【技术实现步骤摘要】
本申请涉及视觉成像量测，特别涉及基于一种视觉成像检测设备的测量数据补偿方法及相关装置。
技术介绍
1、目前晶圆等半导体量测领域，通常可以采用3d视觉成像设备检测晶圆等半导体的三维形貌，进而根据其三维形貌进行对应尺寸参数的测量。现有的3d视觉成像设备通常为光学测量设备，其可以通过光源发出侦测光，进而对侦测光调制后将形成的调制光束发送至待测物表面，进而使得待测物表面发出对应的激发光(对应于调制光束的反射光，或者受调制光束激发而产生的荧光)，进而通过采用传感器获取对应于该激发光的光学信号，并将该光学信号转换为对应的电信号，通过将给电信号发送至相应的处理器进行处理，从而可以得到对应于晶圆等半导体量测的三维形貌。
2、然而现有的传感器由于其自身问题，可能会导致量测出的晶圆等半导体的尺寸参数的测量出现整体偏大或者偏小，或者出现数据波段整变大等问题。
技术实现思路
1、本申请的主要目的是提出一种视觉成像检测设备的测量数据补偿方法及相关装置，旨在解决上述的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提出一种视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，所述测量数据补偿方法包括：
3、采用视觉成像检测设备对待测物进行测量，以获取所述待测物的点云数据；
4、根据所述点云数据获取所述待测物上设定测量参数对应的测量数据；
5、根据不同的所述测量参数所对应的标准数据和所述测量数据，分别计算对应于所述测量参数的补偿值；
6、采用所述补偿值对所述测量数据进
7、可选地，所述根据所述点云数据获取所述待测物上设定测量参数对应的测量数据的步骤包括：
8、获取多个所述待测物上的设定测量参数对应的多个测量数据；或者
9、获取所述待测物上多个待测目标的设定测量参数对应的多个测量数据。
10、可选地，若所述测量参数为待测物的高度尺寸，则所述根据不同的所述测量参数所对应的标准数据和所述测量数据，分别计算对应于所述测量参数的补偿值，包括：
11、根据多个所述测量数据计算所述设定测量参数对应的测量数据平均值；
12、根据所述测量数据平均值和所述标准数据的差值获得所述补偿值；
13、其中，所述补偿值d＝davg-dstd；davg表示为测量数据平均值，dstd表示为标准数据。
14、可选地，若所述测量参数为待测物的直径尺寸，则所述根据不同的所述测量参数所对应的标准数据和所述测量数据，分别计算对应于所述测量参数的补偿值，包括：
15、根据多个所述测量数据计算所述设定测量参数对应的测量数据平均值；
16、根据所述测量数据平均值、所述标准数据及所述测量数据中的最大值和最小值获得所述补偿值；
17、所述补偿值d＝k*davg-dstd；davg表示为测量数据平均值，dstd表示为标准数据；
18、其中，k为补偿系数，且k＝(dstdmax-dstdmin)/(dmax-dmin)；dstdmax为标准数据的公差上限值，dstdmin为所述标准数据的公差下限值，dmax为所述测量数据中的最大值，dmin为所述测量数据中的最小值。
19、可选地，所述根据多个所述测量数据计算所述设定测量参数对应的测量数据平均值，包括：
20、将多个所述测量数据按照大小顺序依次排列；
21、选取接近所述测量数据的中值的设定数量的多个所述测量数据计算获得所述测量数据平均值。
22、可选地，所述设定数量为所述测量数据总数量的60％～80％。
23、可选地，所述采用所述补偿值对所述测量数据进行补偿以得到对应于所述测量数据的补偿测量数据，包括：
24、根据所述测量数据及对应于所述测量数据的补值求和得到所述补偿测量数据。
25、为实现上述目的，本申请还提出一种用于视觉成像检测设备的测量数据补偿装置，所述测量数据补偿装置包括：依次耦接的数据接收模块、测量模块、数据处理模块以及补偿模块
26、所述数据接收模块，用于接收待测物的点云数据；
27、所述测量模块，用于根据所述点云数据获取所述待测物上设定测量参数对应的测量数据；
28、所述数据处理模块，用于根据不同的所述测量参数所对应的标准数据和所述测量数据分别计算对应于所述测量参数的补偿值；
29、所述补偿模块用于采用所述补偿值对所述测量数据进行补偿以得到对应于所述测量数据的补偿测量数据。
30、为实现上述目的，本申请还提出一种视觉成像检测设备，所述视觉成像检测设备包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的测量数据补偿程序，所述测量数据补偿程序被所述处理器执行时实现如前文所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法的步骤。
31、为实现上述目的，本申请还提出一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有测量数据补偿程序，所述测量数据补偿程序被处理器执行时实现如前文所述的测量数据补偿方法的步骤。
32、本申请的技术方案中，通过对测量参数匹配补偿值进行补偿，可以得到并输出每一测量数据对应的补偿测量数据，从而可以降低由于硬件原因导致的测量数据发生整体偏移的问题。另外，通过对不同的测量参数分别匹配补偿值进行补偿，从而可以提高对不同测量参数对应的测量数据的准确性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，所述测量数据补偿方法包括：
2.根据权利要求1所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，所述根据多个所述测量数据计算所述设定测量参数对应的测量数据平均值，包括：
6.根据权利要求5所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
8.一种用于视觉成像检测设备的测量数据补偿装置，其特征在于，所述测量数据补偿装置包括：依次耦接的数据接收模块、测量模块、数据处理模块以及补偿模块
9.一种视觉成像检测设备，其特征在于，所述视觉成像检测设备包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的测量数据补偿程序，所述测量数
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有测量数据补偿程序，所述测量数据补偿程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的测量数据补偿方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，所述测量数据补偿方法包括：
2.根据权利要求1所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，所述根据多个所述测量数据计算所述设定测量参数对应的测量数据平均值，包括：
6.根据权利要求5所述的视觉成像检测设备的测量数据补偿方法，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的视觉成像检测设备的测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡剑，
申请(专利权)人：熵智科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。