一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法，涉及半导体技术领域。包括横杆、第一定位杆、第二定位杆以及承重组件，第一定位杆的一端和第二定位杆的一端分别与横杆连接，第一定位杆的另一端和第二定位杆的另一端用于在拆装主加热器时，与单晶炉热场的电极孔、主加热器的脚板孔配合，承重组件与横杆转动连接，用于在拆装主加热器时，与主加热器的发热区凹槽配合。该拆装装置能够避免工作人员在拆卸主加热器时过近地接触主加热器，提高了拆卸操作的安全性和拆卸效率，还能使主加热器的拆装过程更加平稳。且在安装主加热器时，该拆装装置还能保证主加热器的脚板孔与电极孔的对中性，从而提高安装效率。从而提高安装效率。从而提高安装效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法。

技术介绍

[0002]随着单晶制造行业的发展，单晶炉设备也在不断地迭代更新，尤其是单晶炉热场的尺寸在不断增加，使得单晶炉热场的拆装变得愈发困难。目前，单晶炉的其它热场部件已经能够很好的利用工装夹具进行拆装，但单晶炉热场的主加热器由于其构造特殊、性脆，行业内一直未有合适的拆装设备得以应用。
[0003]现有的单晶炉热场的主加热器拆卸方式为工作人员戴防高温手套，两人抬出，由于主加热器是高温状态，这使得拆卸操作的安全性较差且拆卸的效率较低。另外，在安装主加热器时，主加热器的脚板孔与电极孔的对中性也很难保证，严重降低了安装效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法，能够提高拆装单晶炉热场的主加热器的效率和安全性。
[0005]为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]第一方面，本专利技术提供一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置，包括横杆、第一定位杆、第二定位杆以及承重组件；
[0007]所述第一定位杆的一端和所述第二定位杆的一端分别与所述横杆连接，所述第一定位杆的另一端和所述第二定位杆的另一端，用于在拆装所述主加热器时，与所述单晶炉热场的电极孔和所述主加热器的脚板孔配合；
[0008]所述承重组件与所述横杆转动连接，用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽配合。r/>[0009]在一种可能的实现方式中，所述承重组件包括第一承重杆和第二承重杆，所述第一承重杆和所述第二承重杆均呈L形；
[0010]所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别与所述横杆转动连接，所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端均用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽配合。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部均设置有活动连接的防脱卡件，所述防脱卡件的在所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端配合至所述主加热器的发热区凹槽时位于发热区凹槽外侧，并可转换成横向状态。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述防脱卡件是挡块，所述挡块转动地安装在所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部，且在所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端配合至所述主加热器的发热区凹槽时旋转至横向状态，卡在发热
区凹槽外侧。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述挡块的一侧具有连接轴，所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部具有连接孔，所述连接轴可转动且在设置范围内轴向向外移动地安装在连接孔内，并套有复位弹簧，所述连接孔的底部设置有旋转定位槽，所述连接轴的端部设置成与旋转定位槽相匹配的旋转定位部，所述旋转定位部可分离地插接在旋转定位槽内。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述承重组件包括第一承重杆和第二承重杆；
[0015]所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别与所述横杆转动连接，所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端均设置有至少两个卡爪，所述卡爪用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽一一配合。
[0016]在一种可能的实现方式中，所述卡爪的端部均设置有活动连接的防脱卡件，所述防脱卡件在所述卡爪配合至所述主加热器的发热区凹槽时转换成横向，卡在发热区凹槽外侧。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述防脱卡件是挡块，所述挡块转动地安装在所述卡爪端部，且在所述卡爪配合至所述主加热器的发热区凹槽时旋转至横向状态，卡在发热区凹槽外侧。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述挡块的一侧具有连接轴，所述卡爪端部具有连接孔，所述连接轴可转动且在设置范围内轴向向外移动地安装在连接孔内，并套有复位弹簧，所述连接孔的底部设置有旋转定位槽，所述连接轴的端部设置成与旋转定位槽相匹配的旋转定位部，所述旋转定位部可分离地插接在旋转定位槽内。在一种可能的实现方式中，所述单晶炉热场的主加热器的拆装装置还包括旋转结构，所述旋转结构设置在第一定位杆的左侧和第二定位杆右侧的横杆上，所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别第一定位杆的左侧和第二定位杆右侧的旋转结构连接。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述旋转结构包括转轴座，所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端通过转轴分别转动连接在左侧和右侧的所述转轴座上。
