下载一种提高均一性的镀膜设备的技术资料

文档序号:34022891

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本实用新型属于镀膜领域,尤其是一种提高均一性的镀膜设备,针对现有的由于镀膜伞架的角度原因,部分基片的镀膜仍会厚度不一,这不利于镀膜的均一性的问题,现提出如下方案,其包括真空室,所述真空室的顶部内壁固定连接有安装座,安装座的底部固定连接有两个...
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