一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于碳化硅晶体技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置。本发明专利技术通过坩埚主体，加热板，底座单元，放置板，旋转柱单元，以及夹持板单元起到了快速在加热装置和非加热装置之间移动制备碳化硅晶体坩埚的技术效果。本发明专利技术具有下列优点：通过夹持作用在加热和非加热装置之间移动坩埚，减少对设备的损坏以及方便在损坏后替换相应部件；通过一步按压操作对夹持用弹簧的解锁即可实现对坩埚的夹持作用；通过夹持装置与旋转柱配合，仅需一步旋转操作即可将坩埚移动到指定地点，快速且精准；旋转柱中设置了回弹机构使得在自然状态下夹持装置始终位于非加热装置上方，避免在坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。

A crucible device for silicon carbide preparation process

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置


[0001]本专利技术属于碳化硅晶体
，尤其涉及一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置。

技术介绍

[0002]碳化硅晶体是一种碳和硅形成的稳定的化合物，自然界中存在极少，主要通过人工合成制备，其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成，碳化硅晶体的禁带宽度为硅的2
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3倍，热导率约为硅的4.4倍，临界击穿电场约为硅的8倍，电子的饱和漂移速度为硅的2倍。碳化硅晶体的这些性能使其成为高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件的优选材料，通常采用物理气相沉积发制备碳化硅晶体，主要的过程是物理过程，没有发生化学反应，原料气体是碳化硅，生长得到的也是碳化硅，例如公开号为CN105734665A，公开日为2016
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06的中国专利技术专利公开了一种物理气相沉积制备碳化硅晶体的坩埚，包括坩埚本体和坩埚上盖，所述坩埚上盖位于坩埚本体的上端，所述坩埚本体内的底部竖直设有多块导热片，且导热片之间相互平行，所述坩埚本体的内侧壁上设有凸块，所述凸块的上端设有圆形挡板，所述圆形挡板的上侧设有多个空心柱，所述圆形挡板的下部空间通过通孔与空心柱的内腔连通，所述空心柱远离圆形挡板的一端为封闭结构，所述空心柱以圆形挡板的轴线呈圆周对称。
[0003]虽然该专利技术具有初步制备碳化硅晶体的优点；但是该专利技术还存在碳化硅加热温度不易调整的缺点。所以为了解决该问题，后来出现了可移动式碳化硅生长坩埚，例如公告号为CN207919020U，公告日为2018/>‑
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28的中国技术专利公开了一种种可移动的碳化硅生长坩埚平台，包括传送机构，坩埚生长装置以及控制器，其具有控制所述碳热还原反应室和所述碳化硅晶体生长室内温度的优点，但是在实际操作中采用传送带传输机构移动缓慢，结构复杂且容易被过热的坩埚损坏传送带装置。
[0004]所以综上所述，目前急需一种可以在加热过程结束后方便移动过热坩埚的碳化硅晶体制备装置。

