声表面波元件的制造方法和检查装置制造方法及图纸

一种检查装置，用于检查移动通信领域中用作高频滤波器的声表面波器件。该装置包含作为１次电子产生并投射电子束的电子枪（１）、将电子束汇聚在衬底（９）上的聚光镜（２）、检测由１次电子照射而从衬底（９）发射的２次电子的２次电子检测器（４）、支持衬底（９）的衬底支持件（５），以及进行接地并且能接触金属膜（７）的接地机构（６）。接地机构（６）包含能与金属膜（７）接触的接触部（１２）、一端装有接触部（１２）的臂部（４７）和装在臂部（４７）上与接触部（１２）相对的一端的旋转轴（４８）。衬底（９）具有双层结构，包括钽酸锂（ＬｉＴａＯ＃－［３］）制成的圆形压电衬底（８）和该衬底（８）上的铝金属膜（７）。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种声表面波元件制造方法，其特征在于，包括以下步骤：　　　　在压电衬底上形成金属膜的步骤、　　　　在所述金属膜上涂敷感光性树脂的步骤、　　　　对所述树脂进行曝光和显像而形成感光性树脂图案并使部分所述金属膜有选择地露出的步骤、　　　　将所述露出的金属膜作为接地用的窗使所述金属膜接地的步骤、　　　　在所述金属膜接地的状态下将电子束照射到所述压电衬底上进行所述感光性树脂图案的形状测量的步骤、　　　　将所述感光性树脂图案作为掩模蚀刻所述金属膜并形成金属图案的步骤、和　　　　去除所述感光性树脂图案的步骤。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：高木利幸，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]