本实用新型专利技术公开了一种旋转式吸附装置，包括：滑环，其包括定子和转子，定子固定设置，滑环内设置有气管；回转工作台，其套设在滑环上；转子与回转工作台固接；吸附盘，其盖设在回转工作台上且与回转工作台固接；吸附盘包括有开设在其内部的气道以及开设于其上表面的气孔，气道与气孔连通；吸附盘、回转工作台和滑环合围形成空室；空室内设有第一气管接头和第二气管接头；第一气管接头设置在吸附盘的下表面且与气道连通；第二气管接头设置在转子上且与气管连通；第一气管接头与第二气管接头连通。本实用新型专利技术的旋转式吸附装置，气管接头设计合理，气管不会扭曲打结且不与周围干涉，能够360度旋转，而且结构简单又紧凑，易于拆装。易于拆装。易于拆装。
【技术实现步骤摘要】
一种旋转式吸附装置
[0001]本技术涉及吸附装置
，特别地涉及了一种旋转式吸附装置。
技术介绍
[0002]在工业领域，吸附装置极为常见，尤其是在工业检测领域，吸附装置经常作为待检测物品的承载平台，吸附装置能够固定待测物品，保障工业检测的准确性。
[0003]例如，中国专利公告号为CN101261284A的专利技术申请公开了一种在晶圆测试时可以实现晶圆在纵向升降、并可在水平平面内转动的晶圆吸附及卸落装置，包括机架的纵向方向设置的管状内套顶端设置的晶圆吸盘装置，内套与升降装置与旋转装置相连，该晶圆吸盘装置包括在负压吸盘与隔热盘之间设置的加热器，在负压吸盘上表面设有若干负压气槽，在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气孔，在负压吸盘上设有负压气管接头，所述的负压气管接头与负压气孔连通，在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔，卸料孔内设有顶针以及顶针升降控制装置。
[0004]该现有技术可以有效降低测试成本，缩短晶圆测试的时间，在测试时可实现纵向升降、水平旋转。然而，该技术至少存在这些问题：(一)吸盘的气管接头设置在吸盘的外侧，在吸盘旋转时，气管随着吸盘旋转，为避免气管与周围设备干涉，需要设计更大的操作台面空间；(二)吸盘在旋转时带动气管旋转摆动，气管可能扭曲打结，导致通气不畅；(三)旋转吸盘是通过摇杆连接来实现，一方面旋转角度有限，另一方面摇杆设置在吸盘外部，占用较多空间；(四)结构复杂，难以拆装。
技术实现思路
[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种旋转式吸附装置，气管接头设计合理，气管不会扭曲打结且不与周围干涉，能够360度旋转，而且结构简单又紧凑，易于拆装。
[0006]为了实现上述技术目的，本技术所采用的技术方案如下：
[0007]本技术提供一种旋转式吸附装置，包括：滑环，其包括定子和转子，所述定子固定设置，所述滑环内设置有气管；回转工作台，其套设在所述滑环上；所述转子与所述回转工作台固接；吸附盘，其盖设在所述回转工作台上且与所述回转工作台固接；所述吸附盘包括有开设在其内部的气道以及开设于其上表面的气孔，所述气道与所述气孔连通；所述吸附盘、回转工作台和滑环合围形成空室；所述空室内设有第一气管接头和第二气管接头；所述第一气管接头设置在所述吸附盘的下表面且与所述气道连通；所述第二气管接头设置在所述转子上且与所述气管连通；所述第一气管接头与所述第二气管接头连通。
[0008]在一些具体实施例中，所述回转工作台包括：连接环，其套设在滑环上且分别与所述转子和所述吸附盘固接；驱动环，其套设在滑环上且与所述连接环固接。
[0009]进一步地，所述回转工作台包括：转子连接座，其与所述转子固接且与所述连接环固接。
[0010]进一步地，所述转子连接座套设在所述转子上。
[0011]在一些具体的实施例中，该旋转式吸附装置还包括：安装板，其套设在所述滑环上；所述回转工作台安装在所述安装板上。
[0012]进一步地，该旋转式吸附装置还包括：定子固定座，其与所述安装板固接且套设在所述滑环上；所述定子固定座紧固所述定子。
[0013]进一步地，该旋转式吸附装置还包括：底板，其设置在所述安装板的下方且与所述安装板固接；所述滑环穿设在所述底板中。
[0014]在一些具体的实施例中，该旋转式吸附装置还包括：定位组件，其设置在所述吸附盘的边缘上。
[0015]进一步地，所述定位组件包括：固定板，其固接在所述吸附盘的边缘上；定位板，其沿所述吸附盘的径向可滑移地设置在所述固定板上。
[0016]进一步地，所述定位板包括：定位滑板，其沿所述吸附盘的径向可滑移地设置在所述固定板上；定位顶板，其沿所述吸附盘的径向可滑移地设置在所述固定板上；用于固定所述定位滑板的固定机构；所述定位顶板相对所述定位滑板更靠近所述吸附盘。
[0017]本技术的旋转式吸附装置相对于现有技术具备以下的有益技术效果：
[0018]所述回转工作台提供旋转驱动力，所述回转工作台可以360度转动，同时分别带动所述吸附盘和所述定子转动。所述第一气管接头和所述第二气管接头均设置在所述空室内，同时与所述第二气管接头连通的气管设置在所述滑环内部，当所述吸附盘旋转工作时，所述定子随着所述吸附盘同步转动，因此所述第一气管接头和所述第二气管接头也在所述空室内同步转动，连通所述第一气管接头和所述第二气管接头的气管不会扭曲打结，设置在所述滑环内的与所述第二气管连通的气管也不会与周围干涉。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例的一种旋转式吸附装置的爆炸结构示意图；
[0020]图2是本技术实施例的一种旋转式吸附装置的立体结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例的一种旋转式吸附装置的侧视结构示意图；
[0022]图4是本技术实施例的一种旋转式吸附装置的工作状态的立体结构示意图；
[0023]图5是本技术实施例的一种旋转式吸附装置的工作状态的剖面结构示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]滑环
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1；
