表面声波器件制造技术

获得了有效的横向能量约束，以及同时具有插入损耗和形状因数的理想特性的表面声波滤波器。在所述表面声波滤波器中，一个梳状电极的多个电极指和另一个梳状电极的多个电极指相互交错插入，在汇流排的部分区域形成有比每组多个电极指都厚的厚膜，并且在每组多个电极指的顶端与相对的汇流排的端面之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的汇流排的端面之间的距离被设为不大于０．２λ，其中，λ是梳状电极的一个周期。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面声波器件，更具体来说，涉及具有低损耗和良好矩形性的滤波特性的表面声波器件。
技术介绍
表面声波滤波器是一种利用在基板上传播的表面声波的特性的表面声波器件，相对于介质滤波器或叠层LC滤波器，表面声波滤波器的特征为体积更小、重量更轻、滤波特性具有更好的形状因数。因为这些优点，表面声波滤波器现在被广泛用于蜂窝电话等。特别地，当将表面声波滤波器用于蜂窝电话等的射频(RF)部件时，为了在通带附近获得改进的接收灵敏度、减小的功耗和足够的噪声电平抑制，要求表面声波滤波器具有低损耗和良好的形状因数的特性。为满足这样的需求，已经提出了多种针对表面声波器件的技术，用以增强其用作表面声波滤波器时的特性。这些技术之一已被应用于交指型变换器(IDT)，该IDT具有一对梳状电极和两个梳状电极间相互交错的多个电极指，上述梳状电极和电极指形成在旋转的Y切割、X传播LiTaO3压电基板上。在这样一个IDT中，通过缩小构成所述梳状电极的所述多个电极指的尖端与连接该多个电极指的多个汇流排之间的间隙长度，就有可能抑制在上述间隙区域中产生的表面分离体波(surface skimmingbulk wave)(SSBW)。使用这种方法，可以获得在通过特性方面具有良好平坦度的滤波器(参看日本未审专利公开的官方公报No.2002-31436专利文献1)。在另一技术中，使用了一种压电基板，其在传播方向上具有小于-1的各向异性因数(γ)。通过确定L/S比率(即，构成IDT的梳状电极中的电极指的电极宽度L与相邻电极指之间的间距S的比率)，以及汇流排的膜厚，就可以有效地约束表面声波能量。因而可以获得损耗降低的改进滤波特性(参看日本未审专利公开的官方公报No.2002-100952专利文献2)。此外，本专利技术的专利技术人还提出了一项技术，通过指定电极膜厚度与表面声波波长之间的比率、和电极宽度与电极间距之间的比率具有特定的关系，从而同时获得了宽带宽和低损耗(参看日本未审专利公开的官方公报No.2002-176333专利文献3)。另外，在本申请人提交的日本专利申请No.2001-390707中，提出了一种用于获得具有良好形状因数的滤波器的技术。通过指定组成梯型滤波器的表面声波滤波器中电极宽度与电极间距的比率的特定关系，实现了具有良好形状因数的滤波器。这里，通过对在IDT中所产生的表面声波的横向(即，垂直于传播方向)上的波能量进行充分的约束，可以获得一种具有改进的损耗和形状因数性能的滤波器。下面的各个方面可被认为是对横向上的波能量进行如此约束的技术。在一方面中，对于使用在旋转的Y切割、X传播LiTaO3基板上所传播的泄漏表面声波(LSAW)的情况，利用汇流排与梳状电极之间的表面声波速度的差别，并且增加了汇流排的电极厚度，以便获取一降低的声波速度(参看专利文献2)。或者，在另一方面，提供了一个哑电极。(专利文献1)。当使用上述技术来约束在横向上传播的能量时，从某种意义来说，获得了改进的滤波器损耗。然而，根据本专利技术的专利技术人所作的测量和研究，声波能量集中在汇流排和梳状电极的尖端间隙。通过我们的测量，已经证实，这种集中的能量导致在滤波器中产生插入损耗。另外，作为另一方面，在前面提到的专利申请(日本专利申请No.2001-390707)中公开了一项技术。根据这项技术，在构成一梯型滤波器的串联支路谐振器中，将比率L/S(即，梳状电极的电极宽度与电极之间的距离的比率)设为约0.35，以提高梳状电极的声波速度。另外，设置一哑电极来约束能量，从而改进通带特性，尤其是在高频侧的通带特性。然而，即使在这项技术中，表面声波能量也仍集中在尖端间隙处。即使增加梳状电极的电极宽度对电极间距的比率L/S，并且同时使用哑电极，在多模滤波器中也将发生类似的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的一个目的就是要解决专利文献1和2中公开的技术以及本专利技术的专利技术人已经提出的技术中所存在的问题，并且提供一种具有低插入损耗和更好的形状因数的表面声波器件。作为本专利技术的用于解决上述问题的第一方面，一种表面声波器件包括一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和，至少一组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间。构成所述梳状电极组的每个梳状电极都包括多个电极指；和，一汇流排，共通地(in common)连接所述多个电极指。