【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气体处理，尤其涉及一种尾气处理装置和尾气处理方法。
技术介绍
1、在半导体工业生产中，例如用于生产micro led的aix g5设备在生产micro led的过程中会产生大量的含h2、nh3、砷化物、磷化物等有害物质的尾气，当生产工发生调整时还会产生更多种类的废气，例如在aix g5的基础上增加氯气清洗功能，会在废气中引入氯气，目前的尾气处理装置只能根据设备现在的生产工艺所产生的尾气种类设置对应的尾气处理设备，当生产工艺改变导致废气中引入了新的废气时有需要根据情况再次配置对应的尾气处理设备，这导致生产工艺改变产生的成本大大增加，因此，如何提供一种能够根据需要处理多种尾气的尾气处理设备是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种尾气处理装置和尾气处理方法，旨在解决目前的尾气处理装置只能处理特定几类尾气的问题。
2、一种尾气处理装置，包括：
3、水洗腔，所述水洗腔包括u形管道和第一喷淋装置，所述第一喷淋装置的喷淋头伸入到所述u形管道中，被配置为向所述u形管道中喷淋预配置溶液来吸收一级尾气中的至少一种气体得到二级尾气；所述u形管道的u形开口朝上设置在所述水洗腔中，所述u形管道的进气口与尾气排气口连接，所述u形管道的排气口与所述燃烧腔的进气口连接，所述u形管道的底部设有排液口；
4、燃烧腔，所述燃烧腔包括燃烧室和排气管，所述燃烧室的顶部与所述u形管道的排气口连接，被配置为通过燃烧处理所述二级尾气得到三
5、上述尾气处理装置，包括了水洗腔和燃烧腔，一级尾气首先通过水洗腔的u形管道，在u形管道内与第一喷淋装置喷出的预配置溶液进行反应，吸收掉尾气中的部分气体得到二级尾气，二级尾气从水洗腔出来以后进入燃烧腔，二级尾气在燃烧腔的燃烧室中在进行燃烧得到三级尾气，最后将三级尾气通过排气管排出；通过同时设置水洗腔和燃烧腔，让尾气处理装置可以处理更多类型的尾气，增加了尾气处理装置可以处理的尾气种类。
6、可选地，在所述排液口的下方还设置有第一回收箱，所述第一回收箱通过第一循环装置与所述第一喷淋装置连接，所述第一循环装置被配置为将所述第一回收箱中的第一回收溶液引流到所述第一喷淋装置中进行循环利用。
7、上述尾气处理装置在排液口的下方还设置有第一回收箱，并且第一回收箱还通过第一循环装置与第一喷淋装置连接，通过设置第一回收箱可以回收预配置溶液吸收尾气中的气体后得到的第一回收溶液，由于一次反应无法将预配置溶液中的有效成分完全反应掉，因此设置第一循环装置将第一回收溶液进行循环利用，可以提高预配置溶液的利用效率。
8、可选地，还包括第二喷淋装置和第二循环装置；
9、所述第二喷淋装置包括第一喷淋头和第二喷淋头，所述第一喷淋头设置在所述燃烧室和所述第二回收箱之间的管道中，所述第二喷淋头设置在所述排气
10、所述第二循环装置分别与所述第二回收箱和所述第二喷淋装置连接，被配置为将所述第二回收箱中的第二回收溶液引流到所述第二喷淋装置中进行循环利用。
11、上述尾气处理装置在燃烧腔一侧设置第二喷淋装置，通过第二喷淋装置给燃烧后得到的三级尾气降温，同时还可以吸收掉三级尾气中的部分气体，进一步降低三级尾气中的污染物水平。
12、可选地，所述燃烧室的顶端还与所述尾气排气口连接；
13、所述u形管道的进气口与所述尾气排气口之间设有第一气动阀，所述燃烧腔与所述尾气排气口之间设有第二气动阀。
14、上述尾气处理装置让燃烧室的顶端与尾气排气口连接，关闭第一气动阀，开启第二气动阀，让一级尾气直接进入燃烧腔进行燃烧产生三级尾气，让不需要经过水洗腔处理的一级尾气可以直接进入燃烧腔进行处理，降低了一级尾气处理的成本，提高了尾气处理装置的配置灵活性。
15、基于同样的专利技术构思，本申请还提供一种尾气处理方法，包括：
16、开启第一气动阀，关闭第二气动阀，所述一级尾气通过所述尾气排气口和所述u形管道的进气口进入所述u形管道；所述第一气动阀设置在所述u形管道的进气口与所述尾气排气口之间，所述第二气动阀设置在所述燃烧腔与所述尾气排气口之间；
17、向所述u形管道中喷淋所述预配置溶液，所述预配置溶液与所述一级尾气反应得到所述二级尾气；
18、所述二级尾气通过所述u形管道中的排气口和所述燃烧腔的进气口进入所述燃烧室，所述二级尾气在所述燃烧室中燃烧产生三级尾气；
19、所述三级尾气通过所述排气管排出。
20、上述尾气处理方法应用在本申请提供的一种尾气处理装置中，一级尾气首先通过水洗腔的u形管道，在u形管道内与预配置溶液进行反应吸收掉至少一种气体得到二级尾气，二级尾气从水洗腔出来以后进入燃烧腔，二级尾气在燃烧腔的燃烧室中在进行燃烧得到三级尾气，最后将三级尾气通过排气管排出；通过同时设置水洗腔和燃烧腔，让尾气先进入水洗腔吸收尾气中的部分有害气体，在通过燃烧腔将尾气中剩余的有害气体通过燃烧消耗掉，提高了尾气处理的有效率，增加了可处理尾气的种类。
