一种可调节的纳米真空镀膜结构制造技术

技术编号:34025689 阅读:15 留言:0更新日期:2022-07-02 18:40
本实用新型专利技术公开了一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框,所述放置框底部的两侧均固定连接有支腿,所述支腿相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,所述放置框的顶部固定连接有真空箱,所述真空箱的右侧连通有连接管道,所述连接管道上设置有阀门,所述真空箱内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板,所述支撑板顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝,所述支撑板的底部设置有与加热丝配合使用的靶材,本实用新型专利技术在调节机构的辅助下,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座与放置座之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,同时提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。同时提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。同时提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。

An adjustable nano vacuum coating structure

【技术实现步骤摘要】
一种可调节的纳米真空镀膜结构


[0001]本技术涉及真空镀膜
,尤其涉及一种可调节的纳米真空镀膜结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,在纳米真空镀膜时,需要用到限位结构预先对需要镀膜的镀件进行限位,防止镀件在镀膜时掉落。
[0003]然而传统纳米真空镀膜设备的调节效果差,无法根据不同镀件的不同厚度来调节限位结构的限位高度,导致无法对不同厚度的镀件进行快速限位,易使镀件在局部镀膜时发生位移,从而影响局部镀膜效果,使用者需要更换另一规格的设备才能完成正常的镀膜工作,极大的提高了成本,所以我们提出了一种可调节的纳米真空镀膜结构,用于解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决传统纳米真空镀膜结构调节效果差的缺点,而提出的一种可调节的纳米真空镀膜结构。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框,所述放置框底部的两侧均固定连接有支腿,所述支腿相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,所述放置框的顶部固定连接有真空箱,所述真空箱的右侧连通有连接管道,所述连接管道上设置有阀门,所述真空箱内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板,所述支撑板顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝,所述支撑板的底部设置有与加热丝配合使用的靶材,所述真空箱内腔的两侧均固定连接有放置座,所述真空箱内设置有与放置座配合使用的调节机构。
[0007]优选地,所述调节机构包括两组安装座,两组所述安装座分别固定连接在真空箱内腔的两侧,所述安装座内转动连接有固定框,所述固定框底部内侧的正面和背面均固定连接有弧形齿板,所述弧形齿板远离固定框的一侧固定连接有按压座,所述真空箱内腔背面的两侧均通过密封轴承转动连接有连接轴,所述弧形齿板的外侧啮合有齿轮且齿轮的内圈固定连接在连接轴上,所述真空箱的背面固定连接有支撑座,所述支撑座顶部的两侧均固定连接有电机,所述连接轴的背面贯穿真空箱并与电机的输出端固定连接。
[0008]优选地,所述连接轴上沿前后方向转动连接有多组转动轴承,且转动轴承位于齿轮相互靠近的一侧,所述真空箱顶部的两侧沿前后方向固定连接有多组支撑柱,所述支撑柱的一端贯穿固定框并固定连接在转动轴承上。
[0009]优选地,所述固定框的正面和背面均固定连接有连接架,所述连接架远离固定框的一侧固定连接在弧形齿板上。
[0010]优选地,所述放置座顶部的内侧开设有防滑纹。
[0011]优选地,所述按压座呈圆柱形结构。
[0012]优选地,所述支撑座的两侧均开设有第一通风槽,所述支撑座的正面开设有固定槽,且固定槽的两侧均开设有第二通风槽。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0014]1、本技术中,通过设置调节机构,利用两组电机同时提供驱动源,并使两组电机同时反向转动,从而可带动两根连接轴反转,进而可使两组连接轴上对应的齿轮进行反转,同时齿轮可带动弧形齿板进行啮合移动,由于固定框是在安装座内转动的,可对弧形齿板进行拉扯限位,辅助弧形齿板平稳向下摆动,同时可带动按压座同步向下摆动,并根据不同厚度的镀件来自由调节按压座与放置座之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果;
[0015]2、本技术中,通过设置支撑柱和转动轴承,可对连接轴进行限位,提高了连接轴的稳定性,避免连接轴在旋转时过度晃动,易与弧形齿板脱离,影响调节机构的正常运行,同时转动轴承可辅助连接轴无阻碍转动。
[0016]本技术在调节机构的辅助下,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座与放置座之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,同时提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种可调节的纳米真空镀膜结构的结构示意图;
[0018]图2为本技术提出的真空箱的结构剖视图;
[0019]图3为本技术提出的真空箱的结构后视图;
[0020]图4为本技术提出的调节机构的结构局部立体图。
[0021]图中:1、放置框;2、支腿;3、真空箱;4、连接管道;5、支撑板;6、加热丝;7、靶材;8、放置座;9、支撑座;10、调节机构;101、安装座;102、固定框;103、弧形齿板;104、按压座;105、连接轴;106、齿轮;107、电机;11、连接架;12、支撑柱。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0023]实施例一
[0024]参照图1