一个梳状电极的所述多个电极指与另外一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入。在汇流排的部分区域中形成有比每组多个电极指都厚的厚膜。并且，在每组多个电极指的顶端与相对的汇流排端面之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的汇流排端面之间的距离被设定得不大于0.2λ(此处，λ是梳状电极的一个周期)。作为本专利技术的用于解决上述问题的第二方面，一种表面声波器件包括一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和，至少一组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间。构成所述梳状电极组的每个梳状电极包括交替布置的多个电极指和多个哑电极；和，一汇流排，共通地连接所述多个电极指和所述多个哑电极。一个梳状电极的所述多个电极指和另外一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入，并且在每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间的距离被设定得不大于0.2λ(此处，λ是梳状电极的一个周期)。作为本专利技术的第三方面，一种表面声波器件包括一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和，三组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间。构成所述梳状电极组的每个梳状电极包括交替布置的多个电极指和多个哑电极；和，一汇流排，共通地连接所述多个电极指和所述多个哑电极。一个梳状电极的所述多个电极指和另外一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入，并且在每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间的距离被设定得不大于0.2λ(此处，λ是梳状电极的一个周期)。作为本专利技术的第四方面，一种表面声波器件包括连接成梯状的多个谐振器。每个谐振器包括一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和，至少一组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间。构成所述谐振器的梳状电极组的每个梳状电极都包括交替布置的多个电极指和多个哑电极；和，一汇流排，共通地连接所述多个电极指和所述多个哑电极。一个梳状电极的所述多个电极指和另外一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入，并且，在每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间的距离被设定得不大于0.2λ(此处，λ是梳状电极的一个周期)。作为本专利技术的第五方面，一种表面声波器件包括连接成格状的多个谐振器。每个谐振器包括一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和，至少一组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间。构成所述谐振器的梳状电极组的每个梳状电极包括交替布置的多个电极指和多个哑电极；和，一汇流排，共通地连接所述多个电极指和所述多个哑电极。一个梳状电极的所述多个电极指和另外一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入，并且，在每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间设有一尖端间隙，其中，每组多个电极指的顶端与相对的哑电极的顶端之间的距离被设定得不大于0.2λ(此处，λ本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面声波器件，包括：一对反射电极，形成在一单晶压电基板上；和至少一组梳状电极，形成在所述一对反射电极之间；构成所述梳状电极组的每个梳状电极都包括：多个电极指；和一汇流排，共通地连接所述多个电极指， 其中，一个梳状电极的所述多个电极指和另一个梳状电极的所述多个电极指相互交错插入，并且在汇流排的一部分区域中形成有比每组多个电极指都厚的厚膜，并且在每组多个电极指的顶端与相对的汇流排的端面之间设有一尖端间隙，其中，每组 多个电极指的顶端与相对的汇流排的端面之间的距离被设定为不大于０．２λ，这里，λ是梳状电极的一个周期。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：上田政则，川内治，井上将吾，堤润，松田隆志，佐藤良夫，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]