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一种检查装置，用于检查移动通信领域中用作高频滤波器的声表面波器件。该装置包含作为１次电子产生并投射电子束的电子枪（１）、将电子束汇聚在衬底（９）上的聚光镜（２）、检测由１次电子照射而从衬底（９）发射的２次电子的２次电子检测器（４）、支持衬底...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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