯片转移过程；特别的是，通过控制部件控制第一载台主体，调整第一载台主体的水平位置和竖直位置，预先将上载台与下载台对位，使上载台向下移动后暂存基板与显示背板准确对位，从而可以保证转移良率的同时，快速进行芯片转移，加快巨量转移工艺的速度。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术中巨量转移装置的结构示意图；
[0021]图2为本技术中上载台的俯视图；
[0022]图3为本技术中下载台的俯视图。
[0023]其中，100、激光发射器；200、光路组件；210、半反射透镜；220、半波片；230、偏振片；240、聚焦透镜；250、束流收集器；260、透镜；270、全反射棱镜；300、上载台；310、第一载台主体；311、镂空孔；312、第一吸附区；320、对位相机；400、下载台；410、第二载台主体；411、第二吸附区；420、测距模块；430、加热件；500、暂存基板；600、显示背板。
具体实施方式
[0024]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参阅图1和图2，本技术申请的一实施例中，公开了一种巨量转移装置，其中，包括用于发射激光光束的激光发射器100(Laser Head)，以及沿所述激光光束的光路依次
设置的光路组件200，用于固定暂存基板500的上载台300和用于承载显示背板600的下载台400，所述上载台300包括控制部件(附图中未示出)和第一载台主体310，所述暂存基板500固定在所述第一载台主体310上，所述控制部件用于调整所述第一载台主体310，以使所述第一载台主体310与所述下载台400平行。
[0026]本实施例公开的巨量转移装置通过激光发射器100产生激光光束，并沿着激光光束的光路设置光路组件200，将激光光束的强度、传播方向进行调整，再导向上载台300和下载台400，将巨量转移的暂存基板500和显示背板600分别安装在上载台300和下载台400上，上载台300调整位置，将暂存基板500沿着激光光路对准显示背板600，然后移动上载台300靠近下载台400，使暂存基板500上的Micro LED芯片贴合显示背板600上的安装位置，并通过激光进行剥离，从而完成精准、快速的芯片转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括用于发射激光光束的激光发射器，以及沿所述激光光束的光路依次设置的光路组件，用于固定暂存基板的上载台和用于承载显示背板的下载台，所述上载台包括控制部件和第一载台主体，所述暂存基板固定在所述第一载台主体上，所述控制部件用于调整所述第一载台主体，以使所述第一载台主体与所述下载台平行。2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述上载台还包括对位相机，所述对位相机设于所述第一载台主体背离所述下载台的一侧，用于采集所述暂存基板上的标记图像和所述显示背板上的标记图像。3.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一载台主体上设有镂空孔，用于透过激光；并且，所述第一载台主体上围绕所述镂空孔设有第一吸附区，用于吸附固定所述暂存基板。4.根据权利要求1至3任意一项所述的巨量转移装置，其特征在于，所述下载台包括：第二载台主体，与所述第一载台主体相对设置，用于承载所述显示背板；以及测距模块，设于所述第二载台主体的边缘位置，用于测量所述第一载台主体与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，萧俊龙，林浩翔，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：