[0020]在一种可能的实现方式中，所述横杆位于所述第一定位杆的左侧和第二定位杆的右侧均设有滑座，所述滑座可来回移动、锁定地安装在横杆上，并设置有所述转轴座。
[0021]在一种可能的实现方式中，所述横杆位于所述第一定位杆的左侧和第二定位杆的右侧表面均设置有滑槽，所述滑座的上端可来回移动的安装在滑槽内，且所述滑座上还设置有的锁定螺丝。
[0022]在一种可能的实现方式中，所述滑座具有带锁紧螺丝的锁紧夹圈，所述锁紧夹圈套在所述横杆上。
[0023]在一种可能的实现方式中，所述单晶炉热场的主加热器的拆装装置还包括旋转结构，所述旋转结构设置在第一定位杆的左侧和第二定位杆右侧的横杆上，所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别第一定位杆的左侧和第二定位杆右侧的旋转结构连接。
[0024]在一种可能的实现方式中，所述旋转结构包括设置于所述横杆上的多个通孔以及多个连接件；
[0025]多个所述连接件与多个所述通孔一一对应地摆动连接，所述第一承重杆的一端和
所述第二承重杆的一端可拆卸地连接在所述连接件上。
[0026]在一种可能的实现方式中，所述旋转结构包括设置于所述横杆上的多个通孔，所述第一定位杆的一端和所述第二定位杆的一端与所述通孔可拆卸地摆动连接。
[0027]在一种可能的实现方式中，所述单晶炉热场的主加热器的拆装装置还包括支撑杆；
[0028]所述支撑杆设置于所述第一定位杆和所述第二定位杆之间。在一种可能的实现方式中，所述单晶炉热场的主加热器的拆装装置的材质为不锈钢。
[0029]第二方面，本专利技术提供了一种单晶炉热场的主加热器的拆卸方法，包括：
[0030]将单晶炉热场的主加热器的拆装装置包括的第一定位杆的一端和第二定位杆的一端插入所述主加热器脚板孔和所述单晶炉热场的电极孔的配合孔中；
[0031]将所述拆装装置中的承重组件扣住所述主加热器的发热区的凹槽；
[0032]抬起所述拆装装置，使所述主加热器的发热区垂直升起，与单晶炉热场的电极板分离，完成拆卸。
[0033]第三方面，本专利技术提供了一种单晶炉热场的主加热器的安装方法，包括：
[0034]将单晶炉热场的主加热器的拆装装置包括的第一定位杆的一端、第二定位杆的一端插入所述主加热器的脚板孔中；
[0035]将所述拆装装置中的承重组件扣住所述主加热器的发热区的凹槽；
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，包括横杆、第一定位杆、第二定位杆以及承重组件；所述第一定位杆的一端和所述第二定位杆的一端分别与所述横杆连接，所述第一定位杆的另一端和所述第二定位杆的另一端，用于在拆装所述主加热器时，与所述单晶炉热场的电极孔和所述主加热器的脚板孔配合；所述承重组件与所述横杆转动连接，用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽配合。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述承重组件包括第一承重杆和第二承重杆，所述第一承重杆和所述第二承重杆均呈L形；所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别与所述横杆转动连接，所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端均用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽配合。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部均设置有活动连接的防脱卡件，所述防脱卡件的在所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端配合至所述主加热器的发热区凹槽时位于发热区凹槽外侧，并可转换成横向状态。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述防脱卡件是挡块，所述挡块转动地安装在所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部，且在所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端配合至所述主加热器的发热区凹槽时旋转至横向状态，卡在发热区凹槽外侧。5.根据权利要求4所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述挡块的一侧具有连接轴，所述第一承重杆的另一端端部和所述第二承重杆的另一端端部具有连接孔，所述连接轴可转动且在设置范围内轴向向外移动地安装在连接孔内，并套有复位弹簧，所述连接孔的底部设置有旋转定位槽，所述连接轴的端部设置成与旋转定位槽相匹配的旋转定位部，所述旋转定位部可分离地插接在旋转定位槽内。6.根据权利要求1所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述承重组件包括第一承重杆和第二承重杆；所述第一承重杆的一端和所述第二承重杆的一端分别与所述横杆转动连接，所述第一承重杆的另一端和所述第二承重杆的另一端均设置有至少两个卡爪，所述卡爪用于在拆装所述主加热器时，与所述主加热器的发热区凹槽一一配合。7.根据权利要求6所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述卡爪的端部均设置有活动连接的防脱卡件，所述防脱卡件在所述卡爪配合至所述主加热器的发热区凹槽时转换成横向，卡在发热区凹槽外侧。8.根据权利要求7所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述防脱卡件是挡块，所述挡块转动地安装在所述卡爪端部，且在所述卡爪配合至所述主加热器的发热区凹槽时旋转至横向状态，卡在发热区凹槽外侧。9.根据权利要求8所述的单晶炉热场的主加热器的拆装装置，其特征在于，所述挡块的一侧具有连接轴，所述卡爪端部具有连接孔，所述连接轴可转动且在设置范围内轴向向外移动地安装在连接孔内，并套有复位弹簧，所述连接孔的底部设置有旋转定位槽，所述连接
轴的端部设置成与旋转定位槽相匹配的旋转定位部，所述旋转定...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐志群，汪奇，孙彬，徐耀，乔乐，张振忠，
申请(专利权)人：青海高景太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：