一种提高均一性的镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术属于镀膜领域，尤其是一种提高均一性的镀膜设备，针对现有的由于镀膜伞架的角度原因，部分基片的镀膜仍会厚度不一，这不利于镀膜的均一性的问题，现提出如下方案，其包括真空室，所述真空室的顶部内壁固定连接有安装座，安装座的底部固定连接有两个电动推杆和一个电机，两个所述电动推杆输出轴的一端固定连接有同一个推板，推板的底部开设有圆形槽，所述电机输出轴的一端固定连接有转动轴，且转动轴穿过推板，本实用新型专利技术中，可以对基片镀膜进行角度调节，提高了镀膜的均一性，可以避免设备长时间转动结构发生弯曲，提高了设备的稳定性，还可以对弧面板的转动角度进行限位，避免出现磨损情况。避免出现磨损情况。避免出现磨损情况。

A coating equipment for improving uniformity

【技术实现步骤摘要】
一种提高均一性的镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种提高均一性的镀膜设备。

技术介绍

[0002]镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜，目的是希望减少光的反射，增加透光率，抗紫外线并抑低耀光、鬼影，镀膜也可以延迟镜片老化、变色的时间，经常运用于相机镜头、近视、远视、老花镜等矫正眼镜上使用，镀膜领域中经常使用真空蒸发镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。
[0003]对于真空蒸发设备，通常在真空腔室内顶部设置一个镀膜伞架，通过对伞架的旋转对基片进行镀膜，但由于镀膜伞架的角度原因，部分基片的镀膜仍会厚度不一，这不利于镀膜的均一性，因此提出一种提高均一性的镀膜设备。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在由于镀膜伞架的角度原因，部分基片的镀膜仍会厚度不一，这不利于镀膜的均一性的缺点，而提出的一种提高均一性的镀膜设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室，所述真空室的顶部内壁固定连接有安装座，安装座的底部固定连接有两个电动推杆和一个电机，两个所述电动推杆输出轴的一端固定连接有同一个推板，推板的底部开设有圆形槽，所述电机输出轴的一端固定连接有转动轴，且转动轴穿过推板，所述转动轴的的圆周外壁固定有安装筒，且安装筒活动连接在圆形槽内，所述安装筒的圆周外壁固定连接有多个第一连接座，第一连接座内均活动连接有连接杆，连接杆的另一端均活动连接有第二连接座，第二连接座的底部均固定连接有弧面板，弧面板的圆周内壁均设有多个基片卡座，所述转动轴的底部固定连接有安装轴，安装轴的圆周外壁开设有多个安装槽，多个所述弧面板的一侧分别活动连接在多个安装槽内，所述安装筒和安装轴之间设有弹簧。
[0007]优选的，所述安装轴的圆周外壁固定连接有多个限位架，限位架的上表面均固定连接有限位板。
[0008]优选的，多个所述限位架的底部均固定连接有限位块。
[0009]优选的，所述安装轴的上表面固定连接有限位管，且弹簧位于限位管内，所述限位管的上表面固定连接有橡胶圈。
[0010]优选的，所述安装筒的圆周外壁固定连接有固定座，固定座的顶部开设有多个卡槽，且第一连接座均位于卡槽内。
[0011]优选的，所述弧面板的转动角度为0
°
～45
°
。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.通过连接杆、弧面板、电机和电动推杆的配合，电机不仅可以带动弧面板旋转，
而且可以通过连接杆拉动弧面板改变其倾斜角度，可以根据基片的材料和镀膜要求对弧面板的角度进行调节，以实现对基片镀膜均匀，提高了镀膜的均一性。
[0014]2.通过限位架、限位板的设置，可以对弧面板左右两侧进行一定的限位，避免弧面板在长时间转动后结构发生弯曲，在复位时与其余结构发生摩擦，提高了设备整体的稳定性。
[0015]3.通过限位管和橡胶圈的设置，当弧面板转动角度达到最大时可以对安装筒进行一定的限位，避免弧面板转动角度过大不利于对基片进行镀膜，同时避免出现转动角度过大造成结构磨损的情况。
[0016]本技术中，可以对基片镀膜进行角度调节，提高了镀膜的均一性，可以避免设备长时间转动结构发生弯曲，提高了设备的稳定性，还可以对弧面板的转动角度进行限位，避免出现磨损情况。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种提高均一性的镀膜设备的安装结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种提高均一性的镀膜设备的三维结构示意图；
