压电元件的制造方法技术

一种压电元件的制造方法，该方法在不对压电材料基板的共振特性产生不利影响的情况下，可形成具有较高平面度和平行度的压电材料基板。该方法包括：在增强板的表面上形成凹部的工序；通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部，将所述增强板和压电材料基板接合的工序。由此，按照规定强度将增强板和压电材料基板接合。另外，通过对借助所述粘接剂接合于增强板上的压电材料基板进行研磨，形成具有较高平行度和平面度的压电材料基板。另外，由于可通过有机溶剂等，将粘接剂层溶解，故可在不对压电材料基板施加物理力的情况下，剥离掉增强板。由此，有效地防止压电材料基板的共振特性发生变化。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电元件的制造方法，该方法包括：在增强板的表面上形成凹部的工序；通过将具有流动性的粘接剂导入所述增强板的凹部，将所述增强板和由压电材料制成的基板接合的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：杉园敦之，村上信治，
申请(专利权)人：住友特殊金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]