一种高效防湍流抽真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，粗抽阀与真空泵通过第一管路连接，靠近腔体安装与粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将粗抽管和第一管路连通，每根细抽管上安装控制阀；其中，真空连成计用于监测腔体压力，细抽管直径小于粗抽管直径。使用高效防湍流抽真空系统时，先开启细抽管上的控制阀，通过直径较小的细抽管抽真空，防止在待抽真空的腔体中形成湍流，多根细抽管依次开启能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可使用粗抽管的临界值时，关闭控制阀，开启粗抽阀，采用粗抽管对腔体抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管进行抽真空，保证腔体的抽真空效率。的抽真空效率。的抽真空效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高效防湍流抽真空系统


[0001]本技术涉及抽真空系统，具体涉及一种能够高效率进行抽真空的装置，且使用该装置进行抽真空操作时能够防止湍流的产生。

技术介绍

[0002]传统工业用抽真空系统一般不设置细抽管或只设置一根细抽管。以晶体生长炉为例，如果没有细抽管，直接开启粗抽管的阀门时，由于炉腔内外压差过大，单位时间气体抽量大，炉腔内会瞬间形成气体湍流，冲击炉腔内部件，导致坩埚内原料或掺杂物质会被湍流带出坩埚，而炉腔内杂质却可能会被带入坩埚，破坏原有的工艺设计，影响晶体生长的质量，情况严重时还会损坏设备。
[0003]为了解决上述问题，在抽真空系统与炉腔之间安装一根细抽管，但会带来另外一个弊端：粗抽管道阀门的开启对腔体真空度要求的真空度高，以真空连成计为例，需要达到左右表示数均为
‑
102Kpa时，才能开启粗抽管道阀门，要达到这个真空度，一根细抽管的抽吸效率是很低的，尤其当需要生长大尺寸晶体时，炉膛的尺寸较大，细抽步骤完成的时间很长，这就降低了生产的时效性。此外，单一细抽管基本都需要手动开启/关闭阀门，增加了工作人员的操作量。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种高效防湍流抽真空系统，能够快速高效地完成容器抽真空的同时防止容器中产生湍流。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，所述粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，所述粗抽阀与所述真空泵通过第一管路连接，靠近所述腔体安装与所述粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将所述粗抽管和所述第一管路连通，每根所述细抽管上安装控制阀；其中，所述真空连成计用于监测所述腔体压力，所述细抽管直径小于所述粗抽管直径。
[0007]进一步，所有所述控制阀依次开启，与所述控制阀开启顺序对应的所述细抽管直径逐渐增大。
[0008]进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括连成计控制器，所述连成计控制器分别与所述真空连成计和所有所述控制阀电连接，其中，所述控制阀为真空电磁阀；所述连成计控制器用于根据所述真空连成计反馈的压力值控制所述控制阀开启或关闭。
[0009]进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括：高真空设备和高真空阀；所述粗抽阀为三通阀，所述三通阀的第一接口和第二接口分别与所述第一管路和所述粗抽管连接，所述三通阀第三接口与所述高真空设备通过第二管路连接，所述高真空设备与所述粗抽管通过高真空抽管连接，所述高真空抽管上安装所述高真空阀。
[0010]进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括过滤器，所述过滤器安装在所述细抽
管和所述第一管路连接端与所述真空泵之间。
[0011]本技术的高效防湍流抽真空系统，设置与粗抽管连通的若干细抽管，先开启细抽管上的控制阀，使用真空泵通过直径较小的细抽管抽吸待抽真空腔体中的气体，防止在腔体中形成湍流，设置的多根细抽管能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可采用粗抽管抽真空的临界值时，关闭细抽管上的控制阀，开启粗抽阀，采用粗抽管对腔体抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管进行抽真空，保证腔体的抽真空效率。
附图说明
[0012]图1为本技术示例提供的高效防湍流抽真空系统结构组成示意图；
[0013]图中：
[0014]1—真空机械泵；1
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1—排气口；2—粗抽阀；3—粗抽管；4—第一管路；5—真空连成计；6—第一细抽管；7—第二细抽管；8—第三细抽管；9—第一控制阀；10—第二控制阀；11—第三控制阀；12—连成计控制器；13—高真空设备；14—高真空阀；15二第二管路；16—高真空抽管；17—过滤器；18—腔体；18
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1—原料；18
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2—杂质颗粒；18
