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一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板；设置在第一压电基板上的梳状电极；一第一电介质膜，该第一电介质膜具有覆盖这些梳状电极的平滑表面；一第二基板，该第二基板是基于硅的基板；一第二电介质膜，被设置在第二基板的主表面上。第一电介质表面的平滑表...
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