一种旋转式吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种旋转式吸附装置，包括：滑环，其包括定子和转子，定子固定设置，滑环内设置有气管；回转工作台，其套设在滑环上；转子与回转工作台固接；吸附盘，其盖设在回转工作台上且与回转工作台固接；吸附盘包括有开设在其内部的气道以及开设于其上表面的气孔，气道与气孔连通；吸附盘、回转工作台和滑环合围形成空室；空室内设有第一气管接头和第二气管接头；第一气管接头设置在吸附盘的下表面且与气道连通；第二气管接头设置在转子上且与气管连通；第一气管接头与第二气管接头连通。本实用新型专利技术的旋转式吸附装置，气管接头设计合理，气管不会扭曲打结且不与周围干涉，能够360度旋转，而且结构简单又紧凑，易于拆装。易于拆装。易于拆装。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转式吸附装置


[0001]本技术涉及吸附装置
，特别地涉及了一种旋转式吸附装置。

技术介绍

[0002]在工业领域，吸附装置极为常见，尤其是在工业检测领域，吸附装置经常作为待检测物品的承载平台，吸附装置能够固定待测物品，保障工业检测的准确性。
[0003]例如，中国专利公告号为CN101261284A的专利技术申请公开了一种在晶圆测试时可以实现晶圆在纵向升降、并可在水平平面内转动的晶圆吸附及卸落装置，包括机架的纵向方向设置的管状内套顶端设置的晶圆吸盘装置，内套与升降装置与旋转装置相连，该晶圆吸盘装置包括在负压吸盘与隔热盘之间设置的加热器，在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气孔，在负压吸盘上设有负压气管接头，所述的负压气管接头与负压气孔连通，在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔，卸料孔内设有顶针以及顶针升降控制装置。
[0004]该现有技术可以有效降低测试成本，缩短晶圆测试的时间，在测试时可实现纵向升降、水平旋转。然而，该技术至少存在这些问题：(一)吸盘的气管接头设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转式吸附装置，其特征在于，包括：滑环，其包括定子和转子，所述定子固定设置，所述滑环内设置有气管；回转工作台，其套设在所述滑环上；所述转子与所述回转工作台固接；吸附盘，其盖设在所述回转工作台上且与所述回转工作台固接；所述吸附盘包括有开设在其内部的气道以及开设于其上表面的气孔，所述气道与所述气孔连通；所述吸附盘、回转工作台和滑环合围形成空室；所述空室内设有第一气管接头和第二气管接头；所述第一气管接头设置在所述吸附盘的下表面且与所述气道连通；所述第二气管接头设置在所述转子上且与所述气管连通；所述第一气管接头与所述第二气管接头连通。2.根据权利要求1所述的旋转式吸附装置，其特征在于，所述回转工作台包括：连接环，其套设在滑环上且分别与所述转子和所述吸附盘固接；驱动环，其套设在滑环上且与所述连接环固接。3.根据权利要求2所述的旋转式吸附装置，其特征在于，包括：转子连接座，其与所述转子固接且与所述连接环固接。4.根据权利要求3所述的旋转式吸附装置，其特征在于，包括：所述转子连接座套设在所述转子上。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：踪振华，李昊阳，王彦喆，
申请(专利权)人：熵智科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：