4,一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框1,放置框1底部的两侧均固定连接有支腿2,支腿2相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,放置框1的顶部固定连接有真空箱3,真空箱3的右侧连通有连接管道4,连接管道4上设置有阀门,真空箱3内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板5,支撑板5顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝6,支撑板5的底部设置有与加热丝6配合使用的靶材7,真空箱3内腔的两侧均固定连接有放置座8,真空箱3内设置有与放置座8配合使用的调节机构10,调节机构10的设计,可根据不同厚度的镀件来自由调节按压座104与放置座8之间的距离,以便可对不同厚度的镀件进行快速限位,提高了镀件在镀膜时的稳定性,提高了纳米真空镀膜结构的调节效果。
[0025]实施例二
[0026]参照图1

4,本技术提供一种新的技术方案:一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框1,放置框1底部的两侧均固定连接有支腿2,支腿2相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,放置框1的顶部固定连接有真空箱3,真空箱3的右侧连通有连接管道4,连接管道4上设置有阀门,真空箱3内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板5,支撑板5顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝6,支撑板5的底部设置有与加热丝6配合使用的靶材7,真空箱3内腔的两侧均固定连接有放置座8,放置座8顶部的内侧开设有防滑纹,提高了镀件的稳定性,真空箱3内设置有与放置座8配合使用的调节机构10,调节机构10包括两组安装座101,两组安装座101分别固定连接在真空箱3内腔的两侧,安装座101内转动连接有固定框102,固定框102底部内侧的正面和背面均固定连接有弧形齿板103,弧形齿板103远离固定框102的一侧固定连接有按压座104,按压座104呈圆柱形结构,可使按压座104与镀件的接触面积一致,提高了按压效果,真空箱3内腔背面的两侧均通过密封轴承转动连接有连接轴105,弧形齿板103的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节的纳米真空镀膜结构,包括放置框(1),其特征在于,所述放置框(1)底部的两侧均固定连接有支腿(2),所述支腿(2)相互靠近的一侧沿前后方向固定连接有多组连接柱,所述放置框(1)的顶部固定连接有真空箱(3),所述真空箱(3)的右侧连通有连接管道(4),所述连接管道(4)上设置有阀门,所述真空箱(3)内腔底部的两侧均通过连接板固定连接有支撑板(5),所述支撑板(5)顶部的正面通过固定块固定连接有加热丝(6),所述支撑板(5)的底部设置有与加热丝(6)配合使用的靶材(7),所述真空箱(3)内腔的两侧均固定连接有放置座(8),所述真空箱(3)内设置有与放置座(8)配合使用的调节机构(10)。2.根据权利要求1所述的一种可调节的纳米真空镀膜结构,其特征在于,所述调节机构(10)包括两组安装座(101),两组所述安装座(101)分别固定连接在真空箱(3)内腔的两侧,所述安装座(101)内转动连接有固定框(102),所述固定框(102)底部内侧的正面和背面均固定连接有弧形齿板(103),所述弧形齿板(103)远离固定框(102)的一侧固定连接有按压座(104),所述真空箱(3)内腔背面的两侧均通过密封轴承转动连接有连接轴(105),所述弧形齿板(103)的外侧啮合有齿轮(106)且齿轮(106)的内圈固定连接在连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄湧楚
申请(专利权)人:深圳市顺益丰实业有限公司
类型:新型
国别省市:

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