喷砂机制造技术

本实用新型专利技术涉及喷砂机，由上至下依次设置有喷砂机构、传送机构、砂浆回收槽、集水槽，其中，所述的喷砂机构包括喷砂管道和连接在喷砂管道上的多个喷头，所述的喷头设置于传送机构的上方以及传送机构两侧的上方，所述的砂浆回收槽的槽口宽于传送机构的宽度，用以回收传送机构流下的砂浆，所述的集水槽的槽口宽于所述砂浆回收槽的槽口，用以收集砂浆回收槽的溢流，还包括砂浆槽，砂浆回收槽的槽底、集水槽的槽底通过管道与浆液槽连通，所述的砂浆管道与砂浆槽连通，砂浆管道上设置有砂浆泵。本实用新型专利技术的喷砂机能够向硅片表面喷射均匀的砂浆并且同时具有砂浆回收利用率高的优点。并且同时具有砂浆回收利用率高的优点。并且同时具有砂浆回收利用率高的优点。

Sand blasting machine

【技术实现步骤摘要】
喷砂机


[0001]本技术涉及喷砂机。

技术介绍

[0002]喷砂机是将二氧化硅砂浆喷到硅片表面的一种工艺设备。砂浆从喷嘴喷出后经过浆液回收槽回收后，回流到砂浆槽中再次循环喷出。为了防止砂浆喷入集水槽降低回收利用率，一般喷射砂浆的喷头仅设置在传送机构正上方，但是这种方式会造成硅片表面喷砂的均匀程度不够理想的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于同时解决硅片表面喷砂均匀程度不理想以及提高砂浆回收率的问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供一种喷砂机，由上至下依次设置有喷砂机构、传送机构、砂浆回收槽、集水槽，其中，
[0005]所述的喷砂机构包括喷砂管道和连接在喷砂管道上的多个喷头，所述的喷头设置于传送机构的上方以及传送机构两侧的上方，
[0006]所述的砂浆回收槽的槽口宽于传送机构的宽度，
[0007]所述的集水槽的槽口宽于所述砂浆回收槽的槽口以及所述多个喷头所覆盖的宽度，
[0008]还包括砂浆槽，砂浆回收槽的槽底、集水槽的槽底通过管道与浆液槽连通，所述的砂浆管道与砂浆槽连通，砂浆管道上设置有砂浆泵。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述的集水槽上设置有排污管道，排污管道上设置有阀门。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述的传送机构为传送带机构。
[0011]本技术的喷砂机能够向硅片表面喷射均匀的砂浆并且同时具有砂浆回收利用率高的优点。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图。
[0013]图中：111.传送带机构正上方的喷头，112.传送带机构两侧上方的喷头，120.喷砂管道，130.砂浆泵，200.传送带机构，300.砂浆回收槽，310.砂浆回收槽的槽口，320.第一回浆管道，400.集水槽，410.集水槽的槽口，420.第二回浆管道，430.排污管道，500.砂浆槽。
具体实施方式
[0014]在相关的实施例中，喷砂机的喷头喷出的砂浆无法覆盖到硅片的表面，从而导致硅片表面喷砂不均匀，而增加喷头数量容易造成砂浆回收率的下降。
[0015]有鉴于上述问题，本技术提供一种喷砂机的结构，由上至下依次设置有喷砂机构、传送机构、砂浆回收槽、集水槽，其中，所述的喷砂机构包括喷砂管道和连接在喷砂管道上的多个喷头，所述的喷头设置于传送机构的上方以及传送机构两侧的上方，所述的砂浆回收槽的槽口宽于传送机构的宽度，所述的集水槽的槽口宽于所述砂浆回收槽的槽口以及所述多个喷头所覆盖的宽度，还包括砂浆槽，砂浆回收槽的槽底、集水槽的槽底通过管道与浆液槽连通，所述的砂浆管道与砂浆槽连通，砂浆管道上设置有砂浆泵。上述喷砂机的结构喷头的覆盖范围显著提高，喷头喷射超出砂浆回收槽的范围，也可以被集水槽收集，同时少将回收槽溢流中所含的微量砂浆，一同落入集水槽，砂浆的沉积于集水槽和砂浆回收槽的底部，并由各自底部的管道回流至砂浆槽中，并由砂浆泵输送至碰头进行喷砂。这个过程同时满足了对于喷砂均匀程度的要求以及砂浆回收的要求。
[0016]以下结合一具体的喷砂机结构对于本技术进行说明，其结构可参考图1所示，喷砂机的上部为喷砂管道120和喷砂管道所连通的多个喷头(图中为传送带机构正上方的喷头111和传送带机构两侧上方的喷头112)，喷砂管道的一端与砂浆槽500连通，砂浆槽500用于储存用于喷砂的砂浆，喷砂管道120上设置有喷砂泵130，喷头的下方设置有一用于传送硅片w的传送带机构200，传送带机构中的传送待负载硅片运动至喷头的下方进行喷砂操作，喷头的分布如图所示，其中包括了设置于传送带机构200正上方的喷头111，和设置于传送带两侧上方的喷头112，这样，喷头就能够很好的覆盖硅片w，从而在硅片w表面喷射均匀的砂层。在传送带机构200的下方设置有砂浆回收槽300，该砂浆回收槽300的槽口310的宽度大于传送带机构200的宽度，砂浆回收槽300的下方设置有集水槽400，集水槽400的槽口410的宽度要宽于砂浆回收槽的槽口310的宽度以及所述多个喷头所覆盖的宽度，从喷头111喷出的砂浆部分喷射到硅片w表面，剩余的砂浆进入到砂浆回收槽300中进行沉降和收集，喷头112喷出的砂浆部分喷射到硅片w表面，剩余的砂浆进入到集水槽400中进行沉降和收集。砂浆回收槽300的底部与砂浆槽500之间通过第一回砂管道320连通，集水槽400的底部与砂浆槽500之间通过第二回砂管道420连通，集水槽的底部还上连通有一排污管430，第一回砂管道320、第二回砂管道420以及排污管430上均设置有阀门。
[0017]上述结构的喷砂机在进行喷砂操作时，开启喷砂泵130，砂浆从砂浆槽500中送至喷头111、112并喷出，传送带200带动硅片w运动并经过喷头的下方实现对硅片表面的喷砂处理，由于存在位于传送带正上方的喷头111和位于传送带两侧上方的喷头112，硅片表面由喷砂产生的砂层十分均匀，而多余的砂浆则落入砂浆回收槽300和集水槽400中，砂浆回收槽300中的溢流也同样落入集水槽400中，砂浆在砂浆回收槽300和集水槽400中沉积至底部，然后分别通过第一回浆管320和第二回浆管420回收至砂浆槽500中，以实现砂浆的回收利用。
[0018]本技术中的实施例仅用于对本技术进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本技术保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.喷砂机，其特征在于由上至下依次设置有喷砂机构、传送机构、砂浆回收槽、集水槽，其中，所述的喷砂机构包括喷砂管道和连接在喷砂管道上的多个喷头，所述的喷头设置于传送机构的上方以及传送机构两侧的上方，所述的砂浆回收槽的槽口宽于传送机构的宽度，所述的集水槽的槽口宽于所述砂浆回收槽的槽口以及所述多个喷头所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱峰，孙启伟，
申请(专利权)人：上海合晶硅材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：