下载一种高效防湍流抽真空系统的技术资料

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本实用新型公开了一种高效防湍流抽真空系统,包括:真空泵,粗抽阀,粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接,粗抽阀与真空泵通过第一管路连接,靠近腔体安装与粗抽管连通的真空连成计,若干细抽管将粗抽管和第一管路连通,每根细抽管上安装控制阀;其中,真空...
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