21、可选的，关闭所述第一气动阀，开启所述第二气动阀，所述一级尾气通过所述尾气排气口进入所述燃烧腔，所述一级尾气在所述燃烧室中燃烧产生所述三级尾气。
22、上述尾气处理方法，通过关闭第一气动阀，开启第二气动阀可以让一级尾气跳过水洗腔进行水洗处理，直接进入燃烧腔进行燃烧处理，提高了尾气处理的灵活性，同时也降低了尾气处理的成本。
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1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，在所述排液口的下方还设置有第一回收箱，所述第一回收箱通过第一循环装置与所述第一喷淋装置连接，所述第一循环装置被配置为将所述第一回收箱中的第一回收溶液引流到所述第一喷淋装置中进行循环利用。
3.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第一液体检测装置；
4.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧室的底部下方还连接有第二回收箱，所述三级尾气先进入所述第二回收箱再通过所述排气管排出。
5.如权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第二喷淋装置和第二循环装置；
6.如权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第二液体检测装置；
7.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括通气装置，所述通气装置从所述燃烧室的顶部接入，被配置为向所述燃烧室通入预配置气体，让所述预配置气体与所述二级尾气混合进行燃烧。
8.如权利要求7所述的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧腔还包括冷却装置，
9.如权利要求8所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括空气检测装置，所述空气检测装置被配置为检测所述排气管中的所述三级尾气是否达到排放标准，为否时调整所述冷却装置和所述通气装置的设置参数，从而改变所述三级尾气中的成分比例。
10.如权利要求1-9任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧室的顶端还与所述尾气排气口连接；
11.一种如权利要求1-10任一项所述的尾气处理装置的尾气处理方法，其特征在于，包括：
12.如权利要求11所述的尾气处理方法，其特征在于，还包括：关闭所述第一气动阀，开启所述第二气动阀，所述一级尾气通过所述尾气排气口进入所述燃烧腔，所述一级尾气在所述燃烧室中燃烧产生所述三级尾气。
...【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，在所述排液口的下方还设置有第一回收箱，所述第一回收箱通过第一循环装置与所述第一喷淋装置连接，所述第一循环装置被配置为将所述第一回收箱中的第一回收溶液引流到所述第一喷淋装置中进行循环利用。
3.如权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第一液体检测装置；
4.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧室的底部下方还连接有第二回收箱，所述三级尾气先进入所述第二回收箱再通过所述排气管排出。
5.如权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第二喷淋装置和第二循环装置；
6.如权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括第二液体检测装置；
7.如权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括通气装置，所述通气装置从所述燃烧室的顶部接入，被配置为向所述燃烧室通入预配置气体...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彬，贺俊溢，杨金桥，吴桦，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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