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安装板
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2；
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定子固定座
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3；
[0026]驱动环
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4；
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转子连接座
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5；
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连接环
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6；
[0027]第一气管接头
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7；
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第二气管接头
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8；
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吸附盘
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9；
[0028]销钉
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10；
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定位组件
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11；
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定位顶板
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111；
[0029]定位滑板
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112；
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固定板
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113；
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滑槽
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1131；
[0030]第一螺钉
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12；
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第二螺钉
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13；
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晶圆
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14；
[0031]底板
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15；
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连接孔
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151。
具体实施方式
[0032]为了充分地了解本技术的目的、特征和效果，以下将结合附图1—5对本技术的构思、具体结构及本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转式吸附装置，其特征在于，包括：滑环，其包括定子和转子，所述定子固定设置，所述滑环内设置有气管；回转工作台，其套设在所述滑环上；所述转子与所述回转工作台固接；吸附盘，其盖设在所述回转工作台上且与所述回转工作台固接；所述吸附盘包括有开设在其内部的气道以及开设于其上表面的气孔，所述气道与所述气孔连通；所述吸附盘、回转工作台和滑环合围形成空室；所述空室内设有第一气管接头和第二气管接头；所述第一气管接头设置在所述吸附盘的下表面且与所述气道连通；所述第二气管接头设置在所述转子上且与所述气管连通；所述第一气管接头与所述第二气管接头连通。2.根据权利要求1所述的旋转式吸附装置，其特征在于，所述回转工作台包括：连接环，其套设在滑环上且分别与所述转子和所述吸附盘固接；驱动环，其套设在滑环上且与所述连接环固接。3.根据权利要求2所述的旋转式吸附装置，其特征在于，包括：转子连接座，其与所述转子固接且与所述连接环固接。4.根据权利要求3所述的旋转式吸附装置，其特征在于，包括：所述转子连接座套设在所述转子上。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：踪振华，李昊阳，王彦喆，
申请(专利权)人：熵智科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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