弹性边界波装置及其制造方法制造方法及图纸

一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板；设置在第一压电基板上的梳状电极；一第一电介质膜，该第一电介质膜具有覆盖这些梳状电极的平滑表面；一第二基板，该第二基板是基于硅的基板；一第二电介质膜，被设置在第二基板的主表面上。第一电介质表面的平滑表面和第二电介质膜的一表面连接在一起。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及，更具体地说，是涉及用于电视机、蜂窝电话或PHS(手提移动电话系统)上的滤波器或振荡器的。
技术介绍
传统上，已知的是，表面声波装置(在下文中被称作SAW装置)是利用弹性波的装置之一。SAW装置被用于诸如在45MHz至2GHz的频率范围内发送和接收无线信号之装置的各种电路中。上述各种电路的一些例子有用于传送和接收的带通滤波器、局部振荡滤波器、天线收发转换开关、IF滤波器和FM调制器。SAW装置利用弹性波，这种弹性波在固体表面和真空或气体之间的界面上传播，也就是说，SAW装置利用在固体表面上传播的弹性波。因此，要求一压电基板具有一自由表面，以便用作一传播介质。这不允许SAW装置被通常用来包装半导体装置的塑料模具所覆盖。为了获得这个自由表面，包装内部就必须具有一中空部分。然而，在包装中采用这种中空部部分会造成问题，该问题在于SAW装置相当昂贵并且相当庞大。比较起来，在近年来，已经研制出了边界波装置。边界波装置利用在固体之间的边界表面上传播的弹性波，例如在国际公开号为WO98/51011(在下文中被称作文件1)和1997年7月11日日本科学促进协会第150届弹性表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板，该第一压电基板具有激发弹性波的梳状电极，该梳状电极被布置在第一压电基板的一主表面上，一第一电介质膜，该第一电介质膜覆盖梳状电极并且具有一平滑表面；和一第二基板，在该第二基板的 一主表面上布置有一第二电介质膜，第一电介质膜的平滑表面和第二电介质膜连接在一起。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：三岛直之，三浦道雄，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]