技术实现思路

[0005]本专利技术目的是提供一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，本专利技术通过包括坩埚主体，安装在所述坩埚主体底部的加热板，用于安装所述加热板的底座单元，设置在所述底座单元上的放置板，设置在所述底座单元上的旋转柱单元，以及设置在所述旋转柱单元上并用于夹持所述坩埚主体的夹持板单元起到了快速在加热装置和非加热装置之间移动制备碳化硅晶体坩埚的技术效果。
[0006]本专利技术解决上述问题采用的技术方案是：一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，包括坩埚主体，安装在所述坩埚主体底部的加热板，用于安装所述加热板的底座单元，设置在所述底座单元上的放置板，设置在所述底座单元上的旋转柱单元，以及设置在所述旋转柱单元上并用于夹持所述坩埚主体的夹持板单元。
[0007]进一步优选的技术方案在于：所述夹持板单元包括设置在所述旋转柱单元上的悬臂，设置在所述悬臂上的滑动槽，设置在所述滑动槽中的活动夹持板，以及设置在所述悬臂上且用于配合所述活动夹持板夹持所述坩埚主体的固定夹持板。
[0008]进一步优选的技术方案在于：所述夹持板单元还包括设置在所述活动夹持板上的滑动孔，设置在所述滑动槽内侧面上并用于插入所述滑动孔的滑动杆，以及套接在所述滑动杆上并用于顶起所述活动夹持板侧面的滑动杆弹簧。
[0009]进一步优选的技术方案在于：所述旋转柱单元包括设置在所述底座单元上并用于安装所述悬臂的旋转柱，设置在所述旋转柱上的旋转柱空腔，设置在所述旋转柱上的旋转块，设置在所述旋转块上的按动柱孔，设置在所述旋转柱上并用于连通所述按动柱孔和所述旋转柱空腔的第一连接柱孔，插入在所述按动柱孔中的按动柱，设置在所述按动柱上并用于插入所述第一连接柱孔的第一连接柱；所述夹持板单元还包括设置在所述悬臂和所述旋转柱上并用于连通所述滑动槽和所述旋转柱空腔的第二连接柱孔，以及设置在所述活动夹持板侧面上并用于插入所述第二连接柱孔的第二连接柱；所述旋转柱单元还包括设置在所述第一连接柱上并用于连接所述第二连接柱的连接绳，以及设置在所述旋转柱空腔内侧面上并用于顶起所述连接绳的转向柱。
[0010]进一步优选的技术方案在于：所述旋转柱单元还包括套接在所述第一连接柱上并用于顶起所述按动柱的按动柱弹簧，设置在所述按动柱侧面上的按动柱槽，以及设置在所述按动柱孔内侧面上并用于插入所述按动柱槽的按动柱限位块。
[0011]进一步优选的技术方案在于：所述旋转柱单元还包括设置在所述旋转柱上的旋转连接柱；所述底座单元包括底座，设置在所述底座上的底座柱，以及设置在所述底座柱上并用于安装所述旋转连接柱的旋转柱槽。
[0012]进一步优选的技术方案在于：所述底座单元还包括设置在所述旋转柱槽内侧面上的弧形槽；所述旋转柱单元还包括设置在所述旋转连接柱侧面上并用于插入所述弧形槽的弧形块。
[0013]进一步优选的技术方案在于：所述底座单元还包括设置在所述弧形槽内侧面上并用于连接所述弧形块的弹力绳。
[0014]进一步优选的技术方案在于：所述夹持板单元还包括设置在所述活动夹持板和固定夹持板上的隔热垫片。
[0015]进一步优选的技术方案在于：所述旋转柱单元还包括设置在所述旋转块外侧面上的指尖槽。
[0016]本专利技术具有以下优点：第一，通过夹持作用在加热和非加热装置之间移动坩埚，减少与过热坩埚之间接触面积，减少对设备的损坏以及方便在损坏后替换相应部件。
[0017]第二，通过一步按压操作对夹持用弹簧的解锁即可实现对坩埚的夹持作用。
[0018]第三，通过夹持装置与旋转柱配合，仅需一步旋转操作即可将坩埚移动到指定地点，快速且精准。
[0019]第四，旋转柱中设置了回弹机构使得在自然状态下夹持装置始终位于非加热装置上方，避免在坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。
附图说明
[0020]图1为本专利技术中夹持装置整体以及夹持坩埚位于加热装置上的结构示意图。
[0021]图2为本专利技术中夹持装置整体以及夹持坩埚位于非加热装置上的结构示意图。
[0022]图3为本专利技术中旋转柱单元与夹持板单元连接方式以及内部连接关系的结构示意图。
[0023]图4为本专利技术中夹持板单元的结构示意图。
[0024]图5为本专利技术中旋转柱单元与夹持板单元连接方式以及内部连接关系的结构示意图。
[0025]图6为本专利技术中弧形槽安装位置以及弹力绳处于非拉伸状态下的结构示意图。
[0026]图7为本专利技术中弧形槽安装位置以及弹力绳处于拉伸状态下的结构示意图。
[0027]附图中，各标号所代表的部件如下：坩埚主体11，加热板12，放置板13，底座单元1，旋转柱单元2，夹持板单元3，底座101，底座柱102，旋转柱槽103，弧形槽104，弹力绳105，旋转柱201，旋转柱空腔202，旋转块203，按动柱孔204，第一连接柱孔205，按动柱206，第一连接柱207，连接绳208，转向柱209，按动柱弹簧210，按动柱槽211本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，其特征在于，包括坩埚主体（11），安装在所述坩埚主体（11）底部的加热板（12），用于安装所述加热板（12）的底座单元（1），设置在所述底座单元（1）上的放置板（13），设置在所述底座单元（1）上的旋转柱单元（2），以及设置在所述旋转柱单元（2）上并用于夹持所述坩埚主体（11）的夹持板单元（3）。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，其特征在于，所述夹持板单元（3）包括设置在所述旋转柱单元（2）上的悬臂（301），设置在所述悬臂（301）上的滑动槽（302），设置在所述滑动槽（302）中的活动夹持板（303），以及设置在所述悬臂（301）上且用于配合所述活动夹持板（303）夹持所述坩埚主体（11）的固定夹持板（304）。3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，其特征在于，所述夹持板单元（3）还包括设置在所述活动夹持板（303）上的滑动孔（305），设置在所述滑动槽（302）内侧面上并用于插入所述滑动孔（305）的滑动杆（306），以及套接在所述滑动杆（306）上并用于顶起所述活动夹持板（303）侧面的滑动杆弹簧（307）。4.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置，其特征在于，所述旋转柱单元（2）包括设置在所述底座单元（1）上并用于安装所述悬臂（301）的旋转柱（201），设置在所述旋转柱（201）上的旋转柱空腔（202），设置在所述旋转柱（201）上的旋转块（203），设置在所述旋转块（203）上的按动柱孔（204），设置在所述旋转柱（201）上并用于连通所述按动柱孔（204）和所述旋转柱空腔（202）的第一连接柱孔（205），插入在所述按动柱孔（204）中的按动柱（206），设置在所述按动柱（206）上并用于插入所述第一连接柱孔（205）的第一连接柱（207）；所述夹持板单元（3）还包括设置在所述悬臂（301）和所述旋转柱（201）上并用于连通所述滑动槽（302）和所述旋转柱空腔（202）的第二连接柱孔（308），以及设...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈晓宇，叶国伟，肯尼斯，
申请(专利权)人：浙江东尼电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：