[0019]图3为本技术提出的一种提高均一性的镀膜设备的剖视结构示意图。
[0020]图4为本技术提出的一种提高均一性的镀膜设备的A区域放大结构示意图。
[0021]图中：1、真空室；2、安装座；3、电机；4、电动推杆；5、转动轴；6、推板；7、安装筒；8、第一连接座；9、连接杆；10、第二连接座；11、弧面板；12、固定座；13、限位管；14、安装轴；15、限位架；16、限位板；17、限位块；18、弹簧；19、基片卡座；20、卡槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]实施例一
[0024]参照图1
‑
图4，一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室1，真空室1的顶部内壁通过螺栓固定有安装座2，安装座2的底部通过螺栓固定有两个电动推杆4和一个电机3，两个电动推杆4输出轴的一端通过螺栓固定有同一个推板6，推板6的底部开设有圆形槽，电机3输出轴的一端通过螺栓固定有转动轴5，且转动轴5穿过推板6，转动轴5的的圆周外壁固定有安装筒7，且安装筒7转动连接在圆形槽内，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有多个第一连接座8，第一连接座8内均转动连接有连接杆9，连接杆9的另一端均转动连接有第二连接座10，第二连接座10的底部均通过螺栓固定有弧面板11，弧面板11的圆周内壁均设有多个基片卡座19，转动轴5的底部通过螺栓固定有安装轴14，安装轴14的圆周外壁开设有多个安装槽，多个弧面板11的一侧分别转动连接在多个安装槽内，安装筒7和安装轴14之间设有弹簧18。
[0025]实施例二
[0026]参照图1
‑
图4，本技术提供一种新的技术方案：一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室1，真空室1的顶部内壁通过螺栓固定有安装座2，安装座2的底部通过螺栓固定
有两个电动推杆4和一个电机3，电机3可以带动镀膜设备旋转，为基片镀膜均匀提供保证，两个电动推杆4输出轴的一端通过螺栓固定有同一个推板6，推板6的底部开设有圆形槽，电机3输出轴的一端通过螺栓固定有转动轴5，且转动轴5穿过推板6，转动轴5的的圆周外壁固定有安装筒7，且安装筒7转动连接在圆形槽内，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有多个第一连接座8，安装筒7的圆周外壁通过螺栓固定有固定座12，固定座12的顶部开设有多个卡槽20，且第一连接座8均位于卡槽20内，固定座12可以对多个第一连接座8同时进行限位和保护，避免其长时间转动结构产生弯曲，第一连接座8内均转动连接有连接杆9，连接杆9的另一端均转动连接有第二连接座10，第二连接座10的底部均通过螺栓固定有弧面板11，弧面板11的转动角度为0
°
～45
°
，弧面板11的圆周内壁均设有多个基片卡座19，转动轴5的底部通过螺栓固定有安装轴14，安装轴14的圆周外壁通过螺栓固定有多个限位架15，限位架15的上表面均通过螺栓固定有限位板16，限位架15和限位板16可以对弧面板11左右两侧进行一定的限位，避免弧面板11在长时间转动后结构发生弯曲，在复位时与其余结构发生摩擦，多个限位架15的底部均通过螺栓固定有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高均一性的镀膜设备，包括真空室(1)，其特征在于，所述真空室(1)的顶部内壁固定连接有安装座(2)，安装座(2)的底部固定连接有两个电动推杆(4)和一个电机(3)，两个所述电动推杆(4)输出轴的一端固定连接有同一个推板(6)，推板(6)的底部开设有圆形槽，所述电机(3)输出轴的一端固定连接有转动轴(5)，且转动轴(5)穿过推板(6)，所述转动轴(5)的圆周外壁固定有安装筒(7)，且安装筒(7)活动连接在圆形槽内，所述安装筒(7)的圆周外壁固定连接有多个第一连接座(8)，第一连接座(8)内均活动连接有连接杆(9)，连接杆(9)的另一端均活动连接有第二连接座(10)，第二连接座(10)的底部均固定连接有弧面板(11)，弧面板(11)的圆周内壁均设有多个基片卡座(19)，所述转动轴(5)的底部固定连接有安装轴(14)，安装轴(14)的圆周外壁开设有多个安装槽，多个所述弧面板(11)的一侧分别活动连接在多个安装槽内，所述安装筒(7)和安装轴(14)之间设有弹簧(18)。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄湧楚，
申请(专利权)人：深圳市顺益丰实业有限公司，
类型：新型
国别省市：