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3—盖板。
具体实施方式
[0015]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的方案，下面结合本技术示例中的附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的示例仅仅是本技术的一部分示例，而不是全部的示例。基于本技术中的示例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下，所获得的所有其他实施方式都应当属于本技术保护的范围。
[0016]在本技术的描述中，术语“粗抽管”是指原有抽真空系统中带有的较大直径的抽真空管，其能够提供足够的抽气量，以便快速使炉腔等待抽真空容器的腔体压力值达到预定的真空状态。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区别类似的对象，应该理解这样的使用在适当情况下可以互换。
[0017]传统的工业用抽真空系统，没有使用或者只设计了一根细抽管。直接使用粗抽管抽真空时会影响产品的生产工艺，即使不影响某些工业产品的生产工艺，腔体内气体湍流的出现也会对零部件产生冲击，在晶体生长炉中，腔体内的气体湍流会导致坩埚内原料（尤其是粉料）被气流带出，而杂质也很可能进入坩埚中污染原料。若只使用一根细抽管先抽腔体，可避免这种情况，但是效率低下。
[0018]为了解决上述问题，本实施方式提供了一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空机械泵1，粗抽阀2，粗抽阀2与待抽真空的腔体18通过粗抽管3连接，粗抽阀2与真空泵1通过第一管路4连接，靠近腔体18安装与粗抽管3连通的真空连成计5，若干细抽管将粗抽管3和第一管路4连通，每根细抽管上安装控制阀；其中，真空连成计5用于监测腔体18压力，细抽管直径小于粗抽管3直径。
[0019]第一管路4与细抽管采用波纹管连通，细抽管与直径较大的粗抽管3采用细钢管连通。
[0020]本示例的高效防湍流抽真空系统，设置与粗抽管3连通的若干细抽管，先开启细抽管上的控制阀，使用真空泵通过直径较小的细抽管抽真空，防止在待抽真空的腔体18中形
成湍流，设置的多根细抽管能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可采用粗抽管3抽真空的临界值时，关闭细抽管上的控制阀，开启粗抽阀2，采用粗抽管3对腔体18抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管3进行抽真空，保证腔体18的抽真空效率。
[0021]具体地，本实施方式以晶体生产炉的抽真空工艺为例介绍本示例的高效防湍流抽真空系统，参见图1，该系统设置3根细抽管，即第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8，在该3根细抽管上分别安装第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11，第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11分别用于控制第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8的开启。晶体生产炉的腔体18内设置原料18
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1，盖板18
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3及位于盖板18
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3上的杂质颗粒18
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2。图中的箭头方向为气流方向。
[0022]在本示例中，第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11依次开启，当真空泵1开启一段时间后，打开第一控制阀9，采用第一细抽管6抽取腔体18中的气体，当腔体18内气压达到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效防湍流抽真空系统，其特征在于，包括：真空泵，粗抽阀，所述粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，所述粗抽阀与所述真空泵通过第一管路连接，靠近所述腔体安装与所述粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将所述粗抽管和所述第一管路连通，每根所述细抽管上安装控制阀；其中，所述真空连成计用于监测所述腔体压力，所述细抽管直径小于所述粗抽管直径。2.根据权利要求1所述的高效防湍流抽真空系统，其特征在于，所有所述控制阀依次开启，与所述控制阀开启顺序对应的所述细抽管直径逐渐增大。3.根据权利要求1或2所述的高效防湍流抽真空系统，其特征在于，还包括连成计控制器，所述连成计控制器分别与所述真空连成...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景峰，
申请(专利权)人：四川奇